超纯溶剂清洗用的多组份容器组件及其清洗方法技术

本发明专利技术披露了一种在结合有整体溶剂吸附模块的溶剂清洗再填充体系中，输送工艺化学剂和对所述工艺化学剂进行清洗的溶剂的方法和装置，在单一的“组件”中，能够容易进行运送，使最终使用者的影响最小，有用于溶剂清洗操作充分的溶剂，没有残余溶剂需要处理。这将消除消费者对溶剂的处理，并且，由于残余溶剂能够在一个步骤中返回至同一包装中，因此，消费者无需寻找溶剂废物设备。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高纯度源化学剂容器组件，包含：高纯度源化学剂容器，伸入所述源化学剂容器内部的至少一个入口，从所述源化学剂容器内部伸出的至少一个出口，整体连接至所述组件上的至少一个源化学溶剂安瓿，伸入所述源化学溶剂安瓿内部的至少一个入口，从所述源化学溶剂安瓿内部伸出的至少一个出口，整体连接至所述组件上的至少一个溶剂收集安瓿，所述溶剂收集安瓿的大小被定为能收纳来自所述源化学溶剂安瓿的源化学溶剂，以及与所述溶剂收集安瓿内部连通的至少一个孔口。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：RS佐里奇，DA罗伯特斯，GO沃洛辛，
申请(专利权)人：气体产品与化学公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]