【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种用于在衬底上电镀的设备，其包括：（ａ）经分离阳极腔室，其用于容纳电解液和阳极；（ｂ）阴极腔室，其用于接纳衬底且使所述衬底与阴极液接触；（ｃ）分离结构，其定位于所述经分离阳极腔室与所述阴极腔室之间，所述分离结构包括输送障壁，所述输送障壁使得离子物质能够通过所述输送障壁，同时维持所述阳极腔室和所述阴极腔室中的不同电解液组成；以及（ｄ）开环再循环系统，其用于在电镀期间将电解液提供到所述经分离阳极腔室和从所述经分离阳极腔室移除电解液，其中所述开环再循环系统经配置以将所述电解液暴露于大气压，且包括经布置以将所述阳极腔室中的所述电解液维持在大体上恒定压力的压力调节装置。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特·拉什，理查德·亚伯拉罕，戴维·W·波特，史蒂文·T·迈尔，
申请(专利权)人：诺发系统有限公司，
类型：发明
国别省市：US
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