【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种除杂装置，尤其是涉及一种锗烷生产预除杂装置。
技术介绍
高纯气体生产过程中的除杂是非常重要的一个环节，在锗烷生产过程中，由于反应放热，因此从反应釜中出来的气体中夹带有大量的水分、酸性气体、固体粉末等，如果让该气体直接进入深度除杂装置的话，不仅会导致深度除杂装置的效果大打折扣，而且会消耗大量深度除杂所需要的原材料，造成成本的上升。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供一种锗烷生产系统的预除杂装置。为实现上述目的，本技术的技术解决方案是锗烷生产预除杂装置，包括预除杂容器体、快速接头、输入阀门、输出阀门和排出阀门，所述快速接头的输入端连接到反应釜气体输出口，其输出端经输入阀门连接到预除杂容器体，所述预除杂容器体输出端连接到输出阀门及排出阀门。所述输出阀门的输出端经接头连接到深度除杂系统。所述输入阀门、输出阀门为打开状态，排出阀门为关闭状态。通过采用上述的技术方案，本技术的有益效果是本技术可将气体中夹带的大部分水分、固体粉末等先截留下来，只让少量水分、固体粉末等进入到下一步的深度除杂系统，这样既可以提高产品的纯度，又能节约成本，而且气体中的大部分粉末不会进入到系统的管道中，避免管道堵塞，维持了管道洁净。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施例来进一步说明本技术。如图1所示，本技术的锗烷生产预除杂装置，包括预除杂容器体1、快速接头 2、输入阀门3、输出阀门4、排出阀门5和接头6，所述快速接头2的输入端连接到反应釜气体输出口，其输出端经输入阀门3连接到预除杂容器体1，所述预除杂容器体1输出端连接到输出阀门4及排出阀门...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，施宏伟，
申请(专利权)人：福建博纯材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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