超纯水处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开的超纯水处理系统，主要包括一连接自来水箱的过滤缸，该过滤缸依序连接有一阻垢剂投加设备、一精密过滤器、一反渗透水生成设备、一混床及一最后连接超纯水箱的精密过滤器；所述的混床是一混合有阳树脂和阴树脂，并可树脂离子交换的容器。本实用新型专利技术摒弃现有技术中无法生产电阻值达到15.8MΩ以上的超纯水的装置。其于渗透水生成设备后增设了混床，经该混床阴阳树脂离子交换产出的(电阻值达到15.8MΩ以上)的超纯水，通过混床产水口电阻值仪表监测到电阻值，混床内树脂使用周期约为300H，当电阻值下降时需暂停生产立即对混床进行再生工作，阳树脂从“液酸入口”吸取5.5-6％的酸液，阴树脂从“液碱入口”吸取3.5-4％的碱液混合饱合树脂，从而完成树脂离子交换工作。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种纯水处理装置。
技术介绍
随着半导体科学的迅速发展，晶片产品在大量的电子器件中应用，而由于大量的 晶片研发及设计上存在晶片表面静电的产生，因此在实际的晶片切割清洗过程中存在潜在 的静电破坏晶片的功能，为了降低晶片表面的静电保证功能，采用了阴阳树脂离子交换产 出电阻值达到15.8ΜΩ以上的超纯水投入使用，可有效的消除晶片表面的静电。目前，纯水处理主要工作自来水经砂缸第一阶段过滤，将源水中的铁等污垢去除， 再经碳缸第二阶段过滤，将清水中的锰等微粒杂质去除生成清水，再经渗透是水从稀溶液 一侧通过半透膜向浓溶液一侧自发流动的过程。半透膜只允许水通过，而阻止溶解固形物 (盐)的通过，浓溶液随着水的流人而不断被稀释。当水向浓溶液流动而产生的压力"足够 用于阻止水继续净流入时，渗透处于平衡状态，平衡时，水从任一边通过半透膜向另一边流 入的数量相等，即处于动态平衡状态，而此时压力P称为溶液的渗透压(注意半透膜一边 是纯水，另一边是盐溶液)。此纯水的电阻值1. 5ΜΩ以下，则无法满足目前高科技晶片产品 的要求。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术提供一种超纯水处理系统。其可生 产电阻值达到15.8ΜΩ以上的超纯水，该超纯水可有效的消除晶片表面的静电，解决了晶 片切割清洗过程中存在潜在的静电破坏晶片的功能，提高了生产效率和晶片产品的功能质 量保证。为实现上述目的，本技术技术方案为超纯水处理系统，特征在于其主要包括一连接自来水箱的过滤缸，该过滤缸依序 连接有一阻垢剂投加设备、一精密过滤器、一反渗透水生成设备、一混床及一最后连接超纯 水箱的精密过滤器；所述的混床是一混合有阳树脂和阴树脂的容器。上述技术方案的有益之处在于本技术摒弃现有技术中无法生产电阻值达到15. 8ΜΩ以上的超纯水的装 置。其于渗透水生成设备后增设了混床，经该混床阴阳树脂离子交换产出的(电阻值达到 15.8ΜΩ以上)的超纯水，通过混床产水口电阻值仪表监测到电阻值，混床内树脂使用周期 约为300H，当电阻值下降时需暂停生产立即对混床进行再生工作，阳树脂从“液酸入口”吸 取5. 5-6%的酸液，阴树脂从“液碱入口”吸取3. 5-4%的碱液混合饱合树脂，从而完成树脂 离子交换工作。附图说明图1是本技术工作流程示意图。具体实施方式现结合附图和实施例说明本技术。如图1所示的超纯水处理系统，特征在于其主要包括一连接自来水箱的过滤缸， 该过滤缸由一石英砂过滤器连接一活性炭过滤器组成。该过滤缸依序连接有一阻垢剂投加 设备、一精密过滤器、一反渗透水生成设备、一中间水箱、一混床及一最后连接超纯水箱的 精密过滤器。所述的混床是一混合有阳树脂和阴树脂的容器。首先自来水经石英砂过滤器第一阶段过滤，将原水中的铁等污垢去除，再经活性 炭过滤器第二阶段过滤，将清水中的锰等微粒杂质去除后生成的清水经过精密过滤器，再 经反渗透水生成设备将水从稀溶液一侧通过半透膜向浓溶液一侧自发流动。反渗透水生成 设备的半透膜只允许水通过，而阻止溶解固形物(盐)(包含金属物、悬浮固体、病毒体、细 菌体、有机化合物)的通过，产出的纯水存至中间水箱，使用中间水泵将纯水抽进阴、阳树 脂混床进行离子交换。从混床出水端产出超纯水经精密过滤器供应生产使用。权利要求超纯水处理系统，特征在于其主要包括一连接自来水箱的过滤缸，该过滤缸依序连接有一阻垢剂投加设备、一精密过滤器、一反渗透水生成设备、一混床及一最后连接超纯水箱的精密过滤器；所述的混床是一混合有阳树脂和阴树脂，并可树脂离子交换的容器。2.如权利要求1所述的超纯水处理系统，其特征在于所述的自来水箱的过滤缸由一 石英砂过滤器连接一活性炭过滤器组成。3.如权利要求1或2所述的超纯水处理系统，其特征在于所述的反渗透水生成设备 与混床之间还设置有一中间水箱。专利摘要本技术公开的超纯水处理系统，主要包括一连接自来水箱的过滤缸，该过滤缸依序连接有一阻垢剂投加设备、一精密过滤器、一反渗透水生成设备、一混床及一最后连接超纯水箱的精密过滤器；所述的混床是一混合有阳树脂和阴树脂，并可树脂离子交换的容器。本技术摒弃现有技术中无法生产电阻值达到15.8MΩ以上的超纯水的装置。其于渗透水生成设备后增设了混床，经该混床阴阳树脂离子交换产出的(电阻值达到15.8MΩ以上)的超纯水，通过混床产水口电阻值仪表监测到电阻值，混床内树脂使用周期约为300H，当电阻值下降时需暂停生产立即对混床进行再生工作，阳树脂从“液酸入口”吸取5.5-6％的酸液，阴树脂从“液碱入口”吸取3.5-4％的碱液混合饱合树脂，从而完成树脂离子交换工作。文档编号C02F103/04GK201722238SQ20102005925公开日2011年1月26日 申请日期2009年12月31日 优先权日2009年12月31日专利技术者郑彬棋 申请人:厦门又升电子科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
超纯水处理系统，特征在于：其主要包括一连接自来水箱的过滤缸，该过滤缸依序连接有一阻垢剂投加设备、一精密过滤器、一反渗透水生成设备、一混床及一最后连接超纯水箱的精密过滤器；所述的混床是一混合有阳树脂和阴树脂，并可树脂离子交换的容器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑彬棋，
申请(专利权)人：厦门又升电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：92