用于全光时钟恢复的REC双波长激光器制造技术

本发明专利技术涉及一种用于全光时钟恢复的基于重构等效啁啾(reconstruction?equivalent?chirp，REC)技术的双波长激光器，属于光通信领域的光电子器件技术领域。该光电子器件将两个采用REC技术的分布反馈(DFB)半导体激光器集成在同一个衬底上，在衬底上依次外延下波导层、多量子阱有源层、光栅层、上波导层、上包层、欧姆接触层。两个分布反馈半导体激光器具有相同周期的光栅结构，其光栅抽样周期不同，从而造成两个分布反馈激光器的激射光波长存在一定差异，进而可用于全光时钟恢复。本发明专利技术结构新颖，制作工艺简单，将在未来的高速光纤通讯领域具有良好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光通信领域的光电子器件制备
，特别涉及一种用于全光时钟恢复的集成光电子器件。
技术介绍
目前光通信网络中比较成熟的光时钟恢复技术是基于光-电-光的过程来实现的。也就是说，先将光信号转换成电信号，然后利用锁相环、压控振荡器等电子学常规方法从电信号中进行时钟信号的提取，然后再将电时钟信号调制到光波上，最终得到光时钟。然而随着光通信技术的发展，光通信网络的数据量越来越大，单信道的传输速率正在由10( / s向40(ib/S发展。如此高的比特率已经接近了电子器件本身的物理极限，通过光-电-光的过程来进行时钟提取会变得十分困难。于是，基于光-光的过程来进行时钟提取的技术， 也就是全光时钟恢复技术在近年来得到了广泛的研究和发展。在众多全光时钟恢复技术中，两段式分布耦合(TwoIectionDistributed Feedback, TS-DFB)半导体激光器是一个相对比较简单的方案。TS-DFB激光器由两个DFB 激光器组成。这两个DFB激光器的波导有效折射率或光栅的布拉格波长存在一定差异，因此两个DFB激光器的激射波长存在一定差异，从而激发出两个模式。这两个模式再拍频就可本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于全光时钟恢复的ＲＥＣ双波长激光器，其特征在于，包括：相互连接的第一ＤＦＢ激光器段、第二ＤＦＢ激光器段，以及设在第一ＤＦＢ激光器段与第二ＤＦＢ激光器段的连接处的电隔离区，所述第一ＤＦＢ激光器段、第二ＤＦＢ激光器段及电隔离区均具有依次相连的外延层及依次相连的脊波导结构，每个外延层包括依次外延生长在Ｎ型衬底上的下包层、下波导层、多量子阱有源层、光栅层、上波导层、上包层，所述脊波导结构制作在所述上包层上；所述第一ＤＦＢ激光器段及第二ＤＦＢ激光器段还分别具有外延生长在所述脊波导结构上的欧姆接触层、以及填平所述脊波导结构两侧部分的绝缘层；并且，在所述Ｎ型衬底上镀有Ｎ电极，在所述欧姆接触层上镀有...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙长征，武庆，黄缙，熊兵，罗毅，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11