柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法技术

本发明专利技术提供一种柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法，涉及到太阳电池集成内联技术，属于新型能源中薄膜太阳电池的领域。本发明专利技术在于根据衬底透光性差及电池为NIP结构，设计电池的内联方式，将激光刻蚀工艺贯穿于硅基薄膜太阳电池制备的流程中，并将丝网印刷技术结合进来，最终获得硅基薄膜电池集成内联组件。有利于使生产提高并降低成本，加快该类型电池的产业化进程；提高大面积电池的开路电压，有利于降低组件拼接的复杂性，提高组件的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及新能源中薄膜太阳能电池的领域，具体涉及一种柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件及其制备方法。
技术介绍
太阳能潜力巨大，采用光能发电是缓解能源危机和改善生态环境的一条重要途径。太阳电池作为一种直接将光能转化成电能的器件，在工业化生产中，由于单个电池的电能输出很小，不能满足使用的需求，必须在电池结构上进行有效的串并联，以达到所要的电压、电流及功率。集成内联是玻璃衬底薄膜太阳电池上普遍采用的一种方式，集成内联在太阳电池沉积的过程中实现，不需要后续的处理工作，这一简化将使生产提高并降低成本，也是减少组件拼接复杂性，提高组件可靠性的有效途径。太阳能电池的种类繁多，在多个种类中，应用较多的是硅基太阳电池。而薄膜太阳电池是当今发展最为迅速的太阳电池，硅基薄膜柔性电池具有实现大面积组件生产的可行性，并且硅基薄膜太阳电池的成本低，便于大规模生产，受到人们的普遍重视并得到迅速的发展。相比与其它太阳电池，柔性聚酰亚胺衬底硅基薄膜太阳电池，具有重量轻、高重量比功率、可弯曲、不怕碰撞等优点，无论在在卫星、航天器、空间站等各种特殊场合，还是民用上都有很广阔的应用前景。目前，玻璃衬底硅基薄膜太本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种柔性衬底硅基薄膜太阳能电池集成内联组件的制备方法，其特征在于，包括：步骤１：将聚酰亚胺衬底放入乙醇溶液中，经多次超声振荡，清洗干净，并吹干待用；步骤２：采用磁控溅射设备，在清洗后的聚酰亚胺衬底上，制备银和氧化锌导电膜层作为背电极；步骤３：在溅射了背电极的样品上，Ｎｄ：ＹＶＯ４激光刻蚀背电极膜层，将背电极分割成多个小面积区域；步骤４：在激光刻蚀了背电极的样品上，制备ＮＩＰ型硅基薄膜吸收层；步骤５：采用磁控溅射的方法，在生长了硅基吸收层的样品上，制备氧化铟锡前电极；步骤６：在生长了前电极的样品上，倍频Ｎｄ：ＹＶＯ４激光刻蚀前电极和吸收层；步骤７：在上述激光刻蚀了前电极和吸收层的样品上，通过...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马宁华，陈亮，陈鸣波，
申请(专利权)人：上海空间电源研究所，
类型：发明
国别省市：31