【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于氧化物透明导电膜玻璃生产
，确切地说是在移动的热玻璃表面采用常压化学气相沉积法生产高可见光透过率、低电阻的氟掺杂氧化锌透明导电薄玻璃的方法，特别适用于太阳能电池电极用透明导电膜技术。
技术介绍
透明导电膜要求具有低电阻和高可见光透过率。满足条件的材料有宽禁带半导体材料诸如掺杂的氧化铟、氧化锡、氧化镉以及氧化锌基薄膜等。但是氧化铟和氧化锡原料价格较氧化锌高，氧化镉有毒且具有致癌性，氧化锡的前驱物也具有较强的毒性。因此氧化锌因为其低电阻，高可见光透过率，无毒性，储量丰富，低成本，易制造，在H+等离子体氛围中的高稳定性诸多优点成为透明导电膜研究的重点。目前制备氧化锌及掺杂氧化锌透明导电膜的方法主要有热分解法、等离子增强化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、化学喷涂法、磁控溅射法以及化学气相沉积法。文献中关于采用化学喷涂法的报道及研究比较多，且该方法技术比较成熟，但是不易于工业化大面积生产。化学气相沉积法因为薄膜生长速率快，膜均勻性好，适合于大面积的产业化应用。目前国内外关于采用常压化学气相沉积法制备掺杂氧化锌薄膜特别是氟掺杂氧化锌薄膜的研究和报道比较少。国...
【技术保护点】
１．氟掺杂氧化锌透明导电膜玻璃的生产方法，其特征在于，ａ）将玻璃基板加热到设定温度，ｂ）锌源、氟源以及氧源气化后由热载气携带到化学气相沉积镀膜反应器进行气体的混合和分配，ｃ）加热后的玻璃基板随传送辊道移动，化学气相沉积镀膜反应器向移动中的玻璃基板表面沉积氟掺杂氧化锌透明导电膜，随后进行退火冷却，保证膜层晶核充分生长。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：石丽芬，彭寿，金良茂，王友乐，甘治平，王东，陈凯，张家林，单传丽，邹上荣，陈琼，
申请(专利权)人：蚌埠玻璃工业设计研究院，中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：34
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