薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够可靠地去除在薄膜太阳能电池板上以一定的间隔设置的多条细槽内附着的微粒，而且不会损伤表面上的成膜面，不会使薄膜剥离的高压液体喷射清洗装置。对应于薄膜太阳能电池板的各细槽的位置，将喷嘴沿着喷嘴支架的长度方向以一定的间隔排列，用喷嘴支架两侧的支持部在喷嘴支架的长度方向上移动自如地支持喷嘴支架，一边与细槽平行地相对输送太阳能电池板，一边将从喷嘴支架的各喷嘴成一直线状地喷射的高压液体，对太阳能电池板的多条细槽平行喷射进行清洗。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及为去除在薄膜太阳能电池板的宽度方向以一定的间隔设置的细槽(浅纵向槽)(scribe line)内附着的微粒(太阳能电池板的制造工序中发生的玻璃基板表面上的微粒和有机物以及金属杂质等)(particle)，对薄膜太阳能电池板喷射高压液体的，薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置。
技术介绍
上述薄膜太阳能电池板的制造过程中，经过在玻璃板上形成透明电极膜(TC0膜) 的玻璃板接纳步骤、在透明电极膜上利用激光形成细槽的步骤、在透明电极膜上用CVD形成由硅等构成的半导体光电变换层的步骤、用激光在半导体光电变换层上形成细槽的步骤、在半导体光电变换层上形成导体膜的步骤、用激光在导体膜以及半导体光电变换层上形成细槽的步骤等多个制造工序后，在背面侧贴玻璃板。在该贴玻璃板的工序之前，必须进行去除微粒的清洗工作。因为如图6C所示，细槽102内如果附着微粒99，则串联连接的光电变换元件层(光电变换单元)101之间会发生绝缘不良的情况，不能够实现目标发电量。 因此，向来为了去除细槽内的微粒，使用圆刷(参照例如非专利文献1)。这种圆刷使用时，将旋转着的圆刷一边蘸清洗液一边抵住细槽内，使清洗对象相对于圆刷移动，擦除细槽内附着的微粒。在涉及使用这样的圆刷的清洗装置的在先技术中，提出了如下所述的清洗装置， 即“作为清洗对象的薄膜太阳能电池板以其分割线即细槽与传送带的输送方向平行的状态被放置于传送带上，随着传送带的行驶，太阳能电池板被弓I入水洗室内。然后，在水洗室内， 向着传送带上表面设置导电刷，从喷嘴机构的喷嘴孔喷射清洗用水。从而，太阳能电池板在传送带行走的过程中利用清洗用水进行清洗，同时导电刷的前端摩擦太阳能电池板的光电变换单元集成区域以及周边区域，形成电气导通状态，保持等电位。”(参照例如专利文献 1)。非专利文献1 :2007年1月发行的“支持电子学的清洗技术(发行所株式会社東 l·丨J寸一子七 > 夕一调查研究部门)”(27 洲页)。专利文献1 日本特开2001 - 044467号公报(0028 0031段及图1 图3)。
技术实现思路
但是，利用上述圆刷去除太阳能电池板的细槽内的微粒的方法中，存在如下所述问题。第一，如图6A所示，细槽102的宽度W为50 80 μ m，而圆刷的刷子直径R为100 μ m以上，因此不容易去除细槽102内角落部附着的微粒99。而且，圆刷的毛直径粗，也造成细槽102内的微粒99去除的困难。第二，靠在细槽内的透明电极膜面上的圆刷一边旋转一边擦除微粒，因此一旦有异物混入圆刷内，也可能损伤薄膜。而且，由于圆刷会磨损，圆刷在面板上的高度位置需要进行调整、替换等维修保养，为了使得圆刷工作还是很费事。另一方面，有如下所述清洗装置提出，也就是从喷嘴孔喷射加压到20 200kg/cm2 的清洗液，喷射晶片或掩模表面去除微粒的高压液体喷射清洗装置。但是，通常，提出这样的装置形成对太阳能电池板的整个面喷射高压液体进行清洗的结构。因此，难以将高压液体只集中喷射在细槽内可靠地清除微粒。而且，如果为了提高在上述高压液体喷射清洗装置中清除微粒的能力过度提高喷嘴孔喷射出的高压液体的压力，则太阳能电池板表面的薄膜可能发生剥离。本专利技术是鉴于上述存在问题而作出的，其目的在于，提供能够可靠地清除在薄膜太阳能电池板上以一定的间隔设置的许多细槽内附着的微粒，而且不会造成表面的成膜面受伤或薄膜剥离的，薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置。为了实现上述目的，本专利技术的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置具备 对在与薄膜太阳能电池板的宽度方向垂直的方向上不断地连接而且在所述宽度方向上以一定的间隔排列设置的多条细槽的各条细槽，成一直线状地喷射高压液体进行清洗的多个高压液体喷嘴、对应于所述各细槽将所述多个喷嘴沿着长度方向排列的喷嘴支架、支持所述喷嘴支架的支持部、以及相对于所述喷嘴支架，在垂直于所述喷嘴支架的长度方向的方向上，而且与所述太阳能电池板的所述细槽不断地连接的方向平行地，相对输送所述太阳能电池板的输送装置。如果采用具有上述结构的高压液体喷射清洗装置，则从多个喷嘴成一直线状地喷射高压液体，因此能够得到高清洗强度。而且，从各喷嘴将高压液体向着太阳能电池板的细槽平行而且成一直线状地喷射，冲击太阳能电池板的各细槽内，因此能够擦除各细槽内的微粒。在这种状态下，相对于喷嘴支架，在太阳能电池板在与细槽平行的方向上相对输送， 因此高压液体成一直线状向各细槽内喷射，能够清除细槽内的微粒。还有，如图6B所示，从一个喷嘴3成一直线状喷射的高压液体的外径306 (实施例的情况)，设定为接触太阳能电池板100的表面的范围为例如约140 μ m，比细槽102的宽度稍大。而且，最好是在上述高压液体喷射清洗装置中，所述支持部具备使喷嘴支架能够在其长度方向上移动自如地对其加以支持，同时使所述喷嘴支架在其长度方向上微小移动，对各喷嘴进行定位的精细定位装置。还有，在这里，所谓“定位”是指使从某一喷嘴喷射的喷射的高压液体触及的位置与该喷嘴对应的一条细槽的位置对准。如果这样做，则从上述喷嘴支架的喷嘴喷射出的高压液体触及太阳能电池板的位置由于太阳能电池板的输送等原因偏离细槽的情况下，可以利用精细定位装置调整高压液体触及的位置，使其正确地对准细槽的位置。而且，通过使喷嘴支架的一个喷嘴喷射出的高压液体触及的位置与太阳能电池板的一条细槽的位置对准，从喷嘴支架喷射出的高压液体就会正确地对准太阳能电池板的全部细槽。而且，也可以在上述高压液体喷射清洗装置中，所述喷嘴可改变喷射的高压液体的喷射压力。如果这样做，则可以根据太阳能电池板的各细槽内的表面上露出的透明电极等薄膜的硬度，调整高压液体的喷射压力，因此可以将高压液体的喷射压力设定为即使是高压液体触及，薄膜也不会剥离的压力。而且，在上述高压液体喷射清洗装置中，所述支持部使所述喷嘴支架能够围绕其长度方向的轴转动地对其加以支持，能够对所述喷嘴喷射的高压液体的方向进行调节。如果这样做，则能够调整为不仅从太阳能电池板的细槽内的露出的面的垂直方向的正上方， 而且能够以倾斜某种程度(相对于露出面倾斜45°或30°以下)的角度将高压液体喷射于其上，因此能够高效率地将细槽内的微粒冲出来。而且，也可以在上述高压液体喷射清洗装置中，所述喷嘴支架具备沿着其长度方向不断地连接，而且与所述多个喷嘴连通的高压液体供给通路，在该高压液体供给通路上连接提供高压液体的可挠性高压液体供给管的一端。如果这样做，则即使是使喷嘴支架相对于上述支持部在长度方向上移动，也会在喷嘴支架移动时可挠性的高压液体供给管发生屈曲变形，抵消喷嘴支架端部的位移。而且，通过高压液体供给管提供给高压液体供给通路内的高压液体，从与高压液体供给通路内连通的各喷嘴大致均勻地在高压下喷射清洗液。而且，也可以上述高压液体喷射清洗装置还具备第2喷嘴支架，该第2喷嘴支架具备能够向所述太阳能电池板表面扇状喷射比所述高压液体压力低的液体的一个以上的第2 喷嘴。如果这样做，则利用高圧喷射清洗装置能够清洗太阳能电池板的细槽，同时清洗太阳能电池板的表面。本专利技术的高压液体喷射清洗装置由于具有如上所述结构，具有如下所述的优异效果。也就是第一、能够可靠地清除太阳能电池板的各细槽内附着的导电性和半导电性本文档来自技高网...

【技术保护点】
述各细槽将所述多个喷嘴沿着长度方向排列的喷嘴支架；支持所述喷嘴支架的支持部；以及相对于所述喷嘴支架，在垂直于所述喷嘴支架的长度方向的方向上，而且与所述太阳能电池板的所述细槽不断地连接的方向平行地，相对输送所述太阳能电池板的输送装置。１．一种薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于，具备：对在与薄膜太阳能电池板的宽度方向垂直的方向上不断地连接而且在所述宽度方向上以一定的间隔排列设置多条细槽的各条细槽，成一直线状地喷射高压液体进行清洗的多个高压液体喷嘴；对应于所

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：池秀朗，辻田京史，田中秀幸，久下守正，野村充，友永真昭，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP