【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种真空泵减震支撑装置，用于真空泵与地面连接和安放，能够有效的减少真空泵工作时对外界的振动干扰。技术背景 目前，单晶硅生成过程中需要用到真空泵或者真空泵组，但是单晶硅在拉制过程中，对外界振源的干扰十分敏感，真空泵本身的振动就是影响单晶生产过程的重要振源之一。目前的真空泵减震装置能够实现一定程度的减震效果，但是由干支架上有螺栓和泵底座直接通过螺母连接，使得工作泵的振动可以通过螺栓传递到地面，不能有效的消除真空泵传递给地面的振动。
技术实现思路
针对现有真空泵减震支撑装置存在的上述不足，本技术提供了ー种新的结构，能够有效的消除真空泵传递给地面的振动。本技术解决其问题采用的技术方案是把现有的真空泵减震支撑装置的结构改为支架-弹簧-支架-橡胶垫结构，主要包括上支架，减振弹簧，下支架，橡胶垫，地脚螺栓和真空泵螺栓，上支架通过真空泵螺栓与真空泵外壳连接，上支架与下支架之间放置减振弹簧，下支架通过地脚螺栓与水泥地面连接，下支架与水泥地面之间通过橡胶垫隔开。这个结构将之前的支架分为上下两个部分，上支架通过螺栓与泵连接，下支架和橡胶垫通过地脚固定，上下支架之间只通过弹簧相连，这样工作泵的振动将会被弾簧和橡胶垫完全吸收，减震效果大大改善。本技术的有益效果是；和现有的结构相比，本技术结构能够有效的消除真空泵传递给地面的振动。以下结合附图和实施例对本技术进ー步说明。附图是本技术的机械结构图。图中I.真空泵外売，2.上支架，3.减振弹簧，4.下支架，5.橡胶垫，6.水泥地面，7.地脚螺栓，8.真空泵螺栓具体实施方式在图I中，上支架(2)通过真空泵螺栓(8)与真空泵外壳(...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.真空泵减震支撑装置，其特征是主要包括上支架，减振弹簧，下支架，橡胶垫，地脚螺栓和真空泵螺栓，上支架通过真空泵螺栓与...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊华，
申请(专利权)人：北京京仪世纪电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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