【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学精密测量
,特别是涉及光学透镜中心厚度测量系统。技术背景在光学领域中,透镜中心厚度的测量具有非常重要的意义。透镜中心厚度的光学系统中一个重要的参数,其加工质量的好坏决定了光学成像质量的好坏。特别是对于光刻机物镜、航天相机等高性能光学系统中的透镜,透镜中心厚度的一点点偏差都可能会导致成像不清晰,所以对于它的测量是必须严格控制精度的,尽可能地减小误差。现有的测量透镜中心厚度的方法分为接触式测量和非接触式测量两种。接触式测量,一般使用千分尺或者千分表测量。测量透镜中心厚度时,一是要找到最高或者最低点,测量起来速度很慢,且还不精确;二是光学元件表面很容易受到损坏,导致不可再用。非接触式测量常有图像测量法、共面电容法、白光共焦法和干涉法。而随着科技的不断发展,非接触式测量对精度、抗干扰能力、方便性的要求也是越来越高,迫切需要一种方便简捷的透镜中心厚度测量方法。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术提供一种方便快速精确的光学透镜中心厚度测量系统。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是光学透镜中心厚度测量系统,包括光源,还包括分光装置、光学探头、光谱仪和计算机,所述光源连接分光装置,分光装置和光学探头正对且中心位于同一轴上,所述分光装置的一端还连接有光谱仪,光谱仪连接到计算机上。进一步,所述光学探头内设置有非球面光学系统。进一步,还包括固定光学探头的支撑架和固定被测零件的载物台与夹具。本技术的有益效果本技术光学透镜中心厚度测量系统,包括光源,还包括分光装置、光学探头、光谱仪和计算机,通过反射及折射的原理,利用光谱仪测量反射回来的有能量峰值的两种不同色光 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.光学透镜中心厚度测量系统,包括光源,其特征在于还包括分光装置、光学探头、光谱仪和计算机,所述光源连接分光装置,分光装置和光学探头正对且中心位于同一轴上,所述分光装置的一端还连接有光谱仪,光谱仪连接到计算机上。...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋光均,吴剑峰,郑祥利,
申请(专利权)人:广州标旗电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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