石英晶体微量天平性能测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种石英晶体微量天平性能测试系统，包括真空抽气系统、复压系统、测量控制系统和真空室，其中，真空室内设置有冷屏，冷屏的底部与晶片试验装置和QCM探头试验装置相配合，以支撑晶片试验装置和天平探头试验装置，并负责提供两个装置到冷屏的热传导；真空室与真空抽气系统、复压系统真空连接，真空抽气系统为真空室建立试验所需的真空环境；试验装置电连接有测量控制系统以进行温度和频率的测量。本测试系统提供了一个清洁无油的真空环境，保证QCM不会发生由于污染而导致的频率改变；能够进行QCM及其关键部件-晶片的多项性能测试，并能够对已经应用的天平进行高温老练，提高可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于分子污染检测测试
，具体来说，涉及一种石英晶体微量天平性能测试系统。
技术介绍
石英晶体微量天平(Quartz Crystal Microbalances，QCM)，又称真空超微天平， 是分子污染监测的主要仪器之一。污染分子沉积在谐振石英晶片的表面上，导致其谐振频率发生变化，石英晶体微量天平利用石英晶体表面沉积质量变化而导致的振荡频率变化探测污染物沉积质量。因此，对于分子污染检测试验来说，其关键在于获得准确稳定的QCM输出频率。ASTM 专门于 2004 年发布了《Standard Practice for QCM measurement of spacecraft molecular contamination in space)),QCM^ifeif^illJ 试、安装及使用方法。其中规定，QCM在使用前必须经过性能测试试验，包括晶片频温曲线测试及匹配、差频温度曲线测试、重复性测试、频率长期漂移测试等多项考核内容。达到这些测试所规定指标的天平才能用于试验，保证数据的有效性。目前仍没有能够满足上述条件的测试系统。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种石英晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：焦子龙，臧卫国，杨东升，于钱，易忠，院小雪，
申请(专利权)人：北京卫星环境工程研究所，
类型：发明
国别省市：