图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头。该简洁地对准多个摄像单元的焦点的图案检查装置将多个摄像单元(5a)、(5b)、(5c)固定在相对于被检查物(2)的表面可在接近离开方向(Z)移动的1个台座(4)，将摄像单元(5b)、(5c)的光学透镜系统单元(8b)、(8c)在接近离开方向(Z)驱动并进行焦距对准，对形成于被检查物(2)上的图案(3)进行检查。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对形成于基板等的图案进行检查的图案检查方法、图案检查装置、以及图案检查装置用摄像头。
技术介绍
在像等离子体显示面板或液晶面板那样具有细微图案的基板的图案的检查中，以往使用图14的图案检查装置。该图案检查装置的结构为，利用由照相机64和光学透镜系统65构成的摄像头66 拍摄被检查物63的图案D。控制部67基于从照相机64的摄像元件68得到的信号，对光学透镜系统65与摄像元件68的距离进行控制。在该以往的图案检查装置中，对经由照相机64拍摄的图案D的数字数据进行处理，对被检查物63的图案D的缺陷进行检测。作为其代表性的处理方法，有如下方法将图案D没有缺陷的情况的数据、与由摄像头66拍摄的被检查物63的数据进行比较，找到图案 D的缺陷。该方法的处理简单，但存在的问题是由于摄像系统的倍率不确定，因此难以对数据进行比较。为了克服该问题，有邻近比较方法，该方法将由摄像头66拍摄的被检查物63的数据、与邻近或者数周期前或后的图案进行比较，找到非周期性的部分，将其判定为缺陷。这是利用被检查物63的图案D具有周期性的方法。另外，在使用CMOS设备、CXD设备或MOS设备作为摄像元件68时，由于摄像元件 68的设备单元尺寸、被检查物63的图案间距的不一致，有时会产生测定误差。作为去除该测定误差的方法，有专利文献1披露的方法。该专利文献1披露的方法是用控制部67来设定光学透镜系统的倍率，使得在利用光学透镜系统的、图案向固体摄像元件的投影图像中，令最小检测缺陷尺寸为单元尺寸，使整数个单元进入1个间距内的方法。但是，专利文献1披露的方法中，对更细微的图案进行大面积检查很费时，检查需要很多费用。因此，一般使用的是通过使用多个摄像单元作为摄像头，将被检查物的区域进行分割并摄像，在短时间内拍摄完图案。这里，各摄像单元具有照相机和设在被检查物与照相机之间的光学透镜系统。专利文献1 日本专利公开2003-3^609号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的问题例如在像专利文献1披露的方法那样使用多个摄像单元时，在1个台座上装载多个摄像单元与全部独立设置的情况相比，可以简化检查装置。然而，若在1个台座上装载多个摄像单元，则需要使多个摄像单元的焦点分别对准1片被检查物的表面。即，在每个摄像单元都需要驱动部，该驱动部用于使各摄像单元相4对于被检查物独立地垂直(Z轴方向)移动。本专利技术的目的在于解决这些以往问题，提供一种可以简洁实现多个摄像单元的焦点对准的结构的图案检查方法、图案检查装置、以及图案检查装置用摄像头。用于解决问题的方法用于解决上述问题的本专利技术的图案检查装置包括摄像头，对周期性并排设置在被检查物的表面的图案进行扫描，并且装载有摄像元件和光学透镜系统单元；以及控制装置，与离开一定周期的部分进行比较，检测所述图案的缺陷，其特征在于，所述摄像头具有驱动部，使固定有多个摄像单元的台座相对于所述被检查物的表面在接近离开方向可动， 所述摄像单元包括具有摄像元件的摄像元件单元、以及在所述接近离开方向可动的光学透镜系统单元，所述控制装置使所述光学透镜系统单元移动并使所述各摄像单元的焦点对准所述被检查物的表面，使得所述光学透镜系统单元的倍率M在以下范围，从而检测所述图案的缺陷。C (N- Δ N) /P < M < C (N+ Δ N) /P其中，C是所述摄像元件的元件间距，P是所述图案的间距，N是所述图案的投影图像间距内的所述摄像元件的元件数，ΔN是所述投影图像的容许元件。另外，本专利技术的图案检查装置用摄像头，利用多个摄像单元对并排设置在被检查面的图案进行摄像，其特征在于，包括台座，相对于所述被检查面在垂直方向可动；以及多个摄像单元，安装在所述台座，所述摄像单元包括摄像元件和在所述垂直方向可动的光学透镜系统单元。另外，本专利技术的图案检查方法，利用装载有摄像元件和光学透镜系统单元的摄像单元，对周期性并排设置在被检查物的表面的图案进行扫描，与离开一定周期的部分进行比较，检测所述图案的缺陷，其特征在于，使所述光学透镜系统单元移动并使所述各摄像单元的焦点对准所述被检查物的表面，使得所述光学透镜系统单元的倍率M在以下范围内， 之后检测所述图案的缺陷。C (N- Δ N) /P < M < C (N+ Δ N) /P其中，C是所述摄像元件的元件间距，P是所述图案的间距，N是所述图案的投影图像间距内的所述摄像元件的元件数，ΔN是所述投影图像的容许元件。专利技术的效果根据本专利技术，可以提供一种可以简洁实现多个摄像单元的焦点对准的结构的图案检查方法、图案检查装置、以及图案检查装置用摄像头。附图说明图1是本专利技术的实施方式1中的检查装置的摄像头的概要结构图。图2(a)是用于表示图1的具体例的概要主视图，(b)是用于表示图1的具体例的概要侧视图，(c)是用于表示图1的具体例的概要俯视图。图3是本实施方式1中的摄像头的组装调整所涉及的流程图。图4是用于说明多个摄像头的安装误差的概要结构图。图5(a)是本实施方式1中的摄像单元的概要结构图，(b)是表示本实施方式1中的光学透镜移动量与焦点移动量的关系的图。图6是表示本实施方式1中的光学透镜的移动量与倍率的关系的图。图7是表示本实施方式1中的光学透镜移动量与对投影图案的变化量的关系的图。图8是表示本实施方式1中的投影图案与摄像元件的单元的关系的图。图9是本实施方式1中的摄像单元的安装误差导出所涉及的流程图。图10(a)是本专利技术的实施方式2中的检查装置的摄像头的概要结构图，(b)是本实施方式2中的摄像头的主要部分放大图。图11(a)是用于表示图10的具体例的概要主视图，(b)是用于表示图10(a)的具体例的概要侧视图，(c)是用于表示图10(a)的具体例的概要俯视图。图12是本专利技术的实施方式3中的摄像头的概要结构图。图13是本实施方式3中的摄像头的变形例的概要结构图。图14是表示以往的图案检查装置的概要图。标号说明1移动台2被检查物3 图案4,24,61 台座5a、5b、5c、25a 25d、62a 62h 摄像单元6控制装置7a 7c摄像元件8a 8c、28a 28d光学透镜系统单元9a、9b、14a、14b、14c、34、35 引导件10主电动机11、36、37、40、41、44、45、48、49 螺旋轴12固定台13a、13b、13c J6a ^d 摄像元件单元15a 15c第一 第三螺旋轴16a 16c第一 第三电动机27a 27d驱动部29调整轴机构30Z轴驱动部38、39、42、43、46、47、50、51 电动机El E8被检查物2的检查面的区域100摄像头200摄像头具体实施例方式下面，参照图1 图13，说明本专利技术的各实施方式。(实施方式1)图1是说明本专利技术的实施方式1的图案检查装置所使用的摄像头的结构和原理的概要结构图。该摄像头100被使用于对载放在移动台1上的被检查物2的表面所形成的图案3 进行读取。在该摄像头100中，在台座4上固定3个摄像单元fe、5b、5c。此外，被检查物2是等离子体显示面板或液晶面板等显示面板的基板。更具体而言，显示面板是在前面板与后面板之间隔开间隙贴合而成的。在等离子体显示面板的情况下，其内部的空间被隔开为各显示色的放电区域。在液晶面板的情况下，在其内本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种图案检查装置，包括：摄像头，该摄像头对周期性并排设置在被检查物的表面的图案进行扫描，并且装载有摄像元件和光学透镜系统单元；以及控制装置，该控制装置与离开一定周期的部分进行比较，检测所述图案的缺陷，其特征在于，所述摄像头具有驱动部，该驱动部使固定有多个摄像单元的台座相对于所述被检查物的表面在接近离开方向可动，所述摄像单元包括：具有摄像元件的摄像元件单元；以及在所述接近离开方向可动的光学透镜系统单元，所述控制装置使所述光学透镜系统单元移动并使所述各摄像单元的焦点对准所述被检查物的表面，使得所述光学透镜系统单元的倍率Ｍ在以下范围，从而检测所述图案的缺陷：Ｃ（Ｎ－ΔＮ）／Ｐ＜Ｍ＜Ｃ（Ｎ＋ΔＮ）／Ｐ其中，Ｃ是所述摄像元件的元件间距，Ｐ是所述图案的间距，Ｎ是所述图案的投影图像间距内的所述摄像元件的元件数，ΔＮ是所述投影图像的容许元件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田中仁，巢之内聪裕，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP