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本发明的目的在于提供一种图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头。该简洁地对准多个摄像单元的焦点的图案检查装置将多个摄像单元(5a)、(5b)、(5c)固定在相对于被检查物(2)的表面可在接近离开方向(Z)移动的1个台座(4)，将...
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