【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于材料表面清洁方法及其装置,尤其是一种利用微波产生紫外光,臭氧或氧等离子体,以清除材料表面污染的方法及其装置。该方法和装置特别适用于清除导电玻璃表面的各种污染。本专利技术提出的材料表面清洁方法,是把需要清洁的材料置于微波辐射源和紫外光之间,由微波能量转化为紫外光能量,同时由紫外光激励产生臭氧或者由微波产生氧等离子体,实现对材料表面的高效清洁。对应于本专利技术的上述材料表面清洁方法,本专利技术还设计了相应的清洁处理装置。该装置由微波辐射源、紫外灯、密封腔体构成。其中,微波源设置于密封腔体上部,紫外灯设置于腔体底部,腔体下侧设有进气口和出气口,其结构如附图说明图1所示。进气口可以接外配的气体流量控制器后接高纯氧气,出气口可以外接真空泵,这样可以控制腔体内的真空度。清洁处理时,将需要的清洁材料置于微波源和紫外灯之间。接上电源,微波辐射源产生微波,由紫外光激励产生臭氧和/或氧等离子体。上述清洁处理装置可利用通常的微波炉改造而获得。具体如下先制作一个具有进气口和出气口的不锈钢底盘,不带电极的紫外灯置于不锈钢底盘上,并把不锈钢底盘安装于微波炉的腔体中,通常是安装在底部;把微波炉的配套器具玻璃盘(罩)倒扣在不锈钢底盘上,玻璃盘(罩)下边缘与底盘之间用橡胶密封圈密封。这样就在微波炉腔体中形成一个具有外接进气口和出气口的腔体。微波能量可以透过玻璃罩深入该密封腔体中,并激发紫外灯产生紫外线,紫外线照射氧气后产生臭氧。如果密封腔体中有一定真空度(1~10Pa)则能产生等离子体。把需要清洁的材料置于密封腔体内。表面的有机污染被臭氧氧化后随气流带走,或使有机污染和 ...
【技术保护点】
一种材料表面的清洁方法,其特征在于把需要清洁的材料置于微波辐射源和紫外光之间,由微波能量转化为紫外光能量,同时由紫外光激励产生臭氧,或者由微波能量产生氧等离子体,实现对材料表面的高效清洁。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:侯晓远,钟高余,王晓军,熊祖洪,史华忠,张松涛,何钧,丁训民,
申请(专利权)人:上海复旦辰光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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