本发明专利技术涉及一种具备感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法，本发明专利技术的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置，包括：至少两个主辊，供切割锭块而配置；线，经由向所述主辊供给线的线轴及从所述主辊回收线的绕线管之间，所述锭块切割用线锯装置具备感测所述线的断线与否的断线感测单元，其特征在于，所述断线感测单元设置为设定有识别所述线的断线与否的参考电压，且对所述线施加预先设定的设置电压并进行检测，在施加所述设置电压的状态下，驱动所述线锯装置并检测所施加的电压，若检测电压低于所述参考电压，则判断为所述线已断线。由此，可通过预先设定的参考电压感测线的断线，以提高线的断线感测的精确度，无需操作人员进行不必要的线锯装置的检测等，因此能够改善生产效率并提高作业效率，此外设置有使线轴及绕线管与用于使其旋转的各驱动电机彼此绝缘的绝缘部件，因此施加于线的电压不会影响到各驱动电机的驱动状态。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，更为详细地涉及一种在断线时能够进行迅速的感测，以最大限度地减少线锯装置的构件及被切割的晶片的破损的。
技术介绍
一般来说，在锭块的成长(growth)工序结束之后，为了将锭块制成晶片，进行按单片单位切割锭块的切片工序。这种切片工序有多种形式，其中典型的是线锯(Wire Saw)方式，即为在腔室内使钢琴线或高张力线高速往返移动，并在其上喷射淤浆(slurry)溶液，通过沾在线上的淤浆和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。线锯方式可将锭块同时切割为多个晶片，从而能够提高单位时间的生产收率，因此目前被广泛地应用。韩国专利第887494号公开一种采用线锯的锭块切割装置。其中公开横梁，即为固定锭块的单元，所述锭块设置于在腔室内侧的两个辊轮上缠绕300 400圈的线的上方， 所述横梁的底面供锭块附着；工作板，底面供所述横梁附着，侧面具有嵌合形状；锭块送料台，具备与工作板的嵌合形状配合的凹槽，供安装所述工作板的嵌合形状结构。利用如上锭块切割装置将锭块切割成厚度非常薄的晶片，此时为了感测被卷曲的线有无发生断线，具备电压感测装置，该电压感测装置施加规定的电压，并检测所施加的电压。S卩，通过所述电压感测装置对线施加规定电压，并在所施加的电压为OV时，判断为线已断线。然而在线未被断线的状态下，施加于线的张力暂时减小，从而线与腔室内侧或其它构件接触的情况等，具有误检测率高等问题。由此，在线的断线之外的情况下，在停止整体线锯装置驱动的状态下，需要由操作人员逐个地直接检查在哪个部分产生错误检测的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种，所述装置和方法通过预先设定的参考电压感测线的断线与否，从而能够提高感测断线的精确度。此外，本专利技术的另一目的是提供一种，所述装置和方法随着断线感测精确度的提高，无需操作人员进行不必要的线锯装置的检测等，从而能够改善生产效率并提高作业效率。此外，本专利技术的另一目的是提供一种，该装置和方法设置有使线轴及绕线管和使之旋转的各驱动电机彼此绝缘的绝缘部件，从而施加于线的电压不会影响各驱动电机的驱动状态。上述课题可通过本专利技术的以下方案来实现一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置，包括至少两个主辊，供切割锭块而配置；线，经由向所述主辊供给线的线轴及从所述主辊回收线的绕线管之间，所述锭块切割用线锯装置具备感测所述线的断线与否的断线感测单元，其特征在于，所述断线感测单元设置为设定有识别所述线的断线与否的参考电压，且对所述线施加预先设定的设置电压并进行检测，在施加所述设置电压的状态下， 驱动所述线锯装置并检测所施加的电压，若检测电压低于所述参考电压，则判断为所述线已断线。 此外，上述课题可通过本专利技术的以下方案来实现一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置，包括至少两个主辊，供切割锭块而配置；线，经由向所述主辊供给线的线轴及从所述主辊回收线的绕线管之间，所述锭块切割用线锯装置具备感测所述线的断线与否的断线感测单元，其特征在于，所述断线感测单元包括电源部，配置在所述线轴和所述绕线管之间，对所述线施加预先设定的设置电压；控制器，位于所述电源部和所述线轴之间或所述电源部和所述绕线管之间，预先设定有识别所述线的断线与否的参考电压，且检测所述线的电压，若检测电压低于所述参考电压，则判断为断线。其中，所述控制器可在所述检测电压超过OV且低于所述参考电压时判断为所述线已断线。此外，所述控制器可在所述检测电压为OV时，判断为所述线已断线且与所述线锯装置的规定部分接触。此外，所述控制器可包括检测所述线的电压的电压检测部；及将检测电压与所述参考电压比较以判断所述线的断线与否的对比判断部。此外，所述电源部可包括电源施加部件，设置在所述线轴和所述绕线管之间，对所述线施加电源；以及第一电阻件和第二电阻件，设置在所述电源施加部件的两侧。此外，本专利技术的锭块切割用线锯装置可进一步包括一对驱动电机，分别与所述线轴及所述绕线管结合；及绝缘部件，设置在各驱动电机和所述线轴或所述绕线管之间，使各驱动电机和所述线轴或所述绕线管之间彼此绝缘。另外，利用所述具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置的断线感测方法，可包括以下步骤通过电源部对所述线施加预先设定的设置电压；通过控制器检测被施加的电压；及对由所述控制器检测的检测电压和预先设定的参考电压进行比较，若检测电压低于参考电压，则判断为所述线已断线。根据本专利技术，提供一种，所述装置及方法可通过预先设定的参考电压感测线的断线，从而提高线的断线感测的精确度。而且，提供一种，所述装置及方法随着断线感测精确度的提高，无需操作人员进行不必要的线锯装置的检测等，因此能够改善生产效率并提高作业效率。此外，提供一种，所述装置设置有使线轴及绕线管与用于使其旋转的各驱动电机彼此绝缘的绝缘部件，因此施加于线的电压不会影响到各驱动电机的驱动状态。附图说明图I是本专利技术的第一实施例的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置的示意图。图2是图I中的电源部的详细结构图。图3是图I中的控制器的详细结构图。图4是图I中的耦合部的详细结构图。图5是利用本专利技术的第一实施例的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置的断线感测方法的流程图。符号说明10 :锭块 20 :主辊30 :线40 :线轴(spool) 50 :绕线管(bobbin)60 :驱动电机70:断线感测单元 71:电源部711:电源施加部件712:第一电阻件 713:第二电阻件72 :控制器721:电压检测部 722:对比判断部73 :耦合部731 :第一耦合器 732:第二耦合器733 :弯曲盘734 :第一绝缘部件735 :第二绝缘部件736 :螺栓737 :螺母具体实施例方式进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同的结构的结构要素使用相同的符号，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中对与第一实施例不同的结构进行说明。下面，参照附图详细说明本专利技术的第一实施例的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置。图I是本专利技术的第一实施例的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置的示意图。如图I所示，本专利技术的第一实施例的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置I 包括以下结构而构成锭块10，配置为从上部向下移动；至少两个主辊20，配置在锭块10 的下部，外侧面缠绕有线30，用于切割锭块10 ;线轴40及绕线管50，设置为向两个主辊20 供给及回收线30 ;以及断线感测单元70，用于感测经由各部分的线30的断线与否。所述线30配置为从线轴40单向解开，并设置为经由多个辊轮配置结构(未图示) 等而缠绕于主辊20的外侧，且经由多个辊轮配置结构(未图示)缠绕于绕线管50。其中，所述线轴40和所述绕线管50设置为分别由同轴连接的驱动电机80单向旋转，各驱动电机60可通过将在后面描述的控制器72或另行设置的控制部控制。所述主辊20设置为通过规定的驱动电机等旋转，且能够通过缠绕于外侧的线30 切割向下移动的徒块10。而且，在主辊20的上部可设置有在切割锭块10时喷洒淤浆(slurry)的喷嘴90。所述断线感测单元70是本专利技术的核心，在线轴40和绕线管50之间包括电源部 71、控制器72、耦合部73而设置，用于施加预先设定的设置电压，并检测被施加的电压而感测线的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：张石俊，朴泰仁，赵昌锡，赵商植，金海砚，郭范锡，
申请(专利权)人：五星LST有限公司，
类型：发明
国别省市：
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