一种基于全桥移相的等离子体负载高频清洗电源装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基于全桥移相的等离子体负载高频清洗电源装置，包括至少两个电源模块，电源模块的电源输入端接三相交流电，电源模块的信号输入端与控制板的驱动信号输出端相连，电源模块包括逆变器，交流电经整流滤波后与逆变器的输入端相连，逆变器的输出端接高频变压器T1的初级线圈，高频变压器T1的次级线圈接真空电极的两端，电压采样反馈电路、电流采样反馈电路分别与全桥移相控制电路的信号输入端相连，全桥移相控制电路的信号输出端与逆变器相连。本实用新型专利技术给真空辉光清洗提供频率一定的交流供电方式，避免了真空壁的镀膜效应，同时将电源的效率提高到90%以上。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电源装置，尤其是一种基于全桥移相的等离子体负载高频清洗电源装置。
技术介绍
等离子体辉光清洗技术是近年来兴起的等离子体技术的专业应用。该技术实现了对固定容器内真空环境下杂质颗粒的清扫，其主要原理是在真空室的两端设置电极形成电场，同时向真空室内加入惰性气体。当电极的两端形成电场强度达到一定程度，真空室内会产生等离子体实现对真空环境的清洗。公知的等离子体辉光清洗电源采用高频高压直流方式，这种电源较之传统的直流工频供电方式，具有功率大、响应速度快、控制精度高、可靠性强等优点，但是会产生镀膜。 分子通过等离子区时发生电离，未电离的中性原子(约占蒸发料的95% )会沉积在基片或真空室壁表面，形成镀膜。为有效解决镀膜效应，需要为等离子体辉光清洗系统提供满足其负荷特性的特种电源设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能够避免真空壁的镀膜效应，同时提高电源效率的基于全桥移相的等离子体负载高频清洗电源装置。为实现上述目的，本技术采用了以下技术方案一种基于全桥移相的等离子体负载高频清洗电源装置，包括至少两个电源模块，电源模块的电源输入端接三相交流电， 电源模块的信号输入端与控制板的驱动信号本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基于全桥移相的等离子体负载高频清洗电源装置，其特征在于：包括至少两个电源模块，电源模块的电源输入端接三相交流电，电源模块的信号输入端与控制板的驱动信号输出端相连，电源模块包括逆变器，交流电经整流滤波后与逆变器的输入端相连，逆变器的输出端接高频变压器Ｔ１的初级线圈，高频变压器Ｔ１的次级线圈接真空电极的两端，电压采样反馈电路、电流采样反馈电路分别与全桥移相控制电路（６）的信号输入端相连，全桥移相控制电路（６）的信号输出端与逆变器相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金国卫，
申请(专利权)人：黄山市金屹电源制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：34