取样口装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种取样口装置，包括：外螺纹管接头以及L型管，所述外螺纹管接头由具有外螺纹的接头管、连接螺母及取样管组成，取样管的一端通过连接螺母与接头管相连，取样管的另一端与L型管相连。本实用新型专利技术通过在现有的取样口装置上加接一段L型管做为有机废气(VOC)处理系统的压力传感器的新取样口，实现的功能不变，并且所述压力传感器的新取样口处于背风面，所处环境为负压，L型管的管口和内壁不会有水附着和堵塞，压力传感器不受干扰，系统不会频繁停机，设备运行正常。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及有机废气处理设备领域，且特别涉及一种取样口装置。
技术介绍
在半导体工业生产中产生的有机废气(VOC)，因其含有大量有毒害作用的有机物， 不能直接向大气排放，需要进行废气处理。现有技术中的VOC处理系统中设有风管装置，来提供VOC处理制程中的气体输送和分布的管道，并设有压力传感器来监控VOC处理制程中的系统控制压力(一般为微负压)。压力传感器通过取样口装置连通风管，通过处于风管内的取样口装置的取样口来测得风管内风压(相对于大气的压力值)，进而实现监控VOC处理制程中的系统控制压力的目的。由于VOC处理系统很多情况下会被设置在室外使用，因此风管和取样口装置也大多处于室外。图1为现有技术的取样口装置连通示意图。如图1所示，目前，与风管连通的取样口装置为直通型外螺纹管，包括具有外螺纹102的接头管101、连接螺母103及取样管104， 连接螺母103连接接头管101和取样管104的一端，接头管101通过外螺纹102可外接并连通VOC处理系统的压力传感器，取样管104连接风管105开口。VOC处理制程中，系统控制微负压的范围应为-30 -5Pa，当超过此范围时，为保证VOC处本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种取样口装置，其特征在于，包括：外螺纹管接头以及Ｌ型管，所述外螺纹管接头由具有外螺纹的接头管、连接螺母及取样管组成，取样管的一端通过连接螺母与接头管相连，取样管的另一端与Ｌ型管相连。

【技术特征摘要】
1.一种取样口装置，其特征在于，包括外螺纹管接头以及L型管，所述外螺纹管接头由具有外螺纹的接头管、连接螺母及取样管组成，取样管的一端通过连接螺母与接头管相连，取样管的另一端与L型管相连。2.根据权利要求1所述的取样口装置，其特征在于，所述取样管的外径与L型管的外径一致。3.根据权利要求1所述的取样口装置，其特征在于，所述取样管的另一端通过焊接方式与L型管密封连通。4.根据权利要求1所述的取样口装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴开春，苏轶，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31