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石英晶体微量天平性能测试系统技术方案
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文档序号:7343695
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本发明公开了一种石英晶体微量天平性能测试系统,包括真空抽气系统、复压系统、测量控制系统和真空室,其中,真空室内设置有冷屏,冷屏的底部与晶片试验装置和QCM探头试验装置相配合,以支撑晶片试验装置和天平探头试验装置,并负责提供两个装置到冷屏的热...
该专利属于北京卫星环境工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京卫星环境工程研究所授权不得商用。
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