有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于增进气体与汽化材料接触的装置和方法，其在一说明性装置中包括系统（１００），该系统（１００）将来自汽化器（１１０）的所需气体递送到连接至汽化器（１１０）的工艺设备（１２０）。汽化器（１１０）汽化（蒸发）材料、接收来自连接至汽化器（１１０）的气源（１３０）的气体、并有助于向工艺设备（１２０）递送由所接收气体与汽化材料接触所产生的气体。汽化器（１１０）支撑待汽化的材料以有助于增大待汽化材料的暴露表面积，从而有助于增进所接收气体与汽化材料的接触。通过增进所接收气体与汽化材料的接触，汽化器（１１０）可用于将所得到的气体以相对更高的流率递送到工艺设备（１２０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利申请中所描述的一个或多个具体实施方式涉及汽化器(蒸发器，vaporizer)的领域。
技术介绍
汽化器可用于，例如在载气中将材料递送到半导体加工设备如(例如)化学汽相淀积(VCD)设备的工艺室(加工室，processchamber)以在工件或离子注入机上形成薄膜，从而使离子朝向工件加速而注入该工件。一种称为鼓泡器(bubbler)的汽化器通过加热容器中的液体材料并以可控速率将载气引入容器底部附近的液体材料中而将来自液态材料的蒸汽递送到工艺室。然后当载气气泡到达容器顶部时，载气变得饱和有来自液体材料的蒸汽。然后饱和载气被递送至工艺室。来自固态材料的蒸汽可以通过加热该材料至其升华温度并引导载气流通过该加热后的材料而被递送至工艺室。
技术实现思路
至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的结构可以有助于以当材料被置于该结构时一样的形式支撑用于汽化的材料。至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触，其中汽化材料用于递送至原子层淀积(ALD)工艺设备(加工设备，process equipment)。至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的液体材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化的液体材料的接触。至少一种披露的装置包括容器以及有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的一个或多个限定支撑表面的支撑物(支架，holder)，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的支撑物沿通过支撑物支持表面的开口周边的至少一部分可以具有一个或多个侧壁，以有助于限定气体可以通过其流过支撑物的通道。至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的一个或多个限定支撑表面的支撑物，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的支撑物可以具有一个或多个壁以及在一个或多个壁内的一个或多个通道，以使气体流过该支撑物。至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的一个或多个限定支撑表面的支撑物，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的支撑物可以限定支撑表面，其中该支撑表面的至少一部分是在至少部分地可渗透材料(气体通过其可以流动)的上方。至少一种披露的方法包括加热容器以有助于汽化容器中的材料，将气体引入该容器，以及将由所引入的气体与汽化材料接触而产生的气体递送至工艺设备。用于至少一种所披露方法的容器可以具有有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露方法的结构可以有助于以与当该材料被置于该结构时一样的形式支撑用于汽化的材料。至少一种披露的方法包括加热容器以有助于汽化容器中的材料，将气体引入该容器，将由所引入的气体与汽化材料接触而产生的气体递送至原子层淀积工艺设备，以及利用该递送的气体实施原子层淀积工艺。用于至少一种所披露方法的容器可以具有有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。附图说明通过所附附图中的实施例但不是限制性地描述了一种或多种具体实施方式，其中相同标号表示相同元件并且附图中 图1描述了用于一种或多种具体实施方式的利用有助于增进气体与汽化材料接触的汽化器的系统；图2描述了用于一种或多种具体实施方式的用于图1的系统中气体递送的流程图；图3描述了用于一种具体实施方式的汽化器容器的透视、剖视图，其中汽化器容器具有有助于增进气体与来自该支撑物所支撑材料的蒸汽的接触的支撑物；图4描述了用于一种具体实施方式的支撑物的透视图；图5描述了用于一种具体实施方式的设置在另一支撑物上方的支撑物的截面图；图6描述了用于另一种具体实施方式的设置在另一支撑物上方的支撑物的透视、分解图；图7描述了用于另一种具体实施方式的设置在另一支撑物上方的支撑物的透视、分解图；图8描述了用于另一种具体实施方式的支撑物的透视图；以及图9描述了用于一种或多种具体实施方式的利用图3的汽化器容器的系统。具体实施例方式图1描述了用于一种或多种具体实施方式的系统100，其将来自汽化器110的所需气体递送至连接汽化器110的工艺设备120。汽化器110汽化材料、接收来自连接至汽化器110的气源130的气体、并帮助将由所接收气体与汽化材料接触所产生的气体递送至工艺设备120。汽化器110支撑待汽化的材料以有助于增大待汽化材料的暴露表面积，从而有助于增进所接收气体与汽化材料的接触。通过有助于增进所接收气体与汽化材料的接触，用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可以用来帮助将所得气体以相对更高的流率递送至工艺设备120。用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可以用来依照图2的流程图200将所需气体递送至工艺设备120。对于图2的方框202，待汽化的材料被支撑在汽化器110的容器中以有助于增大待汽化材料的暴露表面积。汽化器110可以用来汽化呈任何适当的一种或多种状态和/或以任何适当的一种或多种形式的任何合适材料。用于一种或多种具体实施方式的待汽化材料可以至少部分地取决于例如由工艺设备120实施的工艺或操作。用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可以用来汽化任何呈固态的合适材料。用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可以用来汽化例如任何合适的固体材料，该固体材料的特征在于升华温度在例如约20℃至约300℃的范围内并且蒸汽压力在例如约10-2Torr至约103Torr的范围内。汽化器110可以用来汽化例如任何合适的材料，该材料包括硼(B)、磷(P)、铜(Cu)、镓(Ga)、砷(As)、钌(Ru)、铟(In)、锑(Sb)、镧(La)、钽(Ta)、铱(Ir)、癸硼烷(B10H14)、四氯化铪(HfCl4)、四氯化锆(ZrCl4)、三氯化铟(InCl3)、金属有机β-二酮酸盐复合物、环戊二烯基环庚三烯基钛(CpTiChT)、三氯化铝(AlCl3)、碘化钛(TixIy)、环辛四烯环戊二烯钛((Cot)(Cp)Ti)、二叠氮化双(环戊二烯基)钛、羰基钨(Wx(CO)y)、双(环戊二烯基)钌(II)(Ru(Cp)2)、和/或三氯化钌(RuCl3)。汽化器110可以用来汽化以任何适当形式(例如粉末、聚集颗粒、一种或多种结晶体、和/或薄膜)的任何适当固体材料。结晶体可以具有任何适当的尺寸和形状例如片状、块状、或球状。用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可用来汽化任何呈液态的适当材料。汽化器110可以用来汽化例如任何合适的材料，该材料包括叔戊基亚氨三(二甲基酰氨基)钽(Taimata)、四(二乙基酰氨基)钛(TDEAT)、四(二甲基酰氨基)钛(TDMAT)、五-二甲基酰氨基钽(PDMAT)、五乙氧基钽(TAETO)、以及双(乙基环戊二烯基)钌(II)(Ru(EtCp)2)。用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可以用来在对材料进行汽化之前将呈固态的任何适当材料加热为液态。用于一种或多种具体实施方式的汽化器110可以用来汽化具有以任何适当状态和/或形式的两种或更多种不同本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置，包括：　　　　容器；以及　　　　有助于在所述容器中支撑具有增大了暴露表面积的材料以有助于增进气体与汽化材料的接触的结构，所述结构有助于支撑以与所述材料被置于所述结构时的相同形式的用于汽化的材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰格雷格，斯科特巴特尔，杰弗里I邦东，唐奈托，拉维K拉克斯曼，
申请(专利权)人：高级技术材料公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]