一种自动配气系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种自动配气系统，涉及配气技术领域。操控平台对配气方案实行科学化、自动化定制，并以专用通讯电缆与计算机自动配气系统主机相连，最终通过实时监控高精度的质量流量控制器MFC来控制稀释气体及组份气体的体积流量，从而实现动态配气自动化。具备配气精度高、配气安全性高、配气成本低、配气效率高、自动化程度高、稳定性好、性能优越、功能强大等优点。可配制出高质量、高精度的各种标准混合气体。进而达到动态配气工作的配气自动化、方案最优化、操控简单化、效率最大化、误差最小化、管理规范化的目标。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及配气
，特别涉及一种自动配气系统。
技术介绍
配气操作包括流量、浓度、分配、渗透、程序、清扫等等，在实际工业生产中，通常有人工根据相应的参数要求进行配气操作，整个配气过程复杂，效率低下，更重要的是，常常由于人工操作带来较大误差。传统手动配气方法配气工作不安全，需较为复杂的人工计算，对配气人员的素质要求较高，操控繁琐且人为误差较大，配气成本高，配制出的标准气体精度较差，效率较低， 配气管理无法规范等诸多缺点。目前，迫切需要一种更适合工业应用的配气解决方法，防止由于人工操作带来的误差大、效率低、配气复杂等问题。
技术实现思路
本技术提供的一种自动配气系统，以防止由于人工操作带来的误差大、效率低、配气复杂等问题。本技术提供了一种配气系统，包括原料气瓶子系统、充装气瓶、操控平台、自动配气主机、配气台和驱动气体子系统；自动配气主机通过气路与原料气瓶子系统相连，在操控平台的控制下控制各原料气瓶释放气体进行混合；配气台通过气路分别与充装气瓶和驱动气体子系统相连接，配气台在驱动气体子系统的驱动下，将自动配气主机混合后的气体充装在充装气瓶中；操控平台通过专用通讯电缆与自动配气主机相连，操控平台监控并调节自动配气主机内的稀释气体及组份气体的体积流量，实现自动配气。所述操控平台包括操控计算机、计算机自动配气系统软件和专用控制卡。所述原料气瓶子系统包括分别充装各原料气体的原料气瓶，及与各原料气瓶相连接的减压阀。所述自动配气主机包括分别与原料气瓶子系统中各减压阀相连接的电磁截止阀、分别与各电磁截止阀相连接的质量流量控制器MFC、及与各MFC相连接的气体混合室。所述配气台包括背压阀、经背压阀与自动配气主机相连接的混气罐、分别与驱动气体子系统和混气罐相连接的气体增压泵。所述充装气瓶与所述气体增压泵相连接。所述驱动气体子系统包括静音式空气压缩机和气体精密过滤子系统，静音式空气压缩机经气体精密过滤子系统与配气台相连接。所述系统的高压气体管路处安装有高压安全阀，在压力超过预置值时自动卸压。所述系统的残气通过专门气体管路向室外排空。本技术提供的一种自动配气系统，操控平台对配气方案实行科学化、自动化定制，并以专用通讯电缆与计算机自动配气系统主机相连，最终通过实时监控高精度的质量流量控制器MFC来控制稀释气体及组份气体的体积流量，从而实现动态配气自动化。具备配气精度高、配气安全性高、配气成本低、配气效率高、自动化程度高、稳定性好、性能优越、功能强大等优点，可配制出高质量、高精度的各种标准混合气体。进而达到动态配气工作的配气自动化、方案最优化、操控简单化、效率最大化、误差最小化、管理规范化的目标。 本系统解决了传统手动配气方法配气工作不安全，需较为复杂的人工计算，对配气人员的素质要求较高，操控繁琐且人为误差较大，配气成本高，配制出的标准气体精度较差，效率较低，配气管理无法规范等诸多缺点，大大提高了配气工作水平和标准气体的质量。进一步的，驱动气体和被压缩气体完全分开，确保了被压缩气体的纯净度。另外，本系统只须有0. 5-0. SMpa普通压缩空气即可驱动增压泵正常可靠地工作， 相比电机驱动节能60%以上，更安全，维护更少，寿命更长。另外，高压气体管路安装有高压安全阀，压力过大时能实现自动卸压，进一步提高了安全性。另外，因使用质量流量控制器控制流量，在气体压力、温度变化的情况下，流量依然稳定，确保了所配标准混合气体的精度。再次，所有残气均通过专门气体管路向室外排空，避免了配气工作间的空气受到污染。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的一种自动配气系统结构图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。参见图1，本技术实施例提供了一种自动配气系统，包括原料气瓶子系统11、 充装气瓶12、操控平台13、自动配气主机14、配气台15和驱动气体子系统16。自动配气主机通过气路与原料气瓶子系统相连，在操控平台的控制下控制各原料气瓶释放气体进行混合。配气台通过气路分别与充装气瓶和驱动气体子系统相连接，配气台在驱动气体子系统的驱动下，将自动配气主机混合后的气体充装在充装气瓶中。操控平台通过专用通讯电缆与自动配气主机相连，操控平台监控并调节自动配气主机内的稀释气体及组份气体的体积流量，实现自动配气。其中，操控平台13具体包括操控计算机、计算机自动配气系统软件和专用控制下寸。原料气瓶子系统11具体包括分别充装各原料气体的原料气瓶111，及与各原料气瓶相连接的减压阀112等。自动配气主机14具体包括分别与原料气瓶子系统中各减压阀相连接的电磁截止阀141、分别与各电磁截止阀相连接的质量流量控制器MFC142、及与各MFC相连接的气体混合室143等。配气台15具体包括背压阀151、经背压阀与自动配气主机相连接的混气罐152、 分别与驱动气体子系统和混气罐相连接的气体增压泵153等。标准混合气体在驱动气体的驱动下由气体增压泵充装在充装气瓶内，得到标准的混合气体。具体的，充装气瓶与气体增压泵相连接。驱动气体子系统16具体包括静音式空气压缩机161和气体精密过滤子系统 162，静音式空气压缩机经气体精密过滤子系统与配气台相连接。具体利用大小活塞的面积比增压原理，驱动气体子系统将驱动空气接入气体增压泵，在驱动空气腔大活塞的推动下使压缩腔中的低压标准混合气体压缩入高压标准气体钢瓶中。本技术实施例中，系统主机部分含主机箱、主控板、高精度质量流量控制器与气路等，操控平台部分含操控计算机、计算机自动配气系统软件和专用控制卡等，自动配气台部分含气体增压泵、真空泵、配气台等，驱动气体子系统含静音式空气压缩机等，精密过滤子系统含冷冻式干燥机、多级精密过滤器等，原料气体部分含各种钢瓶装原料气体。进一步的，本系统的高压气体管路处安装有高压安全阀，在压力过大(超过预置值)时自动卸压，一般压力设定为ISMpa即可。另外，系统的残气通过专门气体管路向室外排空。即所有残气均通过专门气体管路向室外排空，避免了配气工作间的空气受到污染。本技术提供的一种自动配气系统，操控平台对配气方案实行科学化、自动化定制，并以专用通讯电缆与计算机自动配气系统主机相连，最终通过实时监控高精度的质量流量控制器MFC来控制稀释气体及组份气体的体积流量，从而实现动态配气自动化。具备配气精度高、配气安全性高、配气成本低、配气效率高、自动化程度高、稳定性好、性能优越、功能强大等优点，可配制出高质量、高精度的各种标准混合气体。进而达到动态配气工作的配气自动化、方案最优化、操控简本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳慧，
申请(专利权)人：北京金讯电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：