图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头。该简洁地对准多个摄像单元的焦点的图案检查装置将多个摄像单元(5a)、(5b)、(5c)固定在相对于被检查物(2)的表面可在接近离开方向(Z)移动的1个台座(4)，将摄像单元(5b)、(5c)的光学透镜系统单元(8b)、(8c)在接近离开方向(Z)驱动并进行焦距对准，对形成于被检查物(2)上的图案(3)进行检查。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对形成于基板等的图案进行检查的图案检查方法、图案检查装置、以及图案检查装置用摄像头。
技术介绍
在像等离子体显示面板或液晶面板那样具有细微图案的基板的图案的检查中，以往使用图14的图案检查装置。该图案检查装置的结构为，利用由照相机64和光学透镜系统65构成的摄像头66 拍摄被检查物63的图案D。控制部67基于从照相机64的摄像元件68得到的信号，对光学透镜系统65与摄像元件68的距离进行控制。在该以往的图案检查装置中，对经由照相机64拍摄的图案D的数字数据进行处理，对被检查物63的图案D的缺陷进行检测。作为其代表性的处理方法，有如下方法将图案D没有缺陷的情况的数据、与由摄像头66拍摄的被检查物63的数据进行比较，找到图案 D的缺陷。该方法的处理简单，但存在的问题是由于摄像系统的倍率不确定，因此难以对数据进行比较。为了克服该问题，有邻近比较方法，该方法将由摄像头66拍摄的被检查物63的数据、与邻近或者数周期前或后的图案进行比较，找到非周期性的部分，将其判定为缺陷。这是利用被检查物63的图案D具有周期性的方法。另外，在使用CMOS设备、CXD设备或MOS设备作为摄像元件6本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种图案检查装置，包括：摄像头，该摄像头对周期性并排设置在被检查物的表面的图案进行扫描，并且装载有摄像元件和光学透镜系统单元；以及控制装置，该控制装置与离开一定周期的部分进行比较，检测所述图案的缺陷，其特征在于，所述摄像头具有驱动部，该驱动部使固定有多个摄像单元的台座相对于所述被检查物的表面在接近离开方向可动，所述摄像单元包括：具有摄像元件的摄像元件单元；以及在所述接近离开方向可动的光学透镜系统单元，所述控制装置使所述光学透镜系统单元移动并使所述各摄像单元的焦点对准所述被检查物的表面，使得所述光学透镜系统单元的倍率Ｍ在以下范围，从而检测所述图案的缺陷：Ｃ（Ｎ－ΔＮ）／Ｐ＜Ｍ＜Ｃ（Ｎ＋ΔＮ）...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田中仁，巢之内聪裕，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP