可动式接地装置制造方法及图纸

一种可动式接地装置，包含接地端、相对于接地端升降的升降机构、连接升降机构的连接座、枢接于连接座的杠杆机构，以及连接于杠杆机构的一端的接触元件。当升降机构相对接地端上升时，接触元件与杠杆机构不与接地端接触，当升降机构相对接地端下降时，接触元件接触接地端。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于ー种接地装置，且特别是有关于ー种可动式接地装置。
技术介绍
在半导体制程中，常常会难以避免的在元件的表面上累积ー些不希望出现的静电，这些静电若是不加以移除，将可能因而影响成品整体的合格率。举例来说，以薄膜晶体管基板的干蚀刻制程为例，若是无法实时移除薄膜晶体管基板上的静电，则有可能会因而发生电弧(arcing)现象，使得薄膜晶体管基板上的线路烧毁，而造成产品异常。传统用以移除静电的装置可參照图IA与图1B。升降装置110可以相对于接地端120上下移动，升降装置110上具有导体材质的支撑部112，用以承放如薄膜晶体管基板等物体，支撑部112上具有接地铜片114。如图IA所示，当升降装置110上升时，接地铜片114不与接地端120接触而保持绝缘状。如图IB所示，当升降装置110下降时，接地铜片114与接地端120接触，而带走支撑部112上的物体所帯的静电。但是，接地铜片114在经过长时间的作动之后，接地铜片114的弾性容易因为金属疲劳而降低，使得接地铜片114断裂而丧失接地的功能。因此，如何提高接地装置的使用寿命，便成为ー个重要的课题。
技术实现思路
本专利技术的目的就是在提供一种可动式接地装置，用以解决传统因接地铜片金属疲劳而断裂所导致的问题。本专利技术ー实施例提出一种可动式接地装置，包含接地端、相对于接地端升降的升降机构、连接升降机构的连接座、枢接于连接座的杠杆机构，以及连接于杠杆机构的一端的接触元件。当升降机构相对接地端上升时，接触元件与杠杆机构不与接地端接触，当升降机构相对接地端下降时，接触元件接触接地端。当接触元件接触接地端时，杠杆机构与接地端之间保持有一定的间距。本专利技术ー种可动式接地装置的另ー态样为包含接地端、升降机构、连接座、杠杆机构与接触元件。升降机构相对于接地端升降，具有ー支撑部。连接座连接接地端。杠杆机构，枢接于连接座。接触元件连接于杠杆机构的一端，其中当升降机构相对接地端上升时，接触元件与杠杆机构不与支撑部接触，当升降机构相对接地端下降时，接触元件接触支撑部。杠杆机构可更包含一重锤，设置于相对接触元件的另一端。前述的可动式接地装置可更包含一止复机构，以提供杠杆机构ー预倾角。止复机构可包含设置于连接座的ー凸块，杠杆机构接触该凸块，杠杆机构可更包含ー凸缘，接触凸块以定位。或者，止复机构可包含设置于连接座上之一斜面，杠杆机构接触斜面。连接座、杠杆机构与接触元件的材质为金属或可导电材质。接触元件可为滚轮。连接座可为L形。可动式接地装置利用重力与杠杆原理，使得升降装置上升时形成断路，而升降装置下降时形成导通。可动式接地装置利用杠杆机构的设计，可以避免如习知技术一般因频繁作动导致接地铜片金属疲劳而断裂的风险。附图说明为让本专利技术的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式的详细说明如下图IA与图IB为传统用以移除静电的装置；图2A与图2B绘示本专利技术之可动式接地装置ー实施例于不同阶段的侧视图；图3绘示本专利技术之可动式接地装置另ー实施例的侧视图；图4A与图4B分别绘示本专利技术之可动式接地装置又一实施例的侧视图与上视图； 第5A图与图5B分别绘示本专利技术之可动式接地装置再ー实施例于不同状态的侧视图；图6绘示本专利技术之可动式接地装置再ー实施例的侧视图。主要元件符号说明200:可动式接地装置210 :接地端220 :升降机构222:支撑部230 :连接座232 :端234 :端236 :斜面240 :杠杆机构242 :端244 :端246 :重锤250 :接触元件260 :螺丝270:凸块272:凸缘d:间距具体实施例方式以下将以图式及详细说明清楚说明本专利技术的精神，任何所属
中具有通常知识者在了解本专利技术的较佳实施例后，当可由本专利技术所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本专利技术的精神与范围。參照图2A与图2B，其绘示本专利技术的可动式接地装置ー实施例于不同阶段的侧视图。可动式接地装置200包含有接地端210、升降机构220、连接座230、杠杆机构240以及接触元件250。其中升降机构220可以相对于接地端210进行升降。连接座230可以连接于升降机构220上，杠杆机构240枢接于连接座230。接触元件250连接于杠杆机构240的一端242，尤其是设置于杠杆机构240面对接地端210的一端242。升降机构220上更具有支撑部222，用以承放对象，支撑部222可以为升降机构220的一部分，或是与连接座230 —体成形。升降机构220、连接座230、杠杆机构240与接触元件250的材质为金属或可导电材质。如图2A所示，当升降机构220相对于接地端210上升时，接触元件250与杠杆机构240不与接地端210接触。而如图2B所示，当升降机构220相对于接地端210下降时，接触元件250会接触接地端210，使得对象上累积的静电可以经由支撑部222、连接座230、杠杆机构240与接触元件250传递至接地端210被带走。当接触元件250接触接地端210时，杠杆机构240与接地端210之间仍然具有间距d。接触元件250较佳地为滚轮，使得接触元件250接触接地端210时，接触元件250可以相对于接地端210滑动，以减少因直接摩擦而在接地端210上产生刮痕的情形。 连接座230可以为L形连接座，连接座230的一端232藉由螺丝260锁固于升降机构220上，连接座230的另一端234则是与杠杆机构240枢接。可动式接地装置200更包含有止复机构，用以提供杠杆机构240预倾角，使杠杆机构240沿着设定的方向相对于连接座230枢转。止复机构可以为设置于连接座230上的凸块270，凸块270较佳地为设置于连接座230的一端234与杠杆机构240之间，使得杠杆机构240在自然下落的状态，即图2A所示的状态中，杠杆机构240会接触凸块270，使得杠杆机构240与接地端210之间不会垂直而夹有预倾角。參照图3，其绘示本专利技术的可动式接地装置另ー实施例的侧视图。可动式接地装置200包含有接地端210、升降机构220、连接座230、杠杆机构240以及接触元件250。其中升降机构220可以相对于接地端210进行升降。连接座230可以连接于升降机构220上，杠杆机构240枢接于连接座230。接触元件250连接于杠杆机构240的一端242，尤其是设置于杠杆机构240面对接地端210的一端242。升降机构220上更具有支撑部222，用以承放对象，支撑部222可以为升降机构220的一部分，或是与连接座230 —体成形。升降机构220、连接座230、杠杆机构240与接触元件250的材质为金属或可导电材质。接触元件250可以为滚轮。当升降机构220相对于接地端210上升时，接触元件250与杠杆机构240不与接地端210接触。当升降机构220相对于接地端210下降时，接触元件250会接触接地端210，使得对象上累积的静电可以经由支撑部222、连接座230、杠杆机构240与接触元件250传递至接地端210被带走。本实施例中，连接座230为一字形连接座，止复机构包含设置于连接座230上的斜面236，当杠杆机构240呈自然下落状态时，杠杆机构240会与斜面236接触，以定位杠杆机构240并提供所需的预倾角。參照图4A与图4B，其分别绘示本专利技术的可动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2012.02.10 TW 1011044271.一种可动式接地装置，其特征在于，包含 一接地端； 一升降机构，相对于该接地端升降； ー连接座，连接该升降机构； ー杠杆机构，枢接于该连接座；以及 一接触元件，连接于该杠杆机构的一端，其中当该升降机构相对该接地端上升时，该接触元件与该杠杆机构不与该接地端接触，当该升降机构相对该接地端下降时，该接触元件接触该接地端。2.根据权利要求I所述的可动式接地装置，其特征在干，当该接触元件接触该接地端吋，该杠杆机构与该接地端之间具有一间距。3.一种可动式接地装置，其特征在于，包含 一接地端； 一升降机构，相对于该接地端升降，具有一支撑部； ー连接座，连接该接地端； ー杠杆机构，枢接于该连接座；以及 一接触元件，连接于该杠杆机构的一端，其中当该升降机构相对该接地端上升时，该接触元件与该杠杆机构不与该支撑部接触，当该升降机构相对该接...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰毅，罗再昇，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：