一种微弱应力检测装置制造方法及图纸

技术编号:6702177 阅读:199 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术提供一种微弱应力检测装置,包括:线偏振激光器、孔径光阑、位移台、1/4玻片、检偏器、光电接收器和数字显示系统;所述孔径光阑、1/4玻片、检偏器位于线偏振激光器发出的线偏振光的光轴上,所述检偏器依次连接所述光电接收器和数字显示系统。本实用新型专利技术的线偏振激光器产生高度稳定的线偏振光,保证整个测试的精度;孔径光阑可以灵活的调整光束半径,可以对样品局部细微应力进行检测;三轴位移台可以使样品上下、左右移动,进行样品不同部位的应力检测。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种微弱应力检测装置
本技术涉及检测
,特别涉及一种微弱应力检测装置。
技术介绍
目前,公知光学样件应力检测普遍采用偏光计,或偏光计加摄像头进行应力分析。 偏光计一般采用白光光源,应用色偏振原理观测样件的不同颜色来区分应力的大小。由于 色偏振方法颜色的取值为近似值,所以应力的大小值也为近似值。同时,偏光计采用的光学 镜片较多,消除系统本身的色差带来的影响比较困难。另外,偏光计整个系统的体积较大, 移动及携带不方便,对样件的定位检测不够灵活。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种微弱应力检测装置,已解决上述技术问题。为了实现上述目的,本技术采用如下技术方案一种微弱应力检测装置,包括线偏振激光器、孔径光阑、位移台、1/4玻片、检偏 器、光电接收器和数字显示系统;所述孔径光阑、1/4玻片、检偏器位于线偏振激光器发出 的线偏振光的光轴上,所述检偏器依次连接所述光电接收器和数字显示系统。与现有技术相比,本技术具有以下优点1、线偏振激光器产生高度稳定的线偏振光,保证整个测试的精度;2、孔径光阑可以灵活的调整光束半径,可以对样品局部细微应力进行检测;3、三轴位移台可以使样品上下、左右移动,进行样品不同部位的应力检测。附图说明图1是本技术的结构原理图。其中1为线偏振激光器;2为孔径光阑;3为被测样品;4为位移台;5为1/4玻片; 6为检偏器;7为光电接收器;8为数字显示系统。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步详细描述。请参阅图1所示,线偏振激光器1产生高度稳定的线偏振光,保证整个测试的精 度;孔径光阑2可以灵活的调整光束半径,以对局部细微应力进行检测;三轴位移台4可以 使样品3上下、左右移动,进行样品3不同部位的应力检测;1/4玻片5使应力造成的椭圆 偏振光再次转化为线偏振光,但偏振方向会旋转一定的角度;检偏器6的检偏方向与激光 源的偏振方向垂直,如果所测样品无应力,直接得到最小光强值;如果样品存在应力,需旋 过一定角度才能获得光强最小值,旋过的角度可以表征应力的大小;光电探测系统7可以 记录偏振方向旋过的角度,数显系统8将角度值进行处理后,可以将所测应力值显示。本技术采用高度线偏振的激光光源(可加起偏器),使激光透过检测样品。由于应力双折射效应,线偏振光将变为椭圆偏振光,椭圆偏振光经1/4玻片,再次转化为线偏 振光。此时,线偏振光的偏振方向与原偏振光的偏振方向将形成一个角度,角度的大小反映 样品应力的大小。后级通过一个检偏器与光电探测系统连接,检偏器的初始偏振方向与激 光源的偏振方向相互垂直,检偏器可自动旋转,旋转过程通过光电探测系统可以将光强最 小值,及对应的旋转角度进行记录,再通过数字系统的计算最后可将应力值直接显示。如果 采用632. 8nm波长的光为线偏振光源,以探测器的探测精度为0. Γ计算,测试光程的灵敏 度为0. 3n m,超过目前一个量级,而且激光器端口加入孔径光阑后,还可以通过控制光束的 大小检测局部应力的大小。从而,达到快捷准确的定位测试应力的目的。权利要求1. 一种微弱应力检测装置,其特征在于,包括线偏振激光器(1)、孔径光阑O)、位移 台(4)、1/4玻片(5)、检偏器(6)、光电接收器(7)和数字显示系统(8);所述孔径光阑(2)、 1/4玻片(5)、检偏器(6)位于同一光轴上,所述检偏器(6)依次连接所述光电接收器(7) 和数字显示系统(8)。专利摘要本技术提供一种微弱应力检测装置,包括线偏振激光器、孔径光阑、位移台、1/4玻片、检偏器、光电接收器和数字显示系统;所述孔径光阑、1/4玻片、检偏器位于线偏振激光器发出的线偏振光的光轴上,所述检偏器依次连接所述光电接收器和数字显示系统。本技术的线偏振激光器产生高度稳定的线偏振光,保证整个测试的精度;孔径光阑可以灵活的调整光束半径,可以对样品局部细微应力进行检测;三轴位移台可以使样品上下、左右移动,进行样品不同部位的应力检测。文档编号G01L1/24GK201885837SQ20102060280公开日2011年6月29日 申请日期2010年11月11日 优先权日2010年11月11日专利技术者石念宝, 钟聪 申请人:西安北方捷瑞光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微弱应力检测装置,其特征在于,包括:线偏振激光器(1)、孔径光阑(2)、位移台(4)、1/4玻片(5)、检偏器(6)、光电接收器(7)和数字显示系统(8);所述孔径光阑(2)、1/4玻片(5)、检偏器(6)位于同一光轴上,所述检偏器(6)依次连接所述光电接收器(7)和数字显示系统(8)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:钟聪石念宝
申请(专利权)人:西安北方捷瑞光电科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:87

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