液体滴下装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够以准确的微少量向对象物滴下液化软钎料等的液体的液体滴下装置。通过向贮留滴下用液体并且与喷嘴孔连通的液体蓄积部浸渍能够沿该喷嘴孔的开口方向直线性地驱动的杆的前端，并对该杆进行微小量的直线驱动，从而使贮留液体中产生压缩波，利用该压缩波具有的波动能使规定量的液体从喷嘴孔滴下。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及向对象物滴下微少量的液体的液体滴下(滴液)装置。更详细地讲， 涉及对于软钎料(焊料)所例示的熔融金属等的在特定的条件下维持液体状态的物质，能够将其以微少量的液体的形式操作处理并对滴下对象物适合地滴下的液体滴下装置。
技术介绍
例如在磁头的制造工序中，通过在多个电极间配置由软钎料形成的导电性的微小球，将其熔融并进一步地使其对于各个电极进行固着，来进行该电极间的电接合(参照专利文献1)。在此，现在磁头的微小化、高功能化在推进，在电极数增加的同时电极自身也变小，作为结果，导电性的球也不得不微小化。如果导电性球变为例如ΙΟΟμπι以下的直径，则会产生个别的操作处理变得困难，并且操作处理中所谓污染物附着、或者该球体的价格自身变高昂这样的课题。基于这样的背景，如专利文献2至5所公开的那样，曾提出了直接对被接合物吐出熔融软钎料，并使其附着的技术。根据该技术，伴随着上述的导电性球的使用而产生的课题得到解决。在这些技术中，使蓄积了熔融金属的液体蓄积部发生体积变化，利用该体积变化从该液体蓄积部吐出规定量的熔融金属。现有技术文献专利文献1 日本特开2009-(^8781号公报专利文献2 日本特开2000-294591号公报专利文献3 日本特开平10-137930号公报专利文献4 日本特开2003-3；34654号公报专利文献5 日本特开2006-075781号公报专利文献6 日本特开平02-175254号公报专利文献7 日本特开2001-232245号公报专利文献8 日本特开2009-000719号公报
技术实现思路
在此，作为使液体微少量地滴下或者吐出的方法，还已知专利文献6或7所公开的技术。在这些方法中，就基本上利用液体的体积变化来滴下规定量的液体的情形而言，与上述的现有技术同样。然而，在利用体积变化的情况下，如果气体混入到液体中，则体积变化与为了体积变化而施加的压力的变化的关系不成为一次曲线。因此，随着液体的滴下量变为微小，向液体中混入气体对滴下精度的影响变大。由以上的情况来看，在专利文献2至7 所公开的技术中，通过在不存在气体的被密闭的空间内形成液体蓄积部，并进行在该空间内的体积变化，能够进行规定量的液体的滴下。例如，在专利文献8所示的构成中，通过考虑与蓄积的液体的所谓润湿性而构成该空间的内壁，来防止气体向喷嘴内部的侵入。该文献可以说是通过反向说明而示出了在微少量的液体滴下时气体向喷嘴内的混入会成为大的问题。另外，在为这样的结构的喷嘴的情况下，在液体由树脂构成时，也可通过分解喷嘴、进行各部件的洗涤来进行维护。但是， 在液体为熔融金属的情况下，必须除去已固化的金属。本专利技术是鉴于以上的状况而完成的，其目的在于提供一种液体滴下装置，其可以通过采用上述的体积变化以外的方法来消除对于喷嘴的气体侵入等的影响，并且可以利用维护性优异的简单的结构实现微小量的液体滴下。为了解决上述课题，本专利技术涉及的液体滴下装置是滴下规定量的液体的液体滴下装置，其特征在于，具有液体接受部，该液体接受部蓄积液体而形成液体蓄积部；喷嘴，该喷嘴具有与在液体接受部中蓄积液体的区域连通并且液体能够通过的喷嘴孔；致动器(促动器；actuator)；和杆，该杆的一个端部被浸渍于液体蓄积部中，另一端部被致动器支持，能够沿喷嘴孔的形成轴方向移动，所述杆通过致动器能够在形成轴方向上直线运动，通过杆的直线运动而使液体蓄积部的一部分产生波动能，液体因波动能而从喷嘴孔滴下。另外，上述的液体滴下装置，优选还具有加热存在于液体蓄积部的液体的加热单元。另外，液体蓄积部，优选在存在于液体蓄积部的液体的液面上具有空间。另外，在该情况下，更优选还具有能够对该空间进行惰性气体的供给和排出，能够将液体保持在惰性气体气氛中的惰性气体供给排出路径。另外，更优选还具有能够对于液体接受部供给液体的液体供给路，液体接受部、液体供给路和空间的内侧壁以及在喷嘴中的可能与液体接触的区域由疏液性的面形成。另外，优选还具有形成于喷嘴凸缘和喷嘴压紧件之间的滴下侧气氛空间，所述喷嘴凸缘配置在喷嘴孔的开口部的液体的滴下侧，覆盖喷嘴孔的开口部周围， 可使开口部周围成为惰性气体气氛，所述喷嘴压紧件使喷嘴抵接固定于液体接受部。另外， 更优选致动器使用压电元件。另外，更优选喷嘴孔中的液体的滴下侧的空间中的气氛能够维持在液体的熔点以上的温度。进一步地，更优选喷嘴由刚玉形成。另外，更优选在上述的液体滴下装置中，具有与喷嘴孔的上述形成轴同轴、且与喷嘴孔连通，并具有规定的长度的导孔；和能够从与喷嘴孔连通的一侧向导孔供给惰性气体的惰性气体供给系统，液体在导孔内通过惰性气体的流动而沿滴下方向被引导。进一步地，优选惰性气体供给系统能够相应于由致动器引起的杆的直线运动暂时地增加惰性气体的供给量。进一步地，优选惰性气体供给系统还具有惰性气体加热单元，惰性气体加热单元能够将惰性气体的温度加热到超过液体的熔点的温度。进一步地，更优选导孔在具有在液体的滴下方向设置的开口部的同时，还具有放泄开口，所述放泄开口使构成导孔的保护喷嘴的外部空间和导孔连通。根据本专利技术，液体从喷嘴的排出，利用了由杆施加的波动能。因此，不需要从液体蓄积部之中完全地排除气体，通过除去用于气体排除的构成，能够简化喷嘴构成。另外，由于不同于产生体积变化的构成，能够毫无问题地进行气体向喷嘴中的导入，所以成为在维护性上也优异的构成。进一步地，能够将熔融金属保持在惰性气体中，也能够防止熔融金属的氧化。 附图说明图1是模式地表示本专利技术的第一实施方式涉及的液体滴下装置的概略构成的图。图2A是表示在图1所示的液体滴下装置中，液体的滴下工序中的初期阶段的图。图2B是表示在图1所示的液体滴下装置中，使杆直线性地移动的状态的图。图2C是表示在图1所示的液体滴下装置中，对于杆前端部周边的液体产生压缩波的状态的图。图2D是表示在图1所示的液体滴下装置中，液体的滴下阶段的图。图3A是在图1所示的实施方式中，进一步以熔融金属为对象的情况下，关于优选的构成，放大地表示喷嘴附近的图。图;3B是表示在图3A所示的构成中，液体金属被滴下的状态的图。图4是本专利技术的又一方式，是模式地表示滴下方向与图1所示的方式不同的情况的图。图5是模式地表示利用使用了本专利技术涉及的液体滴下装置的电子部件的制造装置制造的电子部件的形状的图。图6是模式地表示使用了本专利技术涉及的液体滴下装置的电子部件的制造装置的构成的图。图7A是利用现有技术进行电极接合的情况，是模式地表示对于产生了桥接 (bridge)的情况的电子部件，从电极正面对其进行了观察的情况的图。图7B是表示从电极侧面观察了图7A所示的构成的情况的图。图8A是关于图7A和7B所示的电子部件，表示从电极正面观察了使用了本专利技术涉及的液体滴下装置的情况的电极接合工序中的初期阶段的状态的图。图8B是表示从电极侧面观察了图8A所示的构成的情况的图。图9A是图8A所示的工序的下一阶段，是表示使金属粒滴下到了电极上的状态的图。图9B是表示从电极侧面观察了图9A所示的构成的情况的图。图IOA是图9A所示的工序的下一阶段，是表示将金属粒再熔融并使其固化的状态的图。图IOB是表示从电极侧面观察了图IOA所示的构成的情况的图。图11是采用与图1同样的样式模式地表示本专利技术的第二实施方式涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种液体滴下装置，是滴下规定量的液体的液体滴下装置，其特征在于，具有：液体接受部，该液体接受部蓄积所述液体而形成液体蓄积部；喷嘴，该喷嘴具有与在所述液体接受部中蓄积所述液体的区域连通并且所述液体能够通过的喷嘴孔；致动器；和杆，该杆的一个端部被浸渍于所述液体蓄积部中，另一端部被所述致动器支持，能够沿所述喷嘴孔的形成轴方向移动，所述杆通过所述致动器能够在所述形成轴方向上直线运动，通过所述杆的所述直线运动而使所述液体蓄积部的一部分产生波动能，所述液体因所述波动能而从所述喷嘴孔滴下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川岛崇，进藤修，水野亨，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP