气体浓度调节装置和气体浓度调节方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及生成在校准排气分析装置等气体分析装置时使用的校准用标准气体的气体浓度调节装置，该气体浓度调节装置通过将稀释气体等第一气体和标准气体等第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体。
技术介绍
为了校准排气分析装置等气体分析装置，需要向气体分析装置提供规定浓度的标准气体。如专利文献1等所示，作为生成所述规定浓度的标准气体的装置有一种标准气体浓度调节装置，该标准气体浓度调节装置包括稀释气体管线，提供稀释气体；标准气体管线，提供高浓度的标准气体；以及输出气体管线，将所述稀释气体管线和标准气体管线汇合并将规定浓度的稀释后的标准气体向气体分析装置输出。在该标准气体浓度调节装置中， 在所述稀释气体管线上设置有用于调节稀释气体流量的质量流量调节器，在所述标准气体管线上设置有用于调节标准气体流量的质量流量调节器。但是，在使用所述结构的标准气体浓度调节装置生成低浓度的标准气体的情况下，需要通过在标准气体管线上设置的质量流量调节器，把流过标准气体管线的标准气体的流量调节成低流量。于是，会导致在标准气体管线上的质量流量调节器的上游一侧，标准气体产生滞留。在此，如果标准气体是具有吸附性的气体，则存在标准气体吸附在构成标准气体管线的配管的内侧的面上的问题。这样，如果标准气体吸附在配管的内侧的面上，则会导致向输出气体管线提供的标准气体的浓度降低，其结果导致生成的标准气体的浓度也会变成比规定浓度低的浓度。进而，存在导致使用该标准气体进行的气体分析装置的校准也变成不正确的问题。此外，在构成标准气体管线的配管例如是聚四氟乙烯管等具有透气性的配管的情况下，外部空气中的气体成分(例如氧)会渗入标准气体管线内。在此，存在下述问题在标准气体是如NO气体(一氧化氮气体)等那样与渗透气体成分(例如氧)具有反应性的气体的情况下，标准气体与氧反应从而导致标准气体的浓度降低。于是，向输出气体管线提供的标准气体的浓度降低，生成的标准气体的浓度也变成比规定浓度低的浓度。由此，存在导致气体分析装置的校准也变成不正确的问题。专利文献1 日本专利公开公报特开平10-104130号
技术实现思路
因此，鉴于所述的问题，本专利技术的主要目的在于防止气体管线中的气体的滞留， 从而防止因气体的吸附和变质等造成气体浓度降低。S卩，本专利技术提供一种气体浓度调节装置，通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，其特征在于，所述气体浓度调节装置包括第一气体管线， 设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量； 第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部；以及控制部，根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。按照所述的气体浓度调节装置，由于在第二气体管线的流量调节机构的上游一侧设置有排气管线，并根据气体流量或气体种类，打开或关闭设置在该排气管线上的开关阀， 所以可以防止第二气体管线中的第二气体的滞留。因此，可以减少第二气体的吸附和变质等因滞留产生的问题，从而可以把生成的混合气体的浓度调节到所希望的浓度。由此，可以正确地进行气体分析装置的校准。此外，由于通过流量调节部使在排气管线中流过的第二气体的流量一定，所以限制了从第二气体管线流向排气管线的第二气体的流量，从而可以确保在第二气体管线的流量调节机构中流过的第二气体，并且可以消除流量调节机构上游一侧的第二气体的滞留。为了使本专利技术的效果更加显著，优选的是，所述第一气体是稀释气体，所述第二气体是标准气体。作为第二气体管线的具体的实施方式，并且为了很好地防止在该方式中的第二气体的滞留，优选的是，所述第二气体管线具有多个分支管线，分别设置有所述第二气体流量调节机构；以及管线切换机构，选择所述多个分支管线中所述第二气体流动的分支管线， 设置在所述多个分支管线上的所述第二气体流量调节机构的流量控制范围相互不同，所述排气管线与所述多个分支管线中设置有低流量范围的所述第二气体流量调节机构的分支管线连接。在设置在各分支管线上的第二气体流量调节机构中，由于在设置有高流量范围的第二气体流量调节机构的分支管线中，难以发生第二气体的滞留，所以无须一定要设置排气管线。另一方面，在设置有低流量范围的第二气体流量调节机构的分支管线中，容易产生滞留，所以通过所述结构可以消除滞留。作为控制部对开关阀进行切换的方法，可以考虑输入到第二气体流量调节机构的目标流量值为规定值以下的情况等。在此，为了使由控制部进行的开关阀的控制简单，优选的是，所述控制部在选择了所述多个分支管线中设置有低流量范围的所述第二气体流量调节机构的分支管线的情况下，使设置在所述排气管线上的所述开关阀打开。本专利技术还提供一种气体浓度调节方法，其特征在于，所述气体浓度调节方法用于气体浓度调节装置，该气体浓度调节装置通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，所述气体浓度调节装置包括第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；以及排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部，所述气体浓度调节方法把计算机作为控制部，该控制部根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。此外，本专利技术还提供一种气体浓度调节方法，其特征在于，所述气体浓度调节方法使用气体浓度调节装置，该气体浓度调节装置通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，所述气体浓度调节装置包括第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；第二气体管线， 设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量; 输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；以及排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接， 该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部，所述气体浓度调节方法使所述气体浓度调节装置根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。按照所述构成的本专利技术，可以防止标准气体管线中的标准气体的滞留，从而可以防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体浓度的降低。附图说明图1是本专利技术一个实施方式的标准气体浓度调节装置的示意结构图。图2是表示从排气管线排气了的情况和没有从排气管线排气的情况下的标准气体浓度误差的实验结果。图3是表示因排气管线的排气流量造成的标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本雄一郎，宫地润一，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：