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红外显微系统技术方案
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文档序号:7801818
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本实用新型公开了一种红外显微系统,包括支架、载物台、目标物、可见显微相机和红外显微相机,所述目标物置于所述载物台上;所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方,所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所...
该专利属于昆山光微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山光微电子有限公司授权不得商用。
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