【技术实现步骤摘要】
本专利属于光伏发电领域,用于双结非晶硅太阳电池生产线中,尤其是一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置。
技术介绍
在玻璃衬底非晶硅太阳电池的生产过程中,PECVD(等离子体增强型化学气相沉积)是最为核心的环节,其中对于基片装载盒的清洁直接影响太阳电池的质量和可靠使用寿命。目前使用的清洁方式主要采用人工清洁,存在着清洁程度受操作人员影响大、对生产环境造成污染以及对操作人员健康有不良影响等问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足之处,提供一种非晶硅太阳电池 PECVD系统基片装载盒的清洁装置,该装置可有效清洁装载盒且对环境无污染。本技术解决其技术问题是采取以下技术方案实现的一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,其特征在于包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备,清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口, 吹风口安装在装载盒入口。而且,在对应喷淋器位置的清洁箱体内底部固装有一收集水槽,该收集水槽连通固装在工作平台内的水循环装置。本技术的优点和积极效果是1、本装置采用密闭的腔体设计,能够有效避免粉尘在车间环境中飘散,减少了生产环境被污染,尽可能的降低员工直接接触粉尘的概率。2、本装置采用自动装置代替了人工操作的方式,提高了生产效率,保障了操作人员的身体健康和安全。附图说明图1为本技术的结构简图。具体实施方式下面通过具体实施例对本技术作进一步详述,以下实施例只是 ...
【技术保护点】
1.一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,其特征在于:包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备,清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口,吹风口安装在装载盒入口。
【技术特征摘要】
1.一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置,其特征在于包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机,在工作平台上固装清洁箱体,在清洁箱体两侧设置有密封门,在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道,在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪洋,郭增良,曹丽冉,
申请(专利权)人:天津市津能电池科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:12
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