制法报告卡框架和方法技术

提供一种用于执行制法评估的计算机实现的方法。该计算机实现的方法包括将多个数据源集成到单个制法报告卡框架。该制法报告卡框架包括编辑器，用以与该多个数据源交互。该计算机实现的方法还包括显示多个图表显示。该多个图表显示的每个图表显示配置为表示用于至少一个基片的一组信号参数的一个信号参数。该计算机实现的方法进一步包括为该组信号参数的每个提供多个准则。该计算机实现的方法又包括为该组信号参数的每个提供多个范围。该计算机实现的方法又进一步包括提供专家级指导，其配置为提供制法分析中的指导。

【技术实现步骤摘要】
本申请是2009年9月29日提交的中国申请号为200880010615. 5 (国际申请号为PCT/US2008/058319)、专利技术名称为“”的专利技术专利申请的分案申请。
技术介绍
等离子处理的进步促进了半导体工业的发展。半导体工业早已采用多种制法以生产新器件(例如，MEM，芯片等)。可使用不同的制法来执行基片处理。多个制法往往是复合的并且通常在工程师的知识和/或经验的基础上创建的。考虑这种情况，例如，其中，将处理系统部署于器件制造商工厂。进而，处理系统的制造商会继承最好的已知方法以辅助器件制造商创建制法。器件制造商会采用这些最好的已知方法来定制制法。另外，所定制的制法也基于器件制造商的工程师的知识和经验、经验数据、试错法等。通常，一种制法的成功执行会取决于该制法之外的其他变化因素。其他变化因素包括，但不限于，晶片的状态、处理系统的室状态、晶片环境等。结果，工程师不仅要具有制法的丰富知识，还需要理解制法如何与其他变化因素相互作用，如上面提到的那些。在一个示例中，已经创建了一个制法并且工程师应用这个制法来生产多个器件。在该制法的执行期间，会采集多个数据。可能采集的数据可以是大量的数据点。吸收这些数据的能力、确定哪些数据点是关键数据点的能力和/或分析数据以修改制法的能力取决于工程师的技能和经验。例如，工程师需要理解制法以及制法如何与可能影响该制法执行的其他变化因素相互作用。不幸的是，一个工程师的技术水平和经验会有变化，以及因此反映出制法的“质量”。即使工程师具备这些技能和经验，工程师也不能解释在创建新的制法和/或修改当前制法中的所有不同的变化因素。在另一示例中，在制法的执行中会出现问题。分析数据以调试问题的能力也取决于工程师的经验以及他考虑到会导致该问题的不同变化因素而确定该问题的能力。传统上，可能产生的问题通常假设为硬件问题。结果，会将该处理系统离线以调试问题。然而，问题的原因并不总是由处理系统导致的。例如，在制法执行期间出现的大约60%的脱卡(de-chuck)问题通常不是硬件问题，而是“坏的制法”导致的。不幸的是，到那时，处理系统已经被作为问题的潜在源除去了，该制法已经被认为是问题的源，蒙受相当的时间和资源损失。
技术实现思路
在一个实施例中，本专利技术涉及用于执行制法评估的计算机实现的方法。该计算机实现的方法包括将多个数据源集成到单个制法报告卡框架。该制法报告卡框架包括编辑器，用以与该多个数据源交互。该计算机实现的方法还包括显示多个图表显示。该多个图表显不的每个图表显不配置为表不用于至少一个基片的一组信号参数的一个信号参数。该计算机实现的方法进一步包括为该组信号参数的每个提供多个准则。该计算机实现的方法又包括为该组信号参数的每个提供多个范围。该计算机实现的方法又进一步包括提供专家级指导，其配置为提供制法分析中的指导。上面的概要仅涉及这里公开的本专利技术许多实施例的一个，并且不是为了限制本专利技术的范围，其在这里在权利要求中阐述。下面在本专利技术详细描述中结合附图更详细的描述本专利技术的这些和其他特征。附图说明在附图中，本专利技术作为示例而不是作为限制来说明，其中类似的参考标号指示相似的元件，其中图I示出，在本专利技术的一个实施例中，制法报告卡框架的简图。 图2示出，在一个实施例中，制法报告卡界面主视图的示例。图3示出，在本专利技术的一个实施例中，信号跟踪更深入的视图。图4示出，在本专利技术的一个实施例中，制法报告卡界面的帮助视图。图5示出，在本专利技术的一个实施例中，说明如何应用制法报告卡编辑器以促进协作的示例的流程图。图6示出，在本专利技术的一个实施例中，说明如何应用制法报告卡编辑器来促进创建/修改制法的示例的流程图。图7示出，在本专利技术的一个实施例中，说明如何应用该制法报告卡编辑器促进故障诊断的示例的流程图。具体实施例方式现在将根据其如在附图中说明的几个实施方式来具体描述本专利技术。在下面的描述中，阐述许多具体细节以提供对本专利技术的彻底理解。然而，对于本领域技术人员，显然，本专利技术可不利用这些具体细节的一些或者全部而实施。在其他情况下，公知的工艺步骤和/或结构没有详细说明，以避免对本专利技术的不必要的混淆。下文描述多个不同的实施例，包括方法和技术。应当记住，本专利技术还可涵盖包括计算机可读介质的制造品，在该介质上存储用于执行该创新性技术的实施例的计算机可读指令。该计算机可读介质可包括，例如，半导体、磁、光磁，光或其他形式的用于存储计算机可读代码的计算机可读介质。进而，本专利技术还可涵盖实施本专利技术实施例的设备。这种设备可包括专用和/或可编程的电路以执行与本专利技术实施例有关的任务。这种设备的实施例包括通用计算机和/或合适编程的专用计算机，以及可包括计算机/计算装置与适于与本专利技术实施例有关的任务的专用/可编程电路的组合。本专利技术的一方面，专利技术人认识到制法不是在“真空环境”中创建的。而是，一个制法，尤其是一个好的制法，需要知识、技能以及来自多个变化因素的数据源(例如，制法、工艺数据、历史数据)的集成。并且，一个好的制法需要公司内部和外部的多个资源的协作努力，如工具制造商、基片制造商等。按照本专利技术的实施例，计算机实现的装置提供用户友好系统，该系统设计为在单个制法报告卡框架下集成多个数据源(例如，制法、工具数据、传感器数据、最佳已知方法等)。并且，该制法报告卡框架包括能够评估制法的交互式准则区域(criteria section)。进而，该制法报告卡框架包括专家级的指导(如帮助区域)以在制法分析中提供指导。另夕卜，该制法报告卡框架提供用于创建、修改和/或验证制法的协作基础结构。在本专利技术的一个实施例中，该制法报告卡框架提供制法报告卡编辑器。利用该制法报告卡编辑器，可以执行多个功能。这些功能包括，但不限于，分级功能、指导功能和协作功能。利用该分级功能，可根据制法在一个具体工具上执行的好坏而将该制法分级。如本领域公知的，一个制法不会在所有的工具上都能相似地执行。执行的差异可能是由该制法的较窄范围导致的。并且，该制法的执行也会由于处理环境的变化而受到影响，如设备差异、基片差异、工具差异等。因此，该制法报告卡编辑器可提供制法等级，其可帮助用户确定如何修改制法以说明例如工具和/或处理环境的改变。该制法报告卡编辑器可执行的另一功能是指导功能。在一个实施例中，该制法报告卡可集成工业准则、最佳已知方法、专家级的知识和/或过去确定信号参数的经验以及可能会影响该制法成功执行的每个信号参数的准则。由于该制法报告卡编辑器已经识别出 分析制法的实质性要素，所以没有经验的用户可应用该制法报告卡编辑器来提供分析中的指导。另外，该制法报告卡编辑器可通过包括帮助区域来提供进一步的指导。该帮助区域可包括，例如，对不合格准则的解释、解决该不合格准则的可能解决方案、准则的解释等。另外，该制法报告卡编辑器可支持协作功能。通常，制法创建、修改和/或验证的过程通常不是由一个人执行的，而是由一个团队。另外，该团队可能包括来自公司内部和外部的成员。在一个实施例中，该制法报告卡编辑器提供单个框架，多个用户可从该框架存储、查看、分析和操作数据。在一个示例中，地理位置分散的和/或处于不同时区的用户可以协作，因为所有的成员都在同样的框架内工作。因此，每个成员在公共前提的基础上执行数据分析。为了促进前面所述的功能，该制法报告卡编本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄忠河，罗伯特·赫夫蒂，安德鲁·吕，戴夫·洪伯德，查尔斯·波特，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：