【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种红外显微系统。
技术介绍
红外成像在半导体功率器件的设计、集成电路的可靠性检测、激光二极管的实效分析、MEMS器件的热分布分析、材料热性能的分析以及生物标本温度分析等微观领域具有相当广泛的应用，因此红外显微镜系统应运而生。但是由于红外热像仪通常只对单一波长或某个特定波段敏感， 比如7-14 ii m波段、3-5ii m波段等，导致其对场景的亮度变化不敏感，成像清晰度低，对图像的细节捕捉远没有可见光丰富。而可见光成像显微镜敏感于目标物体的反射，与热对比度无关，能够获取高清晰度的图像，并能够提供目标物体的细节信息，但无法提供目标物体的热谱信息，因此，在诸多需要热谱分析的检测应用中受到限制。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本技术提供了一种红外显微系统，可同时满足微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求，又能够实现红外热分布的成像。本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种红外显微系统，包括支架、载物台、目标物、可见显微相机和红外显微相机，所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种红外显微系统，其特征在于其包括支架(I)、载物台(2)、目标物(3)、可见显微相机(4)和红外显微相机(5)，所述目标物置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物。2.根据权利要求I所...
【专利技术属性】
技术研发人员：焦斌斌，孔延梅，程腾，高杰，李庆，吴健雄，
申请(专利权)人：昆山光微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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