本发明专利技术提供一种衬底接合设备以及一种衬底接合方法，衬底接合设备包含：放置有一对衬底的平台，其中在所述衬底之间具有密封胶线；将光发射于所述密封胶线上的光辐照器；水平地安置于所述衬底的上侧周围以使得所述光辐照器沿着所述线移动的第一轨道；以及与所述第一轨道交叉以移动所述光辐照器以便对应于所述线的上侧的第二轨道。因此，第一移动零件使得有可能水平地移动光辐照器以将线形光发射于密封胶线上。因此，密封胶线可被连续固化，且密封胶线的辐照区可增大，借此减少衬底的接合时间。另外，第二移动零件使得所述光辐照器可根据密封胶线的位置改变来移动。因此，可在不使用掩模的情况下在各种位置处固化所述密封胶线，且可节省掩模成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及衬底接合设备(substrate bonding apparatus)和使用所述衬底接合设备的衬底接合方法，其可有效地固化密封胶线(sealant line)。
技术介绍
大体上，通过接合一对扁平衬底来制造扁平显示器面板(flat display panel) 0 举例而言，当制造液晶显示器面板时，制造具备薄膜晶体管和像素电极的下部衬底和具备彩色滤光器(color filter)和共同电极的上部衬底。此后，将液晶分配于下部衬底上，且涂覆密封胶以便在上部衬底与下部衬底的边缘之间形成密封胶线。接着，固化密封胶线以接合上部及下部衬底，借此制造液晶显示器面板。在此情况下，用于固化衬底边缘之间的密封胶线的固化单元包含放置衬底的平台(stage)；安置于所述平台之上用以发光的光辐照器(photo-irradiator)；以及具有安置于所述光辐照器与所述衬底之间用以对应于所述密封胶线的形状的开口的掩模(mask)。 自光辐照器发出的光通过所述掩模的开口发散于密封胶线上。因此，衬底彼此接合。此光辐照器是固定的，且自所述光辐照器发出的光完全发散于掩模上。光的一部分通过掩模的开口，且发散于密封胶线上以固化密封胶线。因此，当根据衬底的大小来改变密封胶线的位置时，需要具有对应于密封胶线的已改变位置的开口的另一掩模。另外，需要具有对应于密封胶线的已改变位置的开口的众多掩模，此增大了成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种，其可有效地固化密封胶线。本专利技术还提供一种，其可根据密封胶线的位置来移动光辐照器。根据示范性实施例，一种衬底接合设备包含放置有衬底的平台；沿着形成于所述衬底上的特定线发光的光辐照器；安置于所述衬底的上侧周围以使得所述光辐照器沿着所述线移动的第一轨道；以及与所述第一轨道交叉的第二轨道。所述线可沿着所述衬底之间的边缘延伸。所述衬底接合设备可包含第一轨道块，其中所述第一轨道块具有连接至所述第一轨道的第一末端和连接至所述第二轨道的第二末端，且沿着所述第一轨道移动。所述衬底接合设备可包含第二轨道块，其中所述第二轨道块具有连接至所述第二轨道的第一末端和连接至所述光辐照器的第二末端，且沿着所述第二轨道移动。所述第二轨道可自所述平台的外部延伸至所述平台的内部。所述第二轨道的接近于所述平台的末端可安置于所述平台的内部之上。所述光辐照器可包含在特定方向上排列以发光的发光部件。所述发光部件可发射紫外(ultraviolet，UV)射线。所述发光部件可包含发光二极管(light emitting diode，LED)。根据另一示范性实施例，一种衬底接合方法包含准备一对衬底，在所述衬底之间安置密封胶线；将所述衬底放置于平台上；移动光辐照器以对应于所述密封胶线的上侧； 以及沿着所述密封胶线移动所述光辐照器以将光发射于所述密封胶线上。所述密封胶线可包含光固化材料。所述衬底可包含透光材料。附图说明自结合附图的以下描述可更详细地理解示范性实施例，其中图1为说明根据示范性实施例的衬底接合设备的示意图。图2和图3为说明根据示范性实施例的衬底接合设备的俯视图。图4为说明根据示范性实施例的光辐照器的示意图。图5为根据示范性实施例的说明用于固化形成于衬底上的密封胶线的衬底接合设备的固化单元的操作的示意图。图6为根据另一示范性实施例的说明用于固化形成于衬底上的密封胶线的衬底接合设备的固化单元的操作的示意图。具体实施例方式后文中，将参考附图详细描述具体实施例。然而，本专利技术可以不同形式来具体化且不应被解释为限于本文中所阐述的实施例。实情为，提供此等实施例以使得本专利技术将为全面且完整的，且将向所属领域的技术人员完全地传达本专利技术的范围。图1为说明根据示范性实施例的衬底接合设备的示意图。图2和图3为说明根据当前实施例的衬底接合设备的俯视图。图4为说明根据当前实施例的光辐照器的示意图。参看图1至图3，根据当前实施例的衬底接合设备包含一其上放置有一对衬底 IlOa和IlOb的平台200，和安置于所述衬底IlOa和IlOb之上用以发光的固化单元300。 将密封胶涂覆于衬底IlOa和IlOb的边缘之间以接合所述衬底IlOa和110b，且通过自固化单元300发出的光来固化所述密封胶。可称作上部衬底的衬底IlOb和可称作下部衬底的衬底IlOa是由透光玻璃形成， 且呈四角形状。然而，本专利技术并不限于此，且因此上部衬底IlOb和下部衬底IlOa可由能够透射自固化单元300发出的光的任何材料形成。另外，上部衬底IlOb和下部衬底IlOa并不限于四角形。在下部衬底IlOa与上部衬底IlOb之间涂覆密封胶以接合下部衬底IlOa 和上部衬底110b。举例而言，密封胶可为连续地涂覆于下部衬底IlOa的顶表面的边缘上， 且接着可将上部衬底IlOb放置于下部衬底IlOa之上。相反，可将密封胶为连续地涂覆于上部衬底IlOb的底表面的边缘上，且接着可将下部衬底IlOa放置于上部衬底IlOb之下。 后文中，通过在上部衬底IlOb与下部衬底IlOa之间涂覆密封胶而形成的密封胶图案称作密封胶线L。因为密封胶线L沿着下部衬底IlOa和上部衬底IlOb的边缘延伸，所以密封胶线L也呈四角形状。然而，密封胶线L的形状并不限于四角形状，且因此可随着上部衬底 IlOb和下部衬底IlOa的形状而变化。平台200支撑并固定下部衬底IlOa和上部衬底110b。平台200的形状对应于下部衬底IlOa和上部衬底IlOb的形状。因为下部衬底IlOa和上部衬底IlOb呈四角形状， 所以平台200也可呈四角形状。然而，平台200的形状并不限于此，且可随着下部衬底IlOa 和上部衬底IlOb的形状而变化。尽管未展示，但可将单独的固定部件(fixing member)安置于平台200上以支撑并固定下部衬底IlOa和上部衬底110b。所述固定部件可为使用真空吸力的真空固定装置，或使用黏着力的黏着夹盘(adhesive chuck)。然而，所述固定部件可为用于支撑下部衬底IlOa及上部衬底IlOb并将下部衬底IlOa及上部衬底IlOb固定至平台200的任何装置。固化单元300包含多个第一移动零件310a至310d，所述多个第一移动零件310a 至3IOd安置于其上放置有下部衬底IlOa和上部衬底IlOb的平台200之上，且水平排列于下部衬底IlOa和上部衬底IlOb周围；和多个光辐照器模块320a至320d，所述多个光辐照器模块320a至320d分别耦合至第一移动零件310a至310d，且沿着所述第一移动零件310a 至310d水平移动以发光。第一移动零件310a至310d分别包含多个第一轨道(traCk)311a至311d。所述第一轨道311a至31 Id水平地排列于下部衬底IlOa和上部衬底IlOb周围。第一移动零件 310a至310d还分别包含成对的第一轨道块31 至312d。所述第一轨道块31 至312d 的第一末端耦合至所述第一轨道311a至311d，且所述第一轨道块31 至312d的第二末端连接至稍后将描述的光辐照器模块320a至320d的第二轨道321a_l至321d_l。第一轨道311a至311d被安置于其上放置有衬底IlOa和IlOb的平台200之上， 且水平地排列于所述衬底IlOa和IlOb周围。第一轨道3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘正必，赵翊成，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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