一种纤维超过滤方法和设备技术

一种纤维超过滤方法和设备，涉及到处理切割研磨废水的纤维超过滤方法和设备。切割研磨废水经过纤维预过滤步骤和超过滤步骤获得可回收纯净水。并在运行一段时间后，利用可回收纯净水对超过滤膜和纤维过滤层进行反洗步骤。在纤维预过滤步骤中，纤维预过滤器内有可上下移动的多孔板和滤径约介于１～１０μｍ的纤维过滤层。在超过滤步骤中，超过滤器内有内部安放滤径约介于０．０１～０．０５μｍ的超过滤膜及空气喷嘴的保护管。实施本发明专利技术后，过滤化学机械研磨废水的效果极佳，水的回收效率高达９５％以上。滤层易于反洗，使用寿命长，整体处理成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的纤维超过滤方法和设备，特别涉及到处理切割研磨废水的纤维超过滤方法和设备。
技术介绍
在本专利技术提出来之前，半导体工业不断追求制作微缩化的与高集成度的集成电路，对于平坦化技术的需求显得更加重要。其中，化学机械研磨技术(chemical mechanical polishing CMP)成为最受瞩目的表面平坦化微细加工关键技术，也因此逐渐被广泛使用。然而，在运用CMP技术的过程中，有大量的研磨废水产生。根据统计CMP研磨废水量占半导体制作过程中总废水量的15～25％。CMP研磨废水主要产生途径在于研磨过程中所排放的研磨废液(包含研磨液与研磨产生的研磨屑)以及研磨后以大量超纯水清洗所产生的清洗废水。研磨废水中主要含有(1)高浓度的，化学性质稳定的微细研磨粉体(如SiO2，Al2O3)、(2)研磨碎屑(如W，Al，Cu)、(3)缓冲剂及其他添加剂、(4)大量清洗废水。若不经过处理而直接排放研磨废液，势必对环境造成污染，且造成水资源严重浪费。目前对于切割研磨废水的处理方法，主要有下列两大类(1)传统化学混凝法切割研磨废水中含有大量极微细悬浮颗粒，呈高度稳定分散状态。故在适本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纤维超过滤方法，其特征在于：切割研磨废水（１０１）首先经过软质且滤径介于１～１０μｍ的纤维过滤层（１２），形成纤维过滤水（１０２）。然后经过滤径约介于０．０１～０．０５μｍ的超过滤膜（２１），得到可回收纯净水（１０３）；利用可回收纯净水（１０３）对超过滤膜（２１）和纤维过滤层（１２）进行反洗。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗铭鸿，
申请(专利权)人：宁波全泽国际贸易有限公司，
类型：发明
国别省市：97[中国|宁波]