【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种质量流量控制装置，尤其涉及一种新型气体限流装置。
技术介绍
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)由质量流量计、控制器组成，不但具有流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动的将流量恒定在设定值上。质量流量计由气体限流装置通道、流量传感器和放大电路等部件组成，在质量流量计的基础上，再加上比例调节阀和PID控制电路就构成了质量流量控制器。 现有技术中的质量流量控制器包括计量装置和控制系统。如图I所示，计量装置包括气体通道，气体通道内设有气体限流装置I并设有分流口，分流口上设有传感器2，传感器2将检测到的流量信号输入给控制单元。通过测量分流口内的流量，控制单元换算出总的流量，根据换算结果向控制阀发出控制信号，控制阀口的开度大小，进而控制流量的大小。现有技术中的质量流量控制器，气体限流装置I 一般都是实心的，气体沿气体通道内壁与气体限流装置I外壁之间的间隙流动。上述现有技术至少存在以下缺点易产生紊流，气流稳定性差，严重影响了质量流量控制器的准确度和稳定性。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、使用方便，并能有效的改善气流稳定性的新型气体限流装置。本技术的目的是通过以下技术方案实现的本技术的新型气体限流装置，该装置的轴心部位设有通孔，所述通孔内设有分流管和/或分流柱。由上述本技术提供的技术方案可以看出，本技术所述的新型气体限流装置，由于该装置的轴心部位设有通孔，通孔内设有分流管和/或分流柱，当气体从通孔中流过时，能够有效的改善气流稳定性，结构简单、使用方便。附图说明图I为现有技术...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.ー种新型气体限流装置，其特征在于，该装置的轴心部位设有通孔，所述通孔内设有分流管和/或分流柱。2.根据权利要求I所述的新型气体限流装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋志辉，李凌峰，杜井庆，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。