喷墨喷头涂布控制方法技术

本发明专利技术涉及一种喷墨喷头涂布控制方法。其中，喷墨涂布控制方法包含：第一步骤，在从喷墨喷头的吐出作业后，将在喷墨喷头内的流路所填充的吐出用液材替换为替换材料；第二步骤，以供应洗净液的单元构件，将在内部的流路已填充替换材料的喷墨喷头的下面覆盖洗净；第三步骤，在刚要开始吐出作业之前，将替换材料再次替换为吐出用液材。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具备有喷墨记录喷头(以下称为“喷墨喷头”)的喷墨涂布装置的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法，特别涉及一种用以将在喷墨喷头的喷嘴面及其周边所附着的脏污、碎屑、杂质等去除的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法。另外，本说明书中的喷墨喷头，没有特别的限定，是具备有单一或多个喷嘴的喷墨嗔头。
技术介绍
喷墨记录装置中，为了维持高品质的记录质量，便必须将在喷墨记录喷头的油墨吐出面所残留油墨、杂质等予以去除。专利文献I中揭示有，使擦拭刮板相对向于喷头的油墨吐出面，通过进行擦拭动作来清洗的方法中，为了提升清洗性能，便关于擦拭刮板的材质、角度、接触方式等进行研究。专利文献2中揭示有，相对吐出口在所述刮板清洗的回复操作方向的下游侧设置油墨吸收用狭缝，将经所述刮板刮取的油墨利用具有平行于多个吐出口且狭缝状设置的抽吸口的油墨吸收用狭缝，吸取所述油墨以提升性能的方法等。在专利文献3中揭示有，从喷雾器喷嘴朝喷墨喷头的喷嘴及其周边吹出而施行所述喷嘴面的洗净之后，将附着于喷墨喷头的喷嘴及其周边的洗净液利用刮板进行刮除等。专利文献4中揭示有，配向膜的液滴吐出方法，使具有以既定间距排列的多个喷嘴的喷墨喷头，对衬底进行相对移动，而从所述喷嘴将配向膜的液滴吐出于所述衬底上的方法，其中，所述喷墨喷头对所述衬底相对移动的方向，是对所述衬底中构成格子状的像素排列方向，呈既定角度倾斜。专利文献5中揭示有，薄膜形成装置，包括有分别具有以一定间隔排列的多个喷嘴，具备有单一或多个喷墨喷头的喷头支撑构造体；以及具有在这些多个喷嘴排列方向的正交方向上，可在这些多个喷嘴之间进行相对移动的衬底搬送平台的衬底搬送机构；而从所述多个喷嘴将薄膜形成用溶液喷射于在所述衬底搬送平台上所搭载的衬底表面上，而施行涂布并形成薄膜的非接触式薄膜形成装置；其特征在于具备有至少内部设有所述衬底搬送平台、喷墨喷头、及将所述喷头支撑构造体包含于内部的作为喷射涂布成膜室的真空糟；以及为了能在减压环境下施行喷射涂布成膜，而将所述真空槽内部施行减压的减压手段。专利文献6中揭示有，配向膜形成方法，具备有使用喷墨喷嘴将配向膜材料以液 滴进行滴落，通过该滴落的液滴图案，检查所述喷墨喷嘴异常的检查步骤；以及当在该检查步骤判断液滴图案在既定范围内时，便使所述喷墨与衬底相对向，并使用所述喷墨喷嘴将配向膜材料以液滴滴落在该衬底上而成的配向膜的成膜步骤。专利文献7中揭示有，装置的制造方法，包括有对衬底的图案形成区域，从液滴吐出喷头吐出液体材料的 步骤的装置的制造方法；其特征在于包括有对除所述图案形成区域以外的既定区域吐出所述液体材料的冲洗步骤。专利文献I :日本特开2004-291364号公报专利文献2 :日本特开2004-42571号公报专利文献3 :日本特开2002-19132号公报专利文献4 :日本特开2006-320839号公报专利文献5 :日本特开2006-289355号公报专利文献6 日本特开2006-058772号公报专利文献7 :日本特开2003-282245号公报
技术实现思路
(专利技术所欲解决的问题)本专利技术的目的在于提供一种可解决后述技术问题的喷墨涂布装置的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法。(解决问题的手段)第I专利技术是喷墨喷头的清洗方法，其特征在于，将喷墨喷头的洗净区域，利用具有洗净液供应口与抽吸口的单元构件覆盖，并通过从抽吸口作用抽吸力，从与抽吸口相对向的洗净液供应口，朝洗净区域喷射洗净液来加以洗净。第2专利技术是，在第I专利技术中，在所述洗净后，使喷墨喷头与单元构件仅稍微离开，通过对单元构件作用抽吸力，来使喷墨喷头的洗净区域干燥。第3专利技术是，在第I或2专利技术中，洗净液是使用由具有使液材溶解的因子的溶剂所构成的液体。第4专利技术是喷墨喷头的检查方法，使从喷墨喷头具有的喷嘴所喷射出的液材，滴落于检查用构件，并根据滴落的液滴图案检查所述喷嘴异常；所述喷墨喷头的检查方法的特征在于，所述检查用构件是由液材滴落处与非滴落处的反射率不同的材料来构成。第5专利技术是，在第4专利技术中，所述检查用构件是由于液材的滴落而溶解的薄膜。第6专利技术是喷墨涂布控制方法，其特征在于，在从喷墨喷头的吐出作业后，将在喷墨喷头内的流路所填充的吐出用液材替换为低挥发性替换材料，并在刚要开始吐出作业之前，将替换材料再次替换为吐出用液材。第7专利技术是，在第6专利技术中，替换材料是使用由具备使液材溶解的因子的溶剂所构成的液体。第8专利技术是喷墨制膜方法，通过多个喷射步骤施行制膜；所述方法的特征在于，等待前一步骤所喷射的工件上液滴干燥至不流动的程度之后，将液材喷射向与前一步骤滴落的液材液滴接触或部分重叠的位置。第9专利技术是，在第8专利技术中，增加喷射步骤的次数，并减少每一次的喷射量。第10专利技术是，在第8或9专利技术中，由膜形成布线图案。(专利技术效果)(I)关于喷墨喷头的清洗，因为刮板等固体物不接触到喷墨喷头的喷嘴及其周边，所以可在不发生磨损粉尘的情况下，清洗喷墨喷头。另外，因为使用洗净液，所以在油墨等液材已干燥等情况，仍能以强劲洗净力进行清洗。另外，也具有可缩短作业时间，可廉价制作的特征。(2)能够以高视觉识别性检测出喷墨喷头的喷嘴不良情况，特别是透明液材中能明显地提高视觉识别性。(3)解决喷墨喷头的涂布控制问题，能进行稳定的吐出动作。特别是对高挥发性的液材具更高的效果。 (4)在由喷墨的成膜中，相比于现有手法，可缩小整体面的厚度差。附图说明图Ia为具备有实施例I的清洗机构的装置的整体概略俯视图。图Ib为具备有实施例I的清洗机构的装置的整体概略侧视图。图2为表示实施例I的清洗机构一形态的概要说明图。图3为表示实施例I的清洗机构另一形态的概要构造图。图4a为表示实施例I的洗净单元的构造俯视图。图4b为表示实施例I的洗净单元的概略构造侧面剖视图。图5为实施例I的洗净单元所施行的洗净步骤与干燥步骤说明图。图6为实施例I的喷墨喷头的洗净步骤与干燥步骤流程图。图7为实施例I涉及的喷嘴检查机构说明图。图8为表示喷墨喷头的涂布控制实施顺序的流程图。图9为用于说明喷墨喷头动作的简略化概念构造图。图10为图9构造中的喷墨喷头的前处理动作说明图。图11为图9构造中的喷墨喷头的后处理动作说明图。图12为现有的厚膜形成手法与本专利技术的厚膜形成手法的对比说明图。图13为由本专利技术制膜方法能够形成的布线图案。图14为实施例2涉及的维护机构构造图。图15为表示透视实施例2的吸取/冲洗单元的侧视图。图16为从实施例2的机器类所输出的信号波形。符号说明2液材3洗净液4使用过的洗净液(废液)5负压6喷嘴7开闭机构8信号产生装置9连通构件10喷墨喷头11液材吐出面12a、12b 液材瓶13洗净液瓶 14工件平台15个人计算机(PC)16操作桌19压力供应泵20洗净单元21受液部22排放阀23清洗唇24底部抽吸口25洗净液供应口26洗净液回收口28开口3 la、3 Ib 洗净液喷嘴电磁阀32a,32b 侧喷嘴大气开放阀33供应阀34a,34b 负压用电磁阀35洗净液供应阀36材料切换阀37喷射器38调节器40废液罐41手动接头51开闭电磁阀52满量传感器61抵接构件62框架63支撑构件64安装构件66接头71正式液体72检查用薄膜73板74摄像装置7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2007.02.21 JP 2007-0405471.一种喷墨涂布控制方法，其特征在于，包含， 第一步骤，在从喷墨喷头的吐出作业后，将在喷墨喷头内的流路所填充的吐出用液材替换为替换材料； 第二步骤，以供应洗净液的单元构件，将在内部的流路已填充替换材料的喷墨喷头的下面覆盖洗净； 第三步骤，在刚要开始吐出作业之前，将替换材料再次替换为吐出用液材。2.根据权利要求I所述的喷墨涂布控制方法，其特征在于，在第一步骤及第三步骤中，以产生负压的单元构件覆盖喷墨喷头的下面，将在喷墨喷头内的流路填充的液体抽吸替换。3.根据权利要求I或2所述的喷墨涂布控制方法，其特征在于，液体的抽吸结束时，基 于预先设定的正弦曲线信号波形，将单元构件内的负压恢复至大气压。4.根据权利要求I或2所述的喷墨涂布控制方法，其特征在于，在载置工件的工件平台旁边配置所述单元构件，在从吐出作业后的...

【专利技术属性】
技术研发人员：生岛和正，
申请(专利权)人：武藏工业株式会社，
类型：发明
国别省市：