本发明专利技术涉及用于气相淀积系统的具有可移除的辊子的传送器组件。一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)包括第一托架导轨(104)和设置在传送器组件的相对侧处的第二托架导轨(106)。第一托架导轨和第二托架导轨包括沿着它们沿纵向隔开的多个辊子位置(108)。托架导轨进一步在各个辊子位置处包括一对轮(114，116)，轮是隔开的，以便在相应的辊子位置处限定承座。在各个辊子位置处的轮(114)中的至少一个是驱动轮。多个辊子(120)在第一托架导轨和第二托架导轨之间延伸。辊子具有在辊子位置处落入承座中的端部，使得可通过在辊子位置处从承座上提出辊子来从托架导轨上移除辊子。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术大体涉及薄膜气相淀积系统领域，其中，诸如半导体层的薄膜层淀积在传 送通过该系统的衬底上。更具体而言，本专利技术涉及用来使衬底运动通过气相淀积系统的传 送器系统。
技术介绍
薄膜光电(PV)模块(也称为“太阳能电池板”)的生产典型地包括将衬底(例 如玻璃板)传送到气相淀积室中，以及传送出气相淀积室，其中，半导体材料(例如碲化镉 (CdTe))的薄膜层(行业中一般认为小于10 μ m)淀积在衬底的表面上。淀积过程可为任 何已知的过程，例如近距离升华(CSS)系统、化学气相淀积(CVD)系统，或者物理气相淀积 (PVD)系统。使用CdTe PV模块的太阳能系统在每瓦所产生功率的成本方面一般被认为是商业 上可购得的系统中的最成本高效的系统。但是，尽管CdTe有优点，可持续的商业开发以及 接受太阳能作为辅助或主要的工业或住宅功率源取决于大规模地且以成本有效的方式生 产高效的PV模块的能力。就此而言，非常合乎需要的是减少在生产PV模块时使用的气相 淀积系统的停机时间。典型地，使用各种类型的传送器来使PV模块衬底运动通过气相淀积系统。传送器 的构件可暴露于源材料蒸气，源材料蒸气可在传送器构件上冷凝成有害的源材料积聚物。 在这种情形下，需要移除和清洁传送器构件，或者用干净的构件代替移除的传送器构件。可 能还需要移除传送器构件来进行定期维护、更换，或者进行需要使系统停机的其它程序。减 少与传送器维护、更换或其它原因相关联的系统停机时间是正在关注的事情。因此，存在对这样一种改进的传送器组件的需求该传送器组件特别适于传送被 传送通过气相淀积的衬底，其减少了与构件更换和维护相关联的停机时间。本专利技术涉及达 到此目的的传送器组件。
技术实现思路
本专利技术的各方面和优点将在以下描述中部分地阐述，或者根据描述，它们可为显 而易见的，或可通过实践本专利技术来学习它们。根据本专利技术的各方面的、用于将衬底传送通过气相淀积系统的传送器组件的一个 实施例包括设置在该传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨和设置在该传送器组件的相 对侧处的第二托架导轨。相对侧可为不被驱动的空转侧，或者也可为驱动侧。第一托架导 轨和第二托架导轨中的各个包括沿着导轨的长度沿纵向隔开的多个辊子位置。在一个特定 的实施例中，这些辊子位置可为限定在导轨中的端部开口的凹部。第一托架导轨和第二托 架导轨还在各个辊子位置处包括一对轮。这些轮是隔开的，以便在各个相应的辊子位置处 限定承座。沿着至少第一托架导轨的多个辊子位置是驱动位置，其中，轮中的一个为驱动 轮。另一个轮可为空转轮，或者也可为驱动轮。多个辊子在第一托架导轨和第二托架导轨之间延伸。辊子具有落入由轮限定的、在辊子位置处的承座中的端部，轮旋转地支承和驱动 辊子。可通过在辊子位置处从承座上提出辊子来从托架导轨上移除辊子。对上面论述的传送器组件的实施例的变型和修改在本专利技术的范围和精神内，并且 本文可对其进行进一步描述。本专利技术还包括气相淀积模块的各种实施例，它们可用来将衬底传送通过气相淀积 系统，其中，源材料升华(即转变成蒸气)且淀积在衬底的表面上。这种模块的一个实施例 包括壳体和传送器组件，传送器组件可操作地构造在壳体内，以便将衬底传送通过壳体。传 送器组件可如以上论述的那样进行构造。对上面论述的气相淀积模块的实施例的变型和修改在本专利技术的范围和精神内，并 且本文可对其进行进一步描述。本专利技术还包括气相淀积系统，其构造成以便使源材料蒸气淀积在传送通过该系统 的衬底的表面上。此系统的实施例可包括多个单独的、沿纵向对齐的模块，其设计成以便在 整个淀积过程中执行特定的功能。各个模块限定用于被传送通过该系统的衬底的传送路 径，并且包括壳体和传送器组件，传送器组件可操作地构造在壳体内，以便将衬底传送通过 壳体。传送器组件可如以上在一个特定的实施例中论述的那样进行构造。对上面论述的气相淀积系统的实施例的变型和修改在本专利技术的范围和精神内，并 且本文可对其进行进一步描述。参照以下描述和所附权利要求书，本专利技术的这些和其它特征、方面和优点将变得更好理解。附图说明在参照了附图的说明书中阐述了本专利技术的完整且能够实现的公开，包括其最佳模 式，在附图中图1是可结合具有根据本专利技术的各方面的传送器组件的模块的气相淀积系统的 视图；图2是结合了根据本专利技术的各方面的传送器组件的实施例的模块的俯视图；图3是图2中描绘的传送器模块中的一个的侧面剖视图；图4是传送器组件的一个实施例的透视图；图5是图4的实施例的部分的放大透视图；图6是根据一个实施例的、在辊子的轴向端处的点接触构造的俯视图；以及，图7是点接触构造的一个备选实施例的俯视图。部件列表10 系统12真空腔室14 衬底16加热器模块18加热器20冷却模块22后加热模块24进给系统26装载传送器28装载模块30缓冲器模块32粗真空泵34阀36促动机构38精真空泵40真空泵42退出缓冲器模块44退出锁紧模块46退出传送器50控制器52系统控制器54传感器60气相淀积设备100传送器组件102驱动单元104第一托架导轨106第二托架导轨108辊子位置110凹部114驱动轮115驱动带轮116空转轮118抓取表面120辊子126传动带128张紧辊子130支撑轮132接触部件134突起136轴向端面138模块140壳体142冷却剂入口144冷却剂出口具体实施例方式现将详细参照本专利技术的实施例，在附图中示出了其一个或多个实例。以解释本发 明而非限制本专利技术的方式来提供各个实例。实际上，对本领域技术人员将显而易见的是，可 在本专利技术中作出各种修改和变型，而不脱离本专利技术的范围或精神。例如，作为一个实施例的 一部分示出或描述的特征可与另一个实施例一起使用，以产生又一个实施例。因而，意图的 是本专利技术包含落在所附权利要求书及其等效物的范围内的这种修改和变型。图1示出了气相淀积系统10的一个实施例，其可结合根据本专利技术的各方面的传送 器组件100的各种实施例，尤其是作为组成系统10的各种类型的模块的构件。为了参照和 理解可在其中使用本传送器组件100的环境，在下面对图1的系统10进行描述，后面是传 送器组件100的特定实施例的详细描述。系统10构造成用于将薄膜层淀积在光电(PV)模块衬底14(下文称为“衬底”)上。 薄膜可为例如碲化镉(CdTe)的膜层。如所提到的那样，在本领域中大体认可，PV模块衬底 上的“薄”膜层大体小于约10微米(μπι)。应当理解，传送器组件100不限于在图1所示的 系统10中使用，而是可结合到构造成用于使薄膜层气相淀积到PV模块衬底14上的任何适 当的加工线中。参看图1，示例性系统10包括由多个互连的模块限定的真空腔室12。可对互连的 模块构造真空泵40的任何组合，以在腔室12内抽取和保持对淀积过程有效的真空。多个 互连的加热器模块16限定了真空腔室12的预热区段，衬底14被传送通过该区段，并且在 被传送到气相淀积设备60中之前被加热到期望的温度。各个加热器模块16可包括多个独 立地控制的加热器18，加热器限定多个不同的加热区。特定的加热区可包括不止一个加热 器18。加热器18可设置在模块主体的上方或下方。气相淀积设备60可采用在本专利技术的范围和精神内的各种构造和操作原理，并且 大体构造成以便使源材料(例如CdTe)作本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种用于将衬底（１４）传送通过气相淀积系统（１０）的传送器组件（１００），所述传送器组件包括：设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨（１０４），以及设置在所述传送器组件的相对侧处的第二托架导轨（１０６）；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架导轨沿纵向隔开的多个辊子位置（１０８）；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括一对轮（１１４，１１６），所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；在所述第一托架导轨上的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，在所述辊子位置处的所述轮（１１４）中的至少一个是从动轮；以及，在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子（１２０），所述辊子具有在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。
【技术特征摘要】
2009.12.30 US 12/6496211.一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)，所述传送 器组件包括设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨(104)，以及设置在所述传送器组 件的相对侧处的第二托架导轨(106)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架 导轨沿纵向隔开的多个辊子位置(108)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括 一对轮(114，116)，所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；在所述第一托架导轨上的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，在所述辊子位置处的 所述轮(114)中的至少一个是从动轮；以及，在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子(120)，所述辊子具有 在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提 出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。2.根据权利要求1所述的传送器组件(100)，其特征在于，所述辊子位置(108)由端 部开口的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架导轨(104)和所述第二托 架导轨(106)中，所述一对轮(114，116)在所述凹部的底部处限定所述承座，使得所述辊子 (120)不接触所述凹部的壁。3.根据权利要求2所述的传送器组件(100)，其特征在于，沿着所述第一托架导轨 (104)的所述从动轮(114)由共同的传动带(126)旋转地驱动，所述从动轮进一步包括抓取 性增强的外周表面(118)，以提高所述传动带的牵引力。4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的传送器组件(100)，其特征在于，所述 传送器组件(100)进一步包括沿着所述第一托架导轨(104)和所述第二托架导轨(106)设 置在所述辊子位置(108)中的各个处的轴向接触部件(132)，所述接触部件构造成和设置 成以便与所述辊子(120)的轴向端面(136)接触，以防止所述辊子相对于所述第一托架导 轨和所述第二托架导轨的轴向运动。5.一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的气相淀积模块(138)，在气相 淀积系统(10)中，源材料转变成蒸气，并且淀积在所述衬底的表...
【专利技术属性】
技术研发人员：E·J·利特尔，C·拉思维格，
申请(专利权)人：初星太阳能公司，
类型：发明
国别省市：US
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