本实用新型专利技术公开了一种PECVD卸片用承载盒，它包括四方形的底板（1）、垂直固定于四方形底板（1）的三条边边缘的三块侧板（2）、垂直固定于四方形底板（1）的另一条边边缘的下板（3），相对于三块侧板（2）而言下板（3）在底板（1）的另一面。三块侧板（2）的中间那块侧板（2）的内表面固定粘贴有一块泡沫板（4）。底板（1）、侧板（2）及下板（3）由塑料材料制成。该PECVD卸片用承载盒使PECVD晶片卸片速度快，卸片后整齐叠放以保证下道吸片工序顺利进行。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及PECVD (等离子体增强化学气相沉积)
，具体涉及一种 PECVD晶片从石墨舟卸载过程所用的承载盒。
技术介绍
太阳能晶片在PECVD工序卸片过程中会将晶片从石墨舟中卸载下来。目前一般太阳能电池行业中PECVD晶片的取片方式一般为从石墨舟直接卸载到下道工序的花篮架中， 该方法存在以下缺陷(1)卸片速度慢；(2)卸片后PECVD晶片在花篮架不能被整齐叠放， 影响到目前大多生产线中PECVD下道工序中上片已更改为吸片的下道工序。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对以上现有技术的不足，提供一种PECVD晶片卸片速度快，卸片后PECVD晶片整齐叠放以保证下道吸片工序顺利进行的PECVD卸片用承载盒。为解决上述问题，本技术提供一种PECVD卸片用承载盒包括四方形的底板、 垂直固定于四方形底板的三条边边缘的三块侧板，形成一个有开口的承载盒，PECVD晶片从开口处被放入该承载盒内。采用以上结构后，本技术与现有技术相比，具有以下优点在PECVD工序卸片过程中增加运用本技术PECVD卸片用承载盒，该承载盒包括底板和侧板，侧板垂直于底板设置，使PECVD晶片不仅易于定位，提高卸片速度，而且PECVD晶片在该承载盒内整叠放齐，给下道吸片工序提供方便。所述PECVD卸片用承载盒还包括垂直固定于四方形底板的另一条边边缘的下板， 相对于三块侧板而言所述下板在底板的另一面。这样将该承载盒放置于桌面上时会有一个倾斜角度，不仅可以有效防止承载盒内PECVD晶片掉出，也有利于稳定PECVD晶片在承载盒内的整齐叠放状态。所述三块侧板的中间那块侧板的内表面固定粘贴有一块泡沫板。泡沫板可以有效减少卸载PECVD晶片过程中晶片与该承载盒碰撞的冲击力，有效减少PECVD晶片的破损率。所述底板、侧板及下板由塑料材料制成。塑料材料质量轻、不易变形、且成本低。附图说明附图所示的是本技术PECVD卸片用承载盒的结构示意图。其中:1、底板；2、侧板；3、下板；4、泡沫板。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详述。如附图所示，本技术PECVD卸片用承载盒包括四方形的底板1、垂直固定于四方形底板1的三条边边缘的三块侧板2、垂直固定于四方形底板1的另一条边边缘的下板 3，相对于三块侧板2而言所述下板3在底板1的另一面。侧板2与底板1之间、相邻侧板2 之间、下板3与底板1之间都为通过螺钉进行固定连接。所述三块侧板2的中间那块侧板 2的内表面固定粘贴有一块泡沫板4。所述底板1、侧板2及下板3由塑料材料制成。使用时，左手四指拖住位于中间的那块侧板2，手掌拖住底板1，让PECVD卸片用承载盒成一定舒适的倾斜角，右手用吸笔从石墨舟中吸取晶片顺手放置到该承载盒中。以上实施例是对本实 用新型的说明和进一步解释，而不是对本技术的限制， 在本技术的权利范围内所作的任何修改，都落入本技术的保护范围。权利要求1.一种PECVD卸片用承载盒，其特征在于包括四方形的底板(1)、垂直固定于四方形底板(1)的三条边边缘的三块侧板(2)。2.根据权利要求1所述的PECVD卸片用承载盒，其特征在于还包括垂直固定于四方形底板(1)的另一条边边缘的下板(3)，相对于三块侧板(2)而言所述下板(3)在底板(1)的另一面。3.根据权利要求2所述的PECVD卸片用承载盒，其特征在于所述三块侧板(2)的中间那块侧板(2 )的内表面固定粘贴有一块泡沫板(4 )。4.根据权利要求3所述的PECVD卸片用承载盒，其特征在于所述底板(1)、侧板(2)及下板(3)由塑料材料制成。专利摘要本技术公开了一种PECVD卸片用承载盒，它包括四方形的底板(1)、垂直固定于四方形底板(1)的三条边边缘的三块侧板(2)、垂直固定于四方形底板(1)的另一条边边缘的下板(3)，相对于三块侧板(2)而言下板(3)在底板(1)的另一面。三块侧板(2)的中间那块侧板(2)的内表面固定粘贴有一块泡沫板(4)。底板(1)、侧板(2)及下板(3)由塑料材料制成。该PECVD卸片用承载盒使PECVD晶片卸片速度快，卸片后整齐叠放以保证下道吸片工序顺利进行。文档编号H01L31/18GK202217698SQ20112034152公开日2012年5月9日 申请日期2011年9月13日 优先权日2011年9月13日专利技术者余涛, 刘晓巍, 吴艳芬, 蔡二辉, 詹国平, 陈筑 申请人:宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴艳芬，余涛，陈筑，刘晓巍，詹国平，蔡二辉，
申请(专利权)人：宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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