放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明专利技术的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及放电灯、具备该放电灯的光源装置、具备该光源装置的曝光装置以及该曝光装置的制造方法。
技术介绍
在用于制造各种设备(微型设备、电子设备等)的光刻工序中，为了将形成于母版 (或光掩模等)上的图案向涂布有抗蚀剂的晶片(或玻璃平板等)上转印，使用步进机等一次性曝光型(静止曝光型)的投影曝光装置及扫描步进装置等扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置。在这些曝光装置中，以往使用将水银灯等放电灯与聚光镜组合而构成的曝光用的光源装置，其放电灯被经由给定的安装机构保持。以往的放电灯的安装机构的一个例子是如下的机构，即在放电灯的灯头设置凸缘部及环状的槽部，将片簧的开口部卡合在该槽部中，利用该片簧来将该凸缘部向支架推压而固定(例如参照专利文献1)。该机构中，在放电灯的安装或更换时，为将该片簧的夹钳机构松开以使该灯头可以通过该片簧的开口部，需要使该片簧滑动。另外，以往的放电灯的安装机构的其他的例子是如下的机构，即在放电灯的灯头中设置定位销等，将该灯头以给定的旋转角插入设于平板状的安装板上的圆形的开口部，通过将设于该开口部的螺旋开槽部用螺栓紧固，而将该灯头固定(例如参照专利文献2)。另外，在具有放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：白数广，青木保夫，小山元夫，菊池孝幸，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：