LED衬底加工用研磨液及其制备方法技术

一种LED衬底加工用研磨液，包括溶剂、添加剂和研磨剂，研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成；金刚石微粉，纯度为99%以上，粒度为：W0.5~W20；非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合物，粒度为10~100nm，纯度为99%以上。本发明专利技术在采用微米级金刚石作为磨料的同时，复合加入非金刚石纳米级抛光材料，既能保证研磨速率，又能很好的保证工件表面的加工质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密研磨加工领域，具体应用于光电行业LED制造中硅、碳化硅、蓝宝石等衬底的精密高效研磨抛光。
技术介绍
LED产品具有小型化、省电、低发热、耐震、使用寿命长、光电转换效能高、单色发光及反应速度快等优点，广泛见于日常生活中，如家用电器的指示灯，汽车后防雾灯、LED显示屏等。LED通常采用硅、碳化硅、蓝宝石作为衬底制造。LED制造过程中，必须对其衬底表面进行极其精密的研磨抛光，加工质量要求非常高，如表面粗糙度值Ra须达到纳米级且表面无微小划痕等，为了达到这种要求通常采用研磨液研磨的方法。根据具体使用要求的不同，研磨液可以选取水性和油性溶剂做为研磨分散介质， 针对要解决的技术问题，设计相对应的技术方案。例如，北京国瑞升提出的中国专利申请200710177815. 7揭示了一种水性金刚石研磨液及其制备方法，根据该专利申请，采用单一的金刚石作为磨料加工LED衬底、光学仪器、玻璃、陶瓷、宝石等硬脆材料。河北工业大学刘玉玲等提出的专利申请200610013981.9 揭示了一种蓝宝石衬底材料的抛光液，该专利申请应用硅溶胶作为磨料对蓝宝石衬底进行研磨抛光。众所周知，金刚石是世界上硬度本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种ＬＥＤ衬底加工用研磨液，包括溶剂、添加剂和研磨剂，其特征是：研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成；金刚石微粉，纯度为９９％以上，粒度为：Ｗ０．５～　Ｗ２０；非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合物，粒度为１０～１００ｎｍ，纯度为９９％以上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，方伟，
申请(专利权)人：郑州磨料磨具磨削研究所，郑州三磨超硬材料有限公司，
类型：发明
国别省市：41