锯线和锯线的制造方法技术

本发明专利技术提供切割性能优异的固定磨粒式锯线及其制造方法。本发明专利技术的锯线是在金属丝上固着有磨粒的固定磨粒式锯线，其特征在于，所述磨粒利用Ｚｎ系或Ｓｎ系的低熔点金属和熔点比所述低熔点金属高的高熔点金属固着于所述金属丝上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及锯线(saw wire)和锯线的制造方法，尤其是涉及固定磨粒式锯线及其制造方法。
技术介绍
硅和SiC等的半导体用锭的切片加工已使用能够高效率、高精度地切片加工的内周刀切割加工。该内周刀切割加工，对应于硅锭的大型化，内周刀大径化，另外为了减少切割损耗，在谋求内周刀的薄型化。然而，硅锭的直径超过12英寸(300mm)时，内周刀的薄型化存在极限，高价格的被切削材料的切割损耗的降低也有限。因此，作为代替内周刀切割加工的半导体用锭的切割方法，在实施利用混杂于油中的WA(白色氧化铝)、GC(绿色碳化硅)等的游离磨粒的线切割法。另外，蓝宝石或SiC等的单晶基板用锭的切片加工，在实施利用混在油中的WA (白色氧化铝)、GC (绿色碳化硅)、 金刚石等的游离磨粒的线切割法。然而，该线切割法切割速度慢，而且切割精度差，并且在被切削材料上产生油污，存在环境污染的问题。另一方面，使用固定磨粒型锯线的切割法，将在钢线等上固着(固定)有超磨粒的锯线在引导辊间绷紧，对作为被切削材料的半导体锭等施加适当的载荷使其接触，由此能够用细的锯线切割大直径的被切削材料，能够降低切割损耗。并且，该线切割法能够使用水系的磨削液。使用金刚石磨粒作为超磨粒的金刚石锯线的以往的制造方法，曾提出了 对粗的金刚石磨粒电沉积M后，对细的金刚石磨粒进行电沉积M的方法(专利文献1 日本特公平4-4105号公报)；和将丝卷绕成多圈螺旋状支撑在丝吊具上，插入磨粒槽内静态地镀M 的方法(专利文献2 日本特开平7-227766号公报)等。作为电沉积Ni以外的固定磨粒式锯线，有使用树脂的树脂固定型锯线(专利文献3 日本特开2006-7387号公报)和使用硬钎料或软钎料(焊锡)固着磨粒的锯线(专利文献4 日本专利第4008660号公报)等。然而，树脂固定型锯线，树脂的固着金刚石磨粒的力不充分，因此不能够得到充分的切割性能。另外，电沉积M的锯线的场合，必须对金刚石磨粒床供给远多于实际附着在金属丝上的量的磨粒，并且由于电沉积速度慢，因此不得不大量地长时间维持高价格的金刚石磨粒。因此，虽然具有比较高的切割性能，但存在成本高的缺点。作为相对于这些制造方法具有比较高的切割性能，并且成本比较低的制造方法， 在专利文献4中公开了利用硬钎焊以及软钎焊的制造方法。在该专利文献4中，实施例3 和4记载了使用Sn-Ag-Cu系软钎料，在因科内尔anconel) 718丝上固定了镀Cu的金刚石磨粒的被覆金刚石的金属丝的制作和评价。现有技术文献专利文献1 日本特公平4-4105号公报专利文献2 日本特开平7-227766号公报专利文献3 日本特开2006-7387号公报专利文献4 日本专利第4008660号公报
技术实现思路
然而，即使上述专利文献4涉及的锯线也不能说磨粒的保持力充分，因此存在难以谋求切割性能提高的问题。本专利技术的目的在于，鉴于上述状况，提供一种，所述锯线是在金属丝上固着有磨粒的锯线，磨粒的脱落少，切割性能优异。本专利技术的权利要求1涉及的专利技术，是磨粒由固着部(固定部)固着(固定)在金属丝上的固定磨粒式锯线，其特征在于，上述固着部含有Si系或Sn系的低熔点金属和熔点比上述低熔点金属高的高熔点金属。本专利技术的权利要求2涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求1中，上述高熔点金属包含于在上述磨粒的周围、上述锯线的表面和上述金属丝表面之中的一处以上所形成的高熔点金属层中。本专利技术的权利要求3涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求1中，上述磨粒是具有 Ni被覆层的磨粒，上述低熔点金属是含有0. 5 5. 0质量％的Ag的Sn系软钎料，上述高熔点金属是含有Sn的金属间化合物。本专利技术的权利要求4涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求3中，上述含有0.5 5. 0质量％的Ag的Sn系软钎料，具有分散有具有1 2 μ m的厚度的板状或直径为1 2 μ m的绳状的至少一方的A^Sn系金属间化合物的组织。本专利技术的权利要求5涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求3或4中，在上述含有 0. 5 5. 0质量％的Ag的Sn系软钎料中，含有0. 01 0. 5质量％ Fe、0. 01 0. 5质量％ 的Ni。本专利技术的权利要求6涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求3中，上述磨粒具有下层为Ti或Cr、上层为Ni的多层被覆层。本专利技术的权利要求7涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求3或6中，上述含有Sn 的金属间化合物至少存在于上述磨粒的周围。本专利技术的权利要求8涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求2或6中，含有Sn和Ni 的金属间化合物作为金属间化合物层存在于上述磨粒的周围。本专利技术的权利要求9涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求2或6中，含有Sn和Ni 的金属间化合物是 Ni3Sn4、Ni3Sn2 和 Sn(1_x_y)NixCuy (其中，0. 1 彡 χ 彡 0. 7，0. 01 彡 y 彡 0. 5) 之中的1种或2种以上。本专利技术的权利要求10涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求1中，上述低熔点金属是含有Sn和Si的软钎料，上述高熔点金属是含有Sn或Si的金属间化合物。本专利技术的权利要求11涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求10中，上述软钎料中的Si的含有量为1 35质量％。本专利技术的权利要求12涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求11中，上述软钎料的组成由Sn-Zn-X表示，X是Bi、Ni、Cu、Fe、Sb、Pb、In和Ag之中的一种或二种以上，X的含有量为0. 5 5质量％。本专利技术的权利要求13涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求10中，上述磨粒具有Ni或Cu的被覆层。本专利技术的权利要求14涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求10或13中，上述磨粒具有下层为Ti或Cr、上层为Ni或Cu的多层被覆层。本专利技术的权利要求15涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求10或13中，上述含有 Sn或Si的金属间化合物至少存在于上述磨粒的周围。本专利技术的权利要求16涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求10或13中，上述含有Sn或Si的金属间化合物是Ni-Sn系、Ni-Zn系、Ni-Sn-Zn系、Cu-Sn系、Cu-Sn-Zn系和 Cu-Zn系之中的1种或2种以上的金属间化合物。本专利技术的权利要求17涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求1中，上述固着部包含由熔点为700°C以上的上述高熔点金属构成的高熔点金属层和由上述低熔点金属构成的低熔点金属层。本专利技术的权利要求18涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求17中，上述高熔点金属层相对于上述低熔点金属层形成于外侧。本专利技术的权利要求19涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求17或18中，通过构成上述高熔点金属层的高熔点金属和构成低熔点金属层的低熔点金属进行扩散，在上述低熔点金属层内形成了上述低熔点金属与上述高熔点金属的合金相。本专利技术的权利要求20涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求17或18中，构成上述高熔点金属层的高熔点金属是Ni或Ni合金或者Cu或Cu合金。本专利技术的权利要求21涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求17中，上述磨粒具有Ni被覆层。本专利技术的权利要求22涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求17或18中，上述低熔点金属层是通过热浸镀形成的。本专利技术的权利要求23涉及的专利技术，其特征在于，在权利要求17或18中，构成上述低本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种锯线，是磨粒由固着部固着于金属丝上的固定磨粒式锯线，其特征在于，所述固着部含有Ｚｎ系或Ｓｎ系的低熔点金属和熔点比所述低熔点金属高的高熔点金属。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：森田充，
申请(专利权)人：新日铁高新材料株式会社，
类型：发明
国别省市：JP