一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组技术方案

本实用新型专利技术涉及单晶硅加工领域，具体地说是涉及一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组。本实用新型专利技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组所述的坩埚托盘挂钩主视形状为门形，上部三分之一处焊接固定有横筋，下端部向一侧弯曲呈L型挂钩。本实用新型专利技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组与现有技术相比较有如下有益效果：本实用新型专利技术加工设置了单晶炉石墨热系统拆卸工具组后，取出加热系统采用工具组系统列工具将加热系统有内之外，分件取出，不仅降低了工人劳动强度，减少了工作危险性，不会烫伤工人，而且可以缩短原有单晶炉的降温过程，及时、安全、便捷取出石墨热系统，缩短生产周期，提高了生产效率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅加工领域，具体地说是涉及一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组。
技术介绍
单晶炉在单炉生产完成后，需从单晶炉中取出石墨热场进行清洁，去除炉体内部的挥发杂质，已保证下炉生产不会因为炉内存在的挥发杂质产生局部放电事故影响正常生产。由于单晶炉在拉晶过程中温度保持1400°C以上，拉晶完成后自然冷却至室温才能开炉清洁。在日常生产中为了最大限度的提升公司设备产能，工人们一般在拉晶完成后自然冷却6小时后打开单晶炉进行清洁，此时炉内温度在600°C以上，单晶炉内温度没有完全降至室温就要将炉内石墨热系统取出进行清理。传统取出加热系统的方法是工人双手带隔热手套取出，其不足之处是在高温下进行工作，高温石墨件可能由于操作失误对人体产生伤害， 也会由于高温人体直接拆卸不慎损坏所拆卸的石墨件。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是针对现有技术存在的不足之处，提供一种可有人工安全从单晶炉中取出处于高温的石墨热系统的专用工具组——一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组。本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组通过下述技术方案予以实现本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组包括坩埚托盘挂钩、横筋、L型挂钩、电极扳手、石墨螺母扳手、导流筒保温盖挂钩、圆弧挂钩、加热器勾具、L型勾具、托杆扳手、六方头、排气口护套挂钩、L型护套挂钩，所述的坩埚托盘挂钩主视形状为门形，上部三分之一处焊接固定有横筋，下端部向一侧弯曲呈L型挂钩；所述的电极扳手呈T形，下端部焊接设置石墨螺母；所述的导流筒保温盖挂钩主视形状呈门形，下端向一侧弯曲呈圆弧挂钩；所述的加热器勾具主视形状呈X形，其上端封闭，下端向一侧弯曲呈L型勾具；所述的托杆扳手呈T形， 下端设置螺杆；所述的排气口护套挂钩呈火钩形，其下端向一侧弯曲呈L型护套挂钩。本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组与现有技术相比较有如下有益效果本技术加工设置了单晶炉石墨热系统拆卸工具组后，取出加热系统采用工具组系统列工具将加热系统有内之外，分件取出，不仅降低了工人劳动强度，减少了工作危险性， 不会烫伤工人，而且可以缩短原有单晶炉的降温过程，及时、安全、便捷取出石墨热系统，缩短生产周期，提高了生产效率。附图说明本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组有如下附图图1为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组坩埚托盘挂钩主视结构示意3图2为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组坩埚托盘挂钩左视结构示意图；图3为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组电极扳手主视结构示意图；图4为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组电极扳手A向结构示意图；图5为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组导流筒保温盖挂钩主视结构示意图；图6为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组导流筒画挂钩左视结构示意图；图7为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组加热器勾具主视结构示意图；图8为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组加热器勾具左视结构示意图；图9为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组托杆扳手主视结构示意图；图10为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组托杆扳手A向结构示意图；图11为本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组排气口护套挂钩主视结构示意图。其中1、坩埚托盘挂钩；2、横筋；3、L型挂钩；4、电极扳手；5、石墨螺母扳手；6、导流筒保温盖挂钩；7、圆弧挂钩；8、加热器勾具；9、L型勾具；10、托杆扳手；11、六方头；12、 排气口护套挂钩；13、L型护套挂钩。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组技术方案作进一步描述。如图1一图11所示，本技术一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组包括坩埚托盘挂钩1、横筋2、L型挂钩3、电极扳手4、石墨螺母扳手5、导流筒保温盖挂钩6、圆弧挂钩7、 加热器勾具8、L型勾具9、托杆扳手10、六方头11、排气口护套挂钩12、L型护套挂钩13，所述的坩埚托盘挂钩1主视形状为门形，上部三分之一处焊接固定有横筋2，下端部向一侧弯曲呈L型挂钩3 ；所述的电极扳手4呈T形，下端部焊接设置石墨螺母扳手5 ；所述的导流筒保温盖挂钩6主视形状呈门形，下端向一侧弯曲呈圆弧挂钩7 ；所述的加热器勾具8主视形状呈X形，其上端封闭，下端向一侧弯曲呈L型勾具9 ；所述的托杆扳手10呈T形，下端设置螺杆11 ；所述的排气口护套挂钩12呈火钩形，其下端向一侧弯曲呈L型护套挂钩13。实施例1。如图1-图2所示，所述的坩埚托盘挂钩1采用Φ6的不锈钢弯制而成，在主视形状为门形的上端为横把手，其长度为100mm，在距横把手80 mm处两立杆之间焊接设置横筋 2。在主视开关为门形的坩埚托盘挂钩1的左侧将两立杆距项端200 mm处向一侧弯制一 L型挂钩3。如图3-图4所示，所述的电极扳手4采用Φ 12不锈钢焊接成T形，在T形的下端部焊接一壁厚为4mm的六方内六角石墨螺母扳手5。如图5-图6所示，所述的导流筒保温盖挂钩6采用Φ6的不锈钢弯制而成，在主视形状为门形的上端为横把手，在门形左视方向距上端横把手50 mm处向一侧弯制30°斜度，在门形左视方向下端与上端斜度相反方向弯制呈半圆弧状的导流筒保温盖挂钩7，弧度部位最不超过100 mm。如图7-图8所示，所述的加热器勾具8采用直径4-5 mm的铁丝弯制而成，加热勾具主视形状呈上端封闭的X形，X形的两下端向下垂直，在X形左视方向的一侧弯制L型勾具9，L型底部长60 mm，L型向上钩起10 mm，便制成加热器勾具8。如图9-图10所示，所述的托杆扳手10采用Φ 12不锈钢焊接成T形，在T形的下端部加工成相对两平面之间距离为10 mm，两相对角之间距离为11 mm，便制成托杆扳手10。如图11所示，所述的排气口护套挂钩12采用Φ6的不锈钢弯制而成，其上端弯制呈耳形把手，下端弯制成L型护套挂钩13，L型向上钩起部分为20 mm，便制成排气口护套挂钩子2。本技术拆卸工具组使用时每炉单晶硅棒生产完成后，将晶棒从炉体内取出， 打开炉体进行清洁工作。1、拆卸人员双手握住图5、6中所示的导流筒保温盖挂钩上端的一对横把手，使一对把手成180度，将导流筒保温盖挂钩7深入导流筒内，直至挂钩7到达导流筒底部以下， 将挂钩7勾住导流筒底部，向上提把手，将导流筒从石墨系统上端取出；2、拆卸人员双手握住图5、6中所示的导流筒保温盖挂钩上端的一对横把手，使一对把手成180度，将导流筒保温盖挂钩7深入保温盖中部圆孔内，直至挂钩7到达保温盖底部以下，将挂钩7勾住保温盖圆孔底部，向上提把手，将保温盖从石墨系统上端取出；3、拆卸人员双手握住图1、2中所示的坩埚托盘挂钩上端的一对横把手，使一对把手成180度，将坩埚托盘挂钩2深入导流筒内部，直至挂钩2到达导流筒底部以下，将挂钩 2勾住导流筒底部，向上提把手，将导流筒从石墨系统上端取出；4、拆卸人员双手握住图9所示的托杆扳手放进托杆内部圆孔，向右旋转扳手拧下托杆内部石墨螺母并取出石墨托杆。5、拆卸人员双手握住如图3、4所述的电极扳手拧下加热器石墨螺母取出，再用如图7、8所示的加热器勾具取出加热器。6、拆卸人员双手握住图11所示排气口护套挂钩，放进单晶炉内排气孔口部，取出排气口内部的石墨护套。最后清理炉体内部和热系统石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组，包括坩埚托盘挂钩（１）、横筋（２）、Ｌ型挂钩（３）、电极扳手（４）、石墨螺母扳手（５）、导流筒保温盖挂钩（６）、圆弧挂钩（７）、加热器勾具（８）、Ｌ型勾具（９）、托杆扳手（１０）、六方头（１１）、排气口护套挂钩（１２）、Ｌ型护套挂钩（１３），其特征是：所述的坩埚托盘挂钩（１）主视形状为门形，上部三分之一处焊接固定有横筋（２），下端部向一侧弯曲呈Ｌ型挂钩（３）；所述的电极扳手（４）呈Ｔ形，下端部焊接设置石墨螺母扳手（５）；所述的导流筒保温盖挂钩（６）主视形状呈门形，下端向一侧弯曲呈圆弧挂钩（７）；所述的加热器勾具（８）主视形状呈Ｘ形，其上端封闭，下端向一侧弯曲呈Ｌ型勾具（９）；所述的托杆扳手（１０）呈Ｔ形，下端设置六方头（１１）；所述的排气口护套挂钩（１２）呈火钩形，其下端向一侧弯曲呈Ｌ型护套挂钩（１３）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张治民，冯全来，武超，雷光辉，李治明，张天盛，苏荔，
申请(专利权)人：青海华硅能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：63