喷墨涂敷装置以及方法制造方法及图纸

提供一种做到了能够以高精度向宽度、高度方向进行均匀的涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。各涂敷头(15)排列在X轴方向，每4个构成1个组。在相同的组中，使涂敷头(15)在Y轴方向的位置不同，在组之间，在Y轴方向各有1个相同位置的涂敷头。不同的组的Y轴方向位置相同的各一个涂敷头(15)搭载在相同的Z轴保持片(20bc)上。各涂敷头(15)具备微动Z轴驱动单元(20a)，能够独立地向Z轴方向移动。另外，针对每个Z轴保持片(20bc)设有独立Z轴驱动单元(20b1)，由此Z轴保持片(20bc)能够独立地向Z轴方向移动。另外，设有共用Z轴驱动单元(30)，由此全部的Z轴保持片(20bc)、从而全部的涂敷头(15)能够同时向Z轴方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对平滑部件的以喷墨方式进行的涂敷材料的涂敷，特别涉及一种能够稳定地进行均勻的涂敷的。
技术介绍
喷墨方式是指如下方式从作为涂敷头的、利用了气泡或者压电元件的喷墨涂敷头，每次少量地高精度地吐出作为涂敷材料的油墨液滴。喷墨涂敷装置对如下处理实现装置化通过该油墨液滴的高精度的吐出，对作为涂敷对象的部件涂敷油墨液滴。近年来，作为能够实现油墨的高精细涂敷的装置，喷墨涂敷装置为人所关注，不限于对纸的印刷，正在所有的工业领域中探索其应用可能性，也有已经实用化的装置。在涂敷头的下表面前端，以规定的间距设有多个喷嘴，通过该喷嘴的间距来决定作为涂敷材料的滴液的吐出间隔。所幸，在希望的滴液的涂敷间隔大于喷嘴间距的情况下， 能够通过选择进行吐出的喷嘴来达成目的。然而，相反地在希望的滴液的涂敷间隔小于喷嘴间距的情况下，为了减小时间的花费需要对涂敷头的动作进行一番研究，作为该研究，以往提出有几个方案。作为该方案的一个例子，例如提出了如下技术(例如，参照专利文献1)使用平行地配置各自等间隔地设有相同的多个喷嘴孔的多个喷嘴模块的涂敷头，使该多个喷嘴模块相对涂敷基板的移动方向(y方向)倾斜、并且使这些喷嘴模块向其喷嘴孔的排列方向偏移，从而能够变更这些喷嘴模块的全部喷嘴孔在垂直于涂敷基板的移动方向的方向(y)方向上的间隔，并且，设为使基板能够旋转，即使对基板的涂敷图像由多个不同方向的图像构成，也能都在相同的y方向上进行涂敷。在该专利文献1所述的技术中，将涂敷图像划分为表现其边缘的边缘图像和表现其内部的内部图像，首先进行边缘图像的涂敷(边缘涂敷)，在使涂敷后的边缘图像干燥之后，进行内部图像的涂敷(内部涂敷)，但是对于边缘图像来说，使用全部的喷嘴模块的喷嘴孔中的在Y轴方向相邻的两个喷嘴孔沿着邻接的扫描线进行边缘涂敷，内部涂敷使用所需的全部喷嘴孔来进行。这样，在边缘涂敷中，使用在Y方向上相邻的两个喷嘴孔，所以与使用一个喷嘴孔进行边缘涂敷相比，能够减少来自一个喷嘴孔的滴液的吐出量，能够使涂敷线宽变窄，能够加快所涂敷的边缘图像的干燥以抑制湿润扩散，内部涂敷的滴液被干燥而与边缘图像连结，不会向该边缘图像的外侧扩散。另外，介绍了如下技术(例如，参照专利文献2)为了保持液晶显示面板的滤色基板和TFT基板之间的间隔，在滤色基板上设有间隔物，但其是将在溶液中溶解了该间隔物的油墨从喷墨头涂敷到滤色基板上。根据该专利文献2所述的技术，在喷墨头中以规定的间距设有多个喷嘴，另外在滤色基板上的黑色矩阵上设定滤色基板上的上述油墨的涂敷位置，喷嘴的间距比油墨的涂敷位置的间距小，为了能够使喷嘴的间距与油墨的涂敷位置的间距吻合，能够使喷墨头旋转而改变喷嘴的排列方向、且使滤色基板向与喷墨头的旋转方向相反的方向旋转。并且，为了在液晶单元的滤色基板上的规定位置形成用于在与阵列基板之间设置规定的空间的间隔物粒子，提出有使用喷墨方式的技术(例如，参照专利文献3)。根据该专利文献3所述的技术，通过喷墨方式将把间隔物粒子分散到分散剂中的间隔物粒子分散液吐出到滤色基板上的规定位置(黑色矩阵的位置)，但是作为间隔物粒子分散液，使用水以及低沸点酒精系溶液，在吐出后以常温进行减压干燥，进而，对滤色基板进行加热使溶液挥发，将间隔物粒子固定到规定位置(滤色基板的黑色矩阵上的位置)。 这是在进行涂敷之后暂时减压，进而作为后续工序进行加热干燥的涂敷方法。专利文献1 日本特开2005-246248号公报专利文献2 日本特开2010-20144号公报专利文献3 日本特开2007-475 号公报
技术实现思路
如上述专利文献1 3所述的技术，目前为止，为了实现喷墨涂敷中的高的涂敷位置精度、膜厚的均勻性，特别关注着作为目标的涂敷间隔与涂敷头的喷嘴间距之间的相对的位置关系。这是在XY平面内的位置关系，是2维的。然而，为了在各种领域中活用喷墨方式的涂敷，已知由于涂敷材料的粘度、表面张力等涂敷材料的性质、进行涂敷的对象物的表面状态的影响、还有基板、薄膜等涂敷对象物的大型化等，涂敷对象物和涂敷头的喷嘴之间的间隔的管理也是重要的。如果仅仅只进行 XY平面内的涂敷位置管理的话，高精度地进行均勻的涂敷变得越来越困难。S卩，当涂敷对象物和涂敷头的喷嘴之间的间隔过大时，来自喷嘴的涂敷材料的液滴的吐出方向性的精度产生误差，由此产生喷涂位置偏移。相反地，当涂敷对象物和涂敷头的喷嘴之间的间隔过小时，在大型化的涂敷对象物中产生由波纹导致的起伏，因此在面积大的涂敷对象物的一部分中产生突出的部位，有可能在该部位上涂敷头与涂敷对象物发生冲突。另外，在喷墨涂敷中，具有能够不浪费地高效利用涂敷材料的优点，但另一方面因为每1次的吐出量是微量的，或者为了进一步缩小涂敷位置的间隔实现更精细的涂敷，所以需要进行多次的涂敷动作。此时，在多次的涂敷中如何抑制先附着的涂敷材料在涂敷对象物上的蔓延成为问题。如果例举具体的数值例，则在液晶面板的玻璃基板的多倒角中，从对显示性能的担忧考虑，不能与其它面的涂敷干涉，要求外周图案的直线性大约为士0. Imm以下 士0.5mm以下的蔓延。另外，在高度方向上，如果涂敷后凹凸不是大约士0. Imm以下 士0. 3mm以下，则液晶面板的显示性能成为问题。这样，抑制涂敷后的涂敷材料的宽度方向、高度方向的蔓延偏差是极为重要的。本专利技术的目的在于解决有关问题，提供一种做到能够在宽度、高度方向上高精度地进行均勻涂敷的。为了达成上述目的，本专利技术具备通过设置能够独立地旋转多个涂敷头的单元，而能够相对搬运方向进行旋转以使得基板、薄膜等涂敷对象物相对于搬运方向倾斜的单元。 并且，设有能够调整多个涂敷头的高度方向位置的Z轴移动单元。并且，还设有与涂敷动作同步地对涂敷对象物进行加热的单元。 根据本专利技术，不仅在XY平面内还设置成为高度方向的Z轴移动单元，从而能够进行3维的位置管理，另外，通过一边加热涂敷对象物一边涂敷，能够高精度地进行均勻的涂附图说明图1是表示本专利技术的的一个实施方式中的概要结构的立体图。图2是表示图1中的涂敷头及其设置状态的一个具体例的立体图。图3是表示设在图2中的涂敷头上的多个喷嘴的排列的一个具体例的图。图4是从上方看图1所示的实施方式的整体结构的俯视图。图5是表示图2中的涂敷头的Z轴方向驱动的具体例的图。图6是表示当以图4所示的涂敷头的排列状态来旋转涂敷头时的状态的一个具体例的俯视图。图7是表示在使薄膜的涂敷区域中的涂敷轨迹比涂敷头中的吐出喷嘴的排列方向的间隔P窄时的涂敷头的状态的图。图8是表示图1所示的实施方式中的喷墨涂敷的控制部的一个具体例的框图。图9是表示在使图1所示的实施方式中的涂敷头的吐出喷嘴的X轴方向的间隔与涂敷轨迹的间隔Q相等而涂敷到薄膜上时的动作的流程的一个具体例的流程图。附图标记说明1 太阳电池用层叠薄膜；2 卷出侧薄膜辊；3 卷绕侧薄膜辊；4,5 导辊；6、7 升降导辊；8、9 :吸附棒；10 吸附平台；11 卷出侧轴电机；12 卷绕侧轴电机；13、14 薄膜按压棒；15 涂敷头；1 涂敷头的下端面；1 吐出喷嘴；16 卷出部；17 涂敷部；18 卷绕部；19 摄像照相机；20a 微动Z轴驱动单元；20 微动Z轴驱动部；20 =Z轴保持板；20b 独立Z轴驱动单元JOb1 本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种喷墨涂敷装置，具备：吸附平台，吸附保持涂敷对象物；多个涂敷头，从喷墨式喷嘴向吸附保持在该吸附平台上的该涂敷对象物的表面边吐出涂敷材料边进行涂敷；台架构造体，使该涂敷头在该涂敷对象物的上方位置在与作为该涂敷对象物的搬运方向的Ｘ轴方向在水平面内正交的Ｙ轴方向移动；Ｘ轴驱动单元，在该Ｘ轴方向独立地移动该涂敷头；第一Ｚ轴驱动单元，独立地在垂直于该水平面的Ｚ轴方向移动该涂敷头；以及θ轴驱动单元，平行于该水平面地在θ轴方向独立地移动该涂敷头，其中，该涂敷头在空间内能够在ＸＹＺθ轴方向移动，所述喷墨涂敷装置的特征在于，基于该Ｘ轴驱动单元，针对该多个涂敷头的每一个独立地使该涂敷头和该第一Ｚ轴驱动单元都在Ｘ轴方向移动，并且，基于θ轴驱动单元，该Ｘ轴驱动单元与该涂敷头和该第一Ｚ轴驱动单元成为一体而旋转。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：徳安良纪，山本英明，渡濑直树，松井淳一，中村秀男，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：JP