下载LED衬底加工用研磨液及其制备方法的技术资料

文档序号:7100145

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一种LED衬底加工用研磨液,包括溶剂、添加剂和研磨剂,研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成;金刚石微粉,纯度为99%以上,粒度为:W0.5~W20;非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合...
该专利属于郑州磨料磨具磨削研究所;郑州三磨超硬材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过郑州磨料磨具磨削研究所;郑州三磨超硬材料有限公司授权不得商用。

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