有机废气的处理方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供可以实现从有机废气中对有机成份进行再利用和废弃处理这两方面的处理技术。具备：将有机气体进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序；对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序；对前述第一冷却冷凝工序的冷凝液进行回收并再利用的工序；通过活性污泥等对前述第二冷却冷凝工序的冷凝液进行排水处理的工序。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在液晶及半导体制造工序中排出的有机废气的处理方法。由于废气的处理气体介质被控制在25℃左右，RH50～60％的程度，所以产生的废气变为比较高的温度(35℃)。从以上的介绍可以看出，例如从剥离工序而来的废气在含有水蒸气的同时，大多含有作为有机气体的单乙醇胺(MEA)和二甲基磺基亚砜(DMSO)等。在液晶及半导体制造工序中被排出的有机废气是大量的。特别是，由于在液晶的制造工序中使用的基板尺寸较大，剥离液也多，所以产生的废气也更多。因此，从成本观点看优选回收再利用。从有机废气中将有机成份进行分离回收，大多采取冷却冷凝方式。然而，要处理大量的废气，需要相当多的冷水。也就是说，存在水和冷却负担的成本过高的问题。为此，至今不能得到有效的回收再生率。另一方面，从环境的观点看，还有将有机废气直接通过洗涤器进行处理的方法，然而，由于需要大量的水和中和药液，根据洗涤器运转状况的不同，存在的问题是容易产生臭气。并且，将洗涤器中的处理水，作为排水处理，导入活性污泥处理装置中，然而，由于流动BOD负荷较高的浓度的处理水，所以装置变得过大，在其管理方法上也存在问题。从上述观点看，优选在分离回收有机成份之后，通过洗涤器或活性污泥等处理，进行废弃及放出。然而，至今，将有机废气作为资源进行有效利用，或者高效率地经排水处理，进行废弃处理还不充分。本专利技术的专利技术者们，为了解决上述课题，对从有机废气中将有机成份进行分离回收的工序进行了研究，通过在冷却冷凝工序中的处理内容上想对策，找出了能够一举实现有机成份的再利用和废弃处理这两方面，进而，在此之外可以一举达成放出气体的环境(臭气)对策的方法，完成了本专利技术。也就是说，本专利技术提供以下的方式。(1)是有机气体的处理方法，该方法具备将有机废气进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序；储存第一冷却冷凝工序中的冷凝液的工序；对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序；储存第二冷却冷凝工序中的冷凝液的工序。(2)如(1)记载的方法，在前述第二冷却冷凝工序之前，设有经过前述第一冷却冷凝工序的废气的雾分离工序。(3)如(1)或(2)记载的方法，在前述第一冷却冷凝工序中，将含在前述有机废气中的水蒸气冷却至成为饱和蒸气压力的温度附近。(4)如(1)～(3)中的任一项记载的方法，在前述第一冷却冷凝工序中，回收含在前述有机废气中的有机成份的70wt％以上90wt％以下，在第二冷却冷凝工序中，回收含在前述有机废气中的有机成份的10wt％以上20wt％以下。(5)如(1)～(4)中的任一项记载的方法，具有回收并再生前述第一冷却冷凝工序的冷凝液的工序和对前述第二冷却冷凝工序的冷凝液进行回收并进行排水处理的工序。(6)如(1)～(5)中的任一项记载的方法，还具备对经过前述第二冷却冷凝工序的废气进行处理的工序。(7)是有机废气的处理方法，该方法具备冷却冷凝有机废气的工序；对含有高浓度有机成份的冷凝液进行再生的再生工序；对含有低浓度有机成份的冷凝液进行排水处理的工序。(8)如(7)记载的方法，还具备对在前述冷凝工序中没被冷凝的残留废气进行处理的工序。(9)是有机废气的处理装置，该装置具备冷凝有机废气的第一冷凝器；冷凝经过前述第一冷凝器的废气的第二冷凝器；储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部。(10)如(9)记载的装置，将前述冷凝装置的前述第一储存部与前述第二储存部以能够通过废气的方式进行连通。(11)如(9)或(10)记载的装置，前述第一储存部与前述第二储存部通过雾分离装置连通。(12)如(9)～(11)中的任一项记载的装置，前述第一冷凝器和前述第二冷凝器与前述第一储存部和前述第二储存部被单元化。(13)如(9)～(12)中的任一项记载的装置，在前述第一冷凝器和前述第二冷凝器上分别设有冷凝器内温度检测装置。(14)如(9)～(13)中的任一项记载的装置，设有回收并再生冷凝液的装置和将冷凝液进行排水的装置。(15)如(14)记载的装置，将来自前述第一冷凝器的冷凝液与来自前述第二冷凝器的冷凝液可以切换地供给到前述回收再生装置及前述排水处理装置中。(16)如(14)或(15)记载的装置，在朝向前述回收再生装置的配管以及/或者朝向前述排水处理装置的配管上，设有水密封性发挥装置。(17)如(9)～(16)中的任一项记载的装置，具有对经过前述第二冷凝部的废气进行处理的废气处理装置。(18)如(17)记载的装置，在朝向前述废气处理装置的配管上设置维持配管内的冷凝状态的装置。(19)如(9)～(18)中的任一项记载的装置，在向前述第一冷凝器供给有机废气的配管系以及/或者从前述第二冷凝器排出废气的配管系，设置雾捕捉装置以及/或者冷凝装置。根据这些方法，通过对有机废气进行第一冷凝工序和第二冷凝工序，可以对供给到有机成份的再生利用和活性污泥处理的各个工序中的冷凝液(有机成份)进行分离回收。从而能够高效且有效地进行再生利用和废弃处理。另外，应用这些装置，可以很容易地对有机废气进行不同回收水平的冷凝工序。从而，可以分别向回收再生装置和排水处理装置提供适当的冷凝液。形成具备回收再生装置与活性污泥处理装置等排水处理装置大的装置，能够简单并且同时地实现各自的功能。图2是表示雾捕捉装置或冷凝装置的一个实施例的图。图3是表示雾捕捉装置或冷凝装置的另一个实施例的图。本专利技术的有机废气的处理方法具备将有机废气进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序；储存第一冷却冷凝工序中的冷凝液的工序；对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序；储存第二冷却冷凝工序中的冷凝液的工序。或者具备冷却冷凝有机废气的工序；对含有高浓度有机成份的冷凝液进行再生的再生工序；对含有低浓度有机成份的冷凝液通过活性污泥等进行排水处理的废弃处理工序。作为适合实施这些方法的装置，本专利技术提供具备冷凝有机废气的第一冷凝器；冷凝经过前述第一冷凝器的废气的第二冷凝器；储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部的装置，特别是提供具备与第一冷凝器连通的第一冷凝液储存部；使废气能够通过地对该第一冷凝液储存部进行划分，并与前述第二冷凝器连通的第二冷凝液储存部。下面，对本专利技术的有机废气处理方法进行说明，同时对于实施包含在该处理方法中的各工序上优选的装置的本专利技术的装置进行说明。附图说明图1中记载本专利技术的方法乃至装置的概要。图1所示的处理方法表示为了实施第一冷却冷凝工序与第二冷却冷凝工序而以装置2为中心的处理工序的概要。(有机废气)本专利技术可以适用各种有机废气，优选适用于从半导体元件、液晶显示屏、印刷板等电子部件等的制造工序中被排出的有机废气。更优选地，在净化室内实施的各种制造工序中的废气。对废气进行一定温度的管理，这是由于实施本专利技术的冷凝工序的温度控制比较容易实现。尤其优选适用于被控制在25℃程度的净化室中产生的废气。此时，废气的温度是30℃～40℃程度，比冷却冷凝更能有效地回收有机成份。在电子零件的制造工序中，也特别优选适用含有于光刻工序之后的光致抗蚀剂的剥离工序中被排出的剥离液成份的有机废气。来自剥离工序的废气，从净化室中被排出，是高浓度废气，这也是由于大量地产生废气的缘故。另外，废气中很难混本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机废气的处理方法，具备： 将有机废气进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序； 储存第一冷却冷凝工序中的冷凝液的第一工序； 对在第一冷却冷凝工序中被处理的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序； 储存第二冷却冷凝工序中的冷凝液的第二工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：爱甲雅彦，林和幸，
申请(专利权)人：松下环境空调工程技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]