本实用新型专利技术涉及CO2激光器防反射装置，该装置由偏振分光器件(2)、镀λ/4延迟膜的铜镜(3)、反射铜镜(4)、聚焦镜(5)、光吸收体(6)等器件组成，CO2激光器输出的线偏振激光经过准直系统后再经过偏振分光镜(2)、镀λ/4延迟膜的铜镜(3)及光吸收体(6)组成的防反射装置，对材料进行加工。利用激光束是线偏振光的特性，通过镀λ/4延迟膜的铜镜(3)改变工件反射光束的偏振特性，再采用偏振分光镜将反射光从CO2激光器的出射光束中分离出去，反射光无法照射到CO2激光器内部。本实用新型专利技术可获得高功率线偏振激光输出，还可以有效防止反射光对激光器的损伤，保证CO2激光器在激光加工过程中具有较高的系统稳定性。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种(X)2激光器防护装置，该装置可以消除(X)2激光器在激光加工过程中由于工件表面反射光回射到CO2激光器而对其造成的损伤，本技术属于激光技术及其应用领域。
技术介绍
激光加工是一门发展极快的高新技术，目前其应用范围已遍及各行各业，不仅广泛用于打孔、打标、切割、焊接和热处理等方面，而且广泛用于各种精细加工。特别在有色金属材料加工方面，激光加工更表现出了独特的优势。激光器作为激光加工系统的核心元件， 其技术水平很大程度上决定了激光加工的质量。目前应用于激光加工的激光器主要是CO2 激光器和Nd:YAG固体激光器。尤其在切割领域，CO2激光器占据了 85%以上的市场份额， 当激光辐射到材料表面时，材料表面会对激光进行反射，特别是金属材料，反射率很高，反射的激光会通过光学系统聚焦在出射面，激光反射会造成激光功率下降、输出功率不稳定、 激光光束模式改变等对生产应用不利的影响，甚至会对(X)2激光器谐振腔造成损伤，因此， 有效防止激光反射是(X)2激光器材料加工的一个重要问题，特别是在针对(X)2激光高反射的材料进行加工时，必须进行防止。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有(X)2激光器的不足，提供一种可有效防止反射光对 CO2激光器造成损伤的防反射装置。本技术采用的技术方案是，按照本技术所述的用于(X)2激光器的防反射装置，如图1及图2所示。用于(X)2激光器的防反射装置，(X)2激光器1、偏振分光器件2、镀 λ /4延迟膜的铜镜3、反射铜镜4、聚焦镜5、光吸收体6，其特征在于0)2激光器1输出的出射线偏阵激光L进入偏振分光器件2后入射到镀λ /4延迟膜的铜镜3上得到圆偏振光 L1,再经过反射铜镜4及聚焦镜5后光束L1照射到工件上后，工件反射的部分光束L2沿原出射光路返回，再次经过镀λ /4延迟膜的铜镜3后变为与出射光束L偏振方向垂直的线偏振光束L3，光束L3经过偏振分光器件后，会偏离出射光束L的方向，照射到吸收体上。所述的偏振分光器件2为P线偏振光透射S线偏振光反射式偏振分光器件或S线偏振光透射P线偏振光反射式偏振分光器件。所述的偏振分光器件2为为在透射(X)2激光材料所制作的平面镜上，如镜或 GaAs镜上，镀偏振分光膜。所述的镀λ /4延迟膜的铜镜3及反射铜镜4带有水冷管道可进行水冷冷却。用于CO2激光器的防反射装置，其特征在于所述0)2激光器输出激光为线偏振光。采用上述技术方案，本技术具有下列优点本技术所述可以消除(X)2激光器在激光加工过程中由于工件表面反射光回射到(X)2激光器而对其造成的损伤，因此适合于制作系统稳定性较高的工业加工用高功率偏振CO2激光器。附图说明图1是本技术所述用于(X)2激光器的防反射装置结构示意图1 ；图2是本技术所述用于(X)2激光器的防反射装置结构示意图2 ；图中1、CO2激光器 2、偏振分光器件 3、镀λ /4延迟膜的铜镜 4、反射铜镜 5、聚焦镜6、光吸收体7、工件具体实施方式为进一步阐述本技术为达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例，对本技术提出的，进行详细说明如下。本技术用于(X)2激光器的防反射装置结构如图1-2所示，包括ω2激光器1、 偏振分光器件2、镀λ /4延迟膜的铜镜3、反射铜镜4、聚焦镜5、光吸收体6，其特征在于 CO2激光器1输出的线偏阵激光L进入偏振分光器件2后入射到镀λ /4延迟膜的铜镜3上得到圆偏振光L1,再经过反射铜镜4及聚焦镜5后光束L1照射到工件上后，工件反射的部分光束L2沿原出射光路返回，再次经过镀λ /4延迟膜的铜镜3后变为与出射光束L偏振方向垂直的线偏振光束L3，光束L3经过偏振分光器件后，会偏离出射光束L的方向，照射到吸收体上。导致反射光束L3无法沿出射光束L的方向反射到(X)2激光器内部，实现了(X)2激光器在激光材料加工过程中防止反射光损伤的目的。当偏振分光器件2为线偏阵激光出射光束L透射式时，用于0)2激光器的防反射装置结构如图1所示。当偏振分光器件2为线偏阵激光出射光束L反射式时，用于(X)2激光器的防反射装置结构如图2所示。根据以上描述和附图，可以更充分的理解本技术，给出这些附图仅仅是为了说明的目的，而不是对本技术的限制。根据以上描述可以进一步清楚本技术的应用范围。然而应当明白，虽然给出了本技术的优选实施例，但仅仅为了说明的目的。偏振分光器件2及镀λ/4延迟膜的铜镜3可有不同形式及规格参数，根据这些详细的描述，本领域专业人员显然知道，在本技术的精神和范围内可以将偏振分光器件、延迟器件参数作各种变化和改动。权利要求1.用于CO2激光器的防反射装置，包括偏振分光器件O)、镀λ/4延迟膜的铜镜(3)、 反射铜镜G)、聚焦镜(5)、光吸收体(6)，其特征在于CO2激光器(1)输出的出射线偏阵光束L通过偏振分光器件( 后再入射到镀λ/4延迟膜的铜镜C3)上得到圆偏振光L1，再经过反射铜镜(4)反射到聚焦镜(5)后的圆偏振光L1聚焦后照射到工件上，工件反射光束L2 沿原出射光路返回，再次经过镀λ/4延迟膜的铜镜C3)后变为与出射线偏振光束L偏振方向垂直的返回线偏振光束L3，返回线偏振光束L3经过偏振分光器件(2)后，偏离出射线偏阵光束L的方向，照射到吸收体上。2.根据权利要求1所述的用于CO2激光器的防反射装置，其特征在于所述的偏振分光器件(2)为P线偏振光透射S线偏振光反射式偏振分光器件或S线偏振光透射P线偏振光反射式偏振分光器件。3.根据权利要求1或权利要求2所述的用于CO2激光器的防反射装置，其特征在于所述的偏振分光器件( 为在透射(X)2激光材料所制作的平面镜上，如镜或GaAs镜上， 镀偏振分光膜。4.根据权利要求1所述的用于CO2激光器的防反射装置，其特征在于所述的镀λ/4 延迟膜的铜镜( 及反射铜镜(4)带有水冷管道可进行水冷冷却。5.根据权利要求1或权利要求2所述的用于CO2激光器的防反射装置，其特征在于所述(X)2激光器输出激光为线偏振光。专利摘要本技术涉及CO2激光器防反射装置，该装置由偏振分光器件(2)、镀λ/4延迟膜的铜镜(3)、反射铜镜(4)、聚焦镜(5)、光吸收体(6)等器件组成，CO2激光器输出的线偏振激光经过准直系统后再经过偏振分光镜(2)、镀λ/4延迟膜的铜镜(3)及光吸收体(6)组成的防反射装置，对材料进行加工。利用激光束是线偏振光的特性，通过镀λ/4延迟膜的铜镜(3)改变工件反射光束的偏振特性，再采用偏振分光镜将反射光从CO2激光器的出射光束中分离出去，反射光无法照射到CO2激光器内部。本技术可获得高功率线偏振激光输出，还可以有效防止反射光对激光器的损伤，保证CO2激光器在激光加工过程中具有较高的系统稳定性。文档编号H01S3/00GK202068081SQ20102064669公开日2011年12月7日 申请日期2010年12月8日 优先权日2010年12月8日专利技术者代京京, 曹银花, 王智勇, 秦文斌 申请人:山西飞虹激光科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．用于ＣＯ２激光器的防反射装置，包括：偏振分光器件（２）、镀λ／４延迟膜的铜镜（３）、反射铜镜（４）、聚焦镜（５）、光吸收体（６），其特征在于ＣＯ２激光器（１）输出的出射线偏阵光束Ｌ通过偏振分光器件（２）后再入射到镀λ／４延迟膜的铜镜（３）上得到圆偏振光Ｌ１，再经过反射铜镜（４）反射到聚焦镜（５）后的圆偏振光Ｌ１聚焦后照射到工件上，工件反射光束Ｌ２沿原出射光路返回，再次经过镀λ／４延迟膜的铜镜（３）后变为与出射线偏振光束Ｌ偏振方向垂直的返回线偏振光束Ｌ３，返回线偏振光束Ｌ３经过偏振分光器件（２）后，偏离出射线偏阵光束Ｌ的方向，照射到吸收体上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王智勇，代京京，秦文斌，曹银花，
申请(专利权)人：山西飞虹激光科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：14
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