方便清理石英坩埚残体的碳/碳复合材料坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便清理石英坩埚残体的碳/碳复合材料坩埚，它包括埚体(1)，其特征是埚体(1)上开设有导热冷却槽(2)，所述的导热冷却槽(2)为通槽，本实用新型专利技术结构简单，操作方便，导热冷却槽的设立在加热时有利于热的传导，在冷却时又有利于石英坩埚的局部裸露部位冷却较快而脆化，有效地减轻去除石英埚残体时对碳/碳复合材料坩埚的损伤，减轻了工人的劳动强度，延长了碳/碳复合材料坩埚的使用寿命。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种高温炉用工装，具体地说是一种碳/碳复合材料坩埚，特别是涉及一种方便清理石英坩埚残体的碳/碳复合材料坩埚。
技术介绍
目前，单晶炉拉制单晶硅棒时，盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的坩埚内，在保护性气氛中加热熔化，调控到工艺温度后，籽晶经导流筒插入熔融多晶硅液中，坩埚放在埚托上由其下的埚托轴带动一同旋转，同时，籽晶也逆向旋转并向上提升， 使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。在单晶硅棒拉制过程中，炉内温度高达1500°C左右，此时，石英坩埚变软，要靠外面的坩埚承托，拉晶后残留的石英坩埚常紧贴坩埚内壁。由于石英坩埚是一次性工装，必须逐炉更换，当坩埚为整体或整圆结构时，虽然拉晶时的整棒率和成晶率较高，但石英坩埚的去除则较为困难，去除时甚至损坏坩埚。当坩埚采用多瓣结构时，如石墨坩埚，因其力学性能较差，石墨坩埚在高温环境中使用，要承托石英坩埚及原材料的重量，并处于旋转状态，在外力的作用下容易破裂，因此，目前单晶炉用石墨坩埚一般采用多瓣结构。为提高坩埚的力学性能，也有采用碳/碳复合材料制备多瓣结构坩埚。坩埚采用多瓣结构虽然能解决方便去除石英坩埚残体的问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，李军，邰卫平，王跃军，廖浪，
申请(专利权)人：湖南金博复合材料科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：