一种双等离子体处理工业废气的方法与装置制造方法及图纸

本发明专利技术属废气处理技术领域，具体为一种双等子体处理工业废气的方法与装置。该方法由一台等离子体电源同时实现二个区域的介质阻挡放电：常压气体放电区（Ⅰ区）和低压气体紫外福射区（Ⅱ区）待处理废气由Ⅰ区进入系统，再经过Ⅱ区紫外辐射，提高了污染物的去除效率。装置由３个直径不同的石英管和内外电极组成，三个石英管之间形成上述２个放电区。本发明专利技术的双等离子体反应系统同常压气体介质阻挡放电系统相比，外施电压降低３０００Ｖ左右，能量利用率提高３０％；该系统结构紧凑，能效高，处理效果好，可用于多种工业废气的除污处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属废气处理
，具体涉及一种等离子体处理工业废气的方法与装置。
技术介绍
在工业废气处理方法中，低温等离子体技术与其它污染治理技术相比，具有处理流程短、占地面积小、气阻小、适用范围广等特点。低温等离子体技术处理污染物的原理为在外加电场的作用下，气体放电产生大量携能电子(电子平均能量在1～10eV)，废气中的恶臭物质在高能电子的轰击下发生电离、解离或激发，并在O2参与反应下发生一系列复杂的物理、化学反应，最终使废气中的污染物分解达到净化目的。等离子体是继固态、液态、气态之后被称为物质的第四态，它是气体在放电过程中产生的包括大量正负带电粒子、电子和中性粒子以及自由基组成的表现出集体行为的一种准中性气体。在这个体系中如果电子的温度和重粒子的温度差不多，则为高温等离子体，或称为平衡态等离子体。如果电子的温度远远大于重粒子的温度，整个体系呈现一种常温状态，此时产生的等离子体为低温等离子体，也叫非平衡态等离子体，一般气体放电产生的等离子体属于这一类型。根据气体放电的方式，等离子体的产生主要有辉光放电(Glowdischarge)、电晕放电(Corona discharge)、介本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双等离子体处理工业废气的方法，其特征在于由原来的双层石英介质改为三层石英介质层，使三层石英介质分割形成两个放电区域：常压气体放电区和低压气体紫外福射区；工业废气由常压气体放电区进入系统，经过低压气体紫外辐射区，实现高效去除污染物、净化气体的效果。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张仁熙，侯惠奇，苏小红，顾丁红，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]