谐振器及其控制方法技术

一种谐振器，包括谐振器本体和用于驱动所述谐振器进入谐振模式的驱动电极，其中所述谐振器本体平行于第一轴振动。所述谐振器包括沿垂直于所述第一轴的方向向所述谐振器施加电压的装置。这用于频移主谐振模式以外的谐振模式的频率，并且允许来自所述谐振器的输出信号的增加的振幅。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及谐振器，例如MEMS谐振器。
技术介绍
在各种产品中，MEMS谐振器正取代石英谐振器作为基准计时装置；它们用作振荡器电路中的基准谐振器或者用作计时基准来同步数字电路中的操作。MEMS谐振器提供小尺寸(特别是小的高度被认为是优势)、低制造成本的优势。在另一个应用中，MEMS谐振器还可以组合用于形成高质量滤波器。在振荡器电路中，对于MEMS谐振器最重要的要求是(i)稳定的谐振频率； (ii)高品质因子，以便把所述MEMS谐振器对所述振荡器相位噪声的贡献最小化，以及(iii)使大振幅输出信号不失真以便提供所述振荡器的高信噪比并且用于线性振荡器输出。如果用在滤波器中，MEMS谐振器应当满足对于不同原因的相同要求(i)稳定的谐振频率以便具有稳定的滤波器操作；(ii)高品质因子以便提供低插入损耗；以及(iii)使大振幅输出信号不失真，以便提供大的动态范围。本专利技术旨在改进这些要求中的第三个。MEMS谐振器体现了对低于机械设计预期的所述谐振振荡的振幅的限制。这种限制的起源最近才被充分理解，并且所述起源与从所需振动模式(固有模式)到其他固有模式的能量转换有关。专利
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.28 EP 11160031.81.一种谐振器(1)，包括谐振器本体和激励电极(30)，所述激励电极用于驱动所述谐振器进入谐振模式，其中所述谐振器本体平行于第一轴振动；检测结构(27、28、29)，用于检测沿第一轴方向的振动并且产生根据所述振动获得的电输出信号， 其中，所述谐振器包括将偏置电压施加在所述谐振器腔体上的装置(86)，采用通过不导电间隙与所述谐振器本体分离的至少一个偏置电极(86)，所述不导电间隙沿与所述第一轴方向垂直的方向延伸。2.根据权利要求I所述的谐振器，其中用于施加偏置电压的装置包括沿与第一轴方向垂直的方向相对于所述谐振器本体放置的反电极(74)，以及用于在所述谐振器本体和所述反电极(74)之间施加电压的电压源。3.根据权利要求I所述的谐振器，其中用于施加偏置电压的装置包括用于在所述谐振器本体和在所述谐振器本体下方的载体衬底(72)之间施加电压的电压源。4.根据前述权利要求中任一项所述的谐振器，其中调节所述用于施加偏置电压的装置适配为施加恒定电压。5.根据权利要求I至4中任一项所述的谐振器，其中用于施加偏置电压的装置包括用于调节所述电压的反馈电路(92 ；96)。6.根据权利要求5所述的谐振器，其中所述反馈电路(92)将所述电输出信号作为输入。7.根据权利要求5所述的谐振器，其中所述反馈电路包括用于测量横向于所述第一轴方向的振动的装置(96)。8.根据权利要求7所述的谐振器，其中用于测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡斯珀·范德阿奥斯特，安德烈亚斯·伯纳德斯·玛丽亚·扬斯曼，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：