槽式太阳能集热管用减反射膜制造技术

本发明专利技术涉及一种槽式太阳能集热管用减反射膜，其中所述的减反射膜为AlN1-X，其中X=0.15-0.35。本发明专利技术的减反射膜对波长为300-900nm的电磁波平均反射率降低到了2.5-3.5%。将本发明专利技术所述的透明薄膜沉积在硅太阳电池上表面，能够降低硅太阳电池的热化效应，提高电池的光电转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于太阳能发电的
，更具体地说，本专利技术涉及一种槽式太阳能集热管用减反射膜。
技术介绍
伴随着传统能源的日渐枯竭、环境污染问题的日益加剧，新能源的开发和应用已经成为人类研究的热点。取之不尽用之不竭、绿色无污染的太阳能是新能源开发利用的重点之一。降低成本和提高转换效率是太阳能电池研究的重点方向。硅太阳能电池由于原料来源广泛，成本较低，占据太阳能电池市场的主导地位。减少电池受光面上入射阳光的反射 是提高太阳能电池的光电转换效率的手段之一。常用的减反射措施主要有刻蚀硅衬底，在硅衬底表面或电池的受光面沉积二氧化铝、氮化硅、二氧化硅等减反射膜。现有技术有研究使用表面的织构化来降低一部分反射，一般是通过腐蚀处理，增加铝片表面的粗糙度，但是反射率的降低并不明显，特别是对于多晶硅，使用各向异性的酸法制绒，产生的黑线容易破坏PN结，使太阳能电池片的漏电流增大。现有技术普遍使用的是在铝片表面覆盖一层折射率适中的透光介质膜，从而降低铝片表面反射。现有工艺化的减反射膜一般为一层，也有研究在铝片表面制备两层折射率不同的减反射膜。纳米薄膜材料的减反射膜由于工艺复杂、成本较高且难控制，并不利于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种槽式太阳能集热管用减反射膜，其特征在于所述的减反射膜为AlNg，其中X=O. 15-0. 35。2.权利要求I所述的减反射膜，其特征在于所述减反射薄膜的厚度为100-200nm。3.权利要求I所述的减反射膜，其特征在于所述透明薄膜采用磁控溅射...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛波，
申请(专利权)人：苏州嘉言能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：