带有气动驱动的多腔蠕动泵的水分析装置制造方法及图纸

技术编号：7607890 阅读：215 留言：0更新日期：2012-07-22 16:04

本发明专利技术涉及一种水分析装置(10)，该水分析装置带有气动操纵的多腔室蠕动泵(18)。蠕动泵(18)具有基板(40)，在所述基板(40)的近侧带有多个近侧开口的泵腔室(41-43)；在所述基板(40)的近侧上封闭泵腔室(41-43)的、流体密封并且弹性的泵膜(46)，以及在所述泵膜(46)上的盖板(48)，其中，所述盖板(48)在各泵腔室(41-43)的区域中分别具有一个气动的促动通道(51-53)，所述促动通道可为了操纵泵膜(46)而连接在过压源(30)上。两个泵腔室(41，42；42，43)之间设有分别一个连接通道(71，73)，所述连接通道在基板(40)的远侧构造为槽(70，72)，其中，在所述基板(40)的远侧在连接通道-槽(70，72)的区域中设置单独的槽覆盖件(80)，该槽覆盖件封闭所述连接通道-槽(70，72)远侧的开口侧。