一种单晶生长炉隔离阀腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶生长炉隔离阀腔体。它包括上法兰、下法兰、观察窗、阀口法兰、阀口接管、方形内胆、半圆内胆、方形外壳、半圆外壳、水圈、长塞堵、短塞堵、盖板、隔水块、隔水条、分水条、出水管、进水接头、卸压阀、真空接头、视口法兰、颈内管、颈外管；方形内胆和半圆内胆纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳和半圆外壳纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰和下法兰之间，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条和分水条，形成螺旋形水道。本实用新型专利技术设计简单，容易实现。用于单晶生长的设备中，作为隔离阀的腔体，为隔离阀及隔离阀腔体提供一种冷却系统，为隔离阀提供一种恒温的工作环境，延长其使用寿命。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶生长炉，尤其涉及一种单晶生长炉隔离阀腔体。
技术介绍
在单晶生长炉中，要有一个在炉膛和拉伸腔之间作为过渡的腔体，装隔离阀用，但由于是在热场上方，温度很高，经常出现热损，不是隔离阀被损坏，就是隔离阀腔体被损坏， 因此考虑采用水冷却系统，将隔离阀腔体内设计成夹层螺旋式水道，把对接的法兰内部挖空，做成蜂窝状，使冷却水无处不到，像血液一样循环于隔离阀腔体。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服单晶生长炉隔离阀及隔离阀腔体的热损坏，延长其使用寿命，为隔离阀及隔离阀腔体的降温，提供一种单晶生长炉隔离阀腔体。单晶生长炉隔离阀腔体包括上法兰、下法兰、观察窗、阀口法兰、阀口接管、方形内胆、半圆内胆、方形外壳、半圆外壳、水圈、长塞堵、短塞堵、盖板、隔水块、隔水条、分水条、出水管、进水接头、卸压阀、真空接头、视口法兰、颈内管、颈外管；方形内胆和半圆内胆纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳和半圆外壳纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰和下法兰之间，在腔体的两侧面焊有两个观察窗，在腔体的直角处焊有阀口接管，阀口接管上装有阀口法兰，在腔体的前部中间位，装有颈内管、颈外管、视口法兰，颈内管焊在半圆内胆上，颈外管焊在半圆外壳上，视口法兰管焊在颈内管和颈外管的平齐端面上，出水管接在上法兰上的出水口 F处，进水接头焊在方形外壳的下部， 泄压阀装在方形外壳的上部，真空接头在腔体背面的中间部位，穿过方形外壳和方形内胆， 与腔体内腔相通，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条和分水条，形成螺旋形水道，在上法兰的内圈槽口焊有水圈，在水圈与上法兰的内槽组成的空腔中焊有隔水块，在上法兰的三个侧面的孔中装有长塞堵、短塞堵和盖板。本技术设计简单，容易实现。用于单晶生长的设备中，作为隔离阀的腔体，为隔离阀提供了一种恒温安逸的工作环境。附图说明图1是单晶生长炉隔离阀腔体的结构示意图；图2是图1的A-A剖面图；图3是图1移去外壳从180°处断开的平铺图；图4是图1的B向视图；图中上法兰1、下法兰2、观察窗3、阀口法兰4、阀口接管5、方形内胆6、半圆内胆 7、方形外壳8、半圆外壳9、水圈10、长塞堵11、短塞堵12、盖板13、隔水块14、隔水条15、分水条16、出水管17、进水接头18、卸压阀19、真空接头20、视口法兰21、颈内管22、颈外管 23、进水口 E、出水口 F、泄压口 D、法兰入水口 G、大视口 H。具体实施方式如图所示，单晶生长炉隔离阀腔体包括上法兰1、下法兰2、观察窗3、阀口法兰4、 阀口接管5、方形内胆6、半圆内胆7、方形外壳8、半圆外壳9、水圈10、长塞堵11、短塞堵12、 盖板13、隔水块14、隔水条15、分水条16、出水管17、进水接头18、卸压阀19、真空接头20、 视口法兰21、颈内管22、颈外管23。方形内胆6和半圆内胆7纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳8和半圆外壳9纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰1和下法兰2之间，在腔体的两侧面焊有两个观察窗3，在腔体的直角处焊有阀口接管5，阀口接管5上装有阀口法兰4，在腔体的前部中间位，装有颈内管22、颈外管23、 视口法兰21，颈内管22焊在半圆内胆7上，颈外管23焊在半圆外壳8上，视口法兰21焊在颈内管22和颈外管23的平齐端面上，出水管17接在上法兰上的出水口 F处，进水接头18 焊在方形外壳8的下部，泄压阀19装在方形外壳8的上部，真空接头20在腔体背面的中间部位，穿过方形外壳8和方形内胆6，与腔体内腔相通，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条15和分水条16，形成螺旋形水道，在上法兰1的内圈槽口焊有水圈10，在水圈10与上法兰1的内槽组成的空腔中焊有隔水块14，在上法兰1的三个侧面的孔中装有长塞堵11、 短塞堵12和盖板13。上法兰1的结构较为复杂，为了使冷却水能够经过各个部位，把它做成内空的，挖成蜂窝状，各个相通的水道暗室，由于加工工艺要求，加工时都做成通孔，然后焊上长塞堵 11、短塞堵12和盖板13，将通孔封为暗室、盲道。在上法兰1的内圈有一个较深的台阶内槽，在内槽的适当位置焊有三块隔水块14，以改变冷却水的流向。在上法兰1内槽口焊有水圈10，使水圈10与上法兰1的内槽组成空腔，形成水道，便于冷却水绕法兰1 一周，达到均勻冷却的效果。在上法兰1的底面上有一个法兰入水口 G，呈扁形，与腔体的夹层水道相符，通向法兰的内部暗室，是冷却水从腔体夹层水道流入法兰1的入口，在法兰入水口 G的旁边有一出水口 F，但与法兰入水口 G不相通，它是冷却水在法兰1循环后的最终出口。下法兰2与上法兰1的外形相似，但内部没有蜂窝状的孔，它较薄，内孔大，在上下冷却水的冷却下，温度可控。观察窗3是个筒型法兰，焊在内胆与外壳对应的通孔里，装观察镜后，为左右两侧的观察者提供窗口。阀口接管5是个椭圆形套筒，焊在腔体的直角处， 在其上装有阀口法兰4，组成隔离阀的装入口。方形内胆6、半圆内胆7、方形外壳8和半圆外壳9都是不锈钢板，经过弯折变形成槽形和半圆，分别焊接成腔体内胆和腔体外壳，并将腔体内胆套在腔体外壳内，形成腔体。 在腔体前面地部中间位位，装有颈内管22和颈外管23，颈内管22套在颈外管23中，颈内管 22与半圆内胆7相接，颈外管23与半圆外壳8相接，视口法兰21焊在颈内管22和颈外管 23的平齐端面上，中间形成与腔体夹层水道相通的空腔，便于冷却水经过。水圈10是个环形圈，焊在上法兰1内槽口的台阶上，与上法兰1和隔水块14组成曲折的环形水道。本装置的工作过程将隔离阀通过阀口法兰4装进该装置中，并将该装置安装于炉膛和拉伸腔之间的炉盖上。当单晶生长炉进行工作时，开启进水按钮，冷却水从进水口 E 进入腔体内胆与腔体外壳形成的夹层中，在隔水条15形成的导流道中，沿逆时针方向螺旋上升，当冷却水流到该装置的腰部时，分水条16将冷却水分道，扩大流通面积，降低冷却水对大视口 H的冲击，并缓和地流经颈内管22和颈外管23形成的空腔，对大视口也进行冷却，冷却水环绕颈内管22后，经分水条16导向流入下一级水道，冷却水继续沿逆时针方向螺旋上升到法兰入水口 G，经法兰入水口 G进入上法兰1，沿着逆时针方向经过各个通道暗室，环绕上法兰1 一周，经出水口 F流出。在冷却水循环的过程中，观察压力表读数，如果腔体内水压超标，打开卸压阀19，从泄压口 D卸压。冷却水像血液一样不停地循环于隔离阀腔的各个部位，与腔体进行着热交换，达到对隔离阀及隔离阀腔体降温的目的。权利要求1. 一种单晶生长炉隔离阀腔体，其特征在于包括上法兰(1)、下法兰(2)、观察窗(3)、 阀口法兰(4)、阀口接管(5)、方形内胆(6)、半圆内胆(7)、方形外壳(8)、半圆外壳(9)、水圈(10)、长塞堵(11)、短塞堵(12)、盖板(13)、隔水块(14)、隔水条(15)、分水条(16)、出水管(17)、进水接头(18)、卸压阀(19)、真空接头(20)、视口法兰(21)、颈内管(22)、颈外管 (23)；方形内胆(6)和半圆内胆(7)纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳(8)和半圆外壳(9)纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰(1)和下法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王朝定，
申请(专利权)人：杭州风正电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：