【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空测量
中的一种真空计,具体涉及一种三极管式热阴 极电离真空计规管。
技术介绍
真空计用于测量低于1个大气压的气体压力。真空计规管是一种在具有真空连接 和电引线连接装置的真空气密性外壳和(或者)管座内安装有真空传感元件的真空计部 件。真空计规管可根据真空传感元件工作原理分类。其中一类热阴极电离真空计规 管,是一种在具有真空连接和电引线连接装置的真空气密性外壳和(或者)管座内,安装有 能够通过在控制条件下,加热阴极,发射电子,电离待测真空系统内气体,测量所产生的离 子流,从而测量该系统气体压力的真空传感元件电极系统的真空计部件。热阴极电离真空计规管又可根据真空传感元件电极结构分类。其中一类三极管式 热阴极电离真空计规管,采用如附图1所示,但不包括栅极限位保护装置18在内的,以筒壁 带孔或不带孔的圆筒形离子收集极6同轴环绕双螺旋形栅极17,且筒壁带孔或不带孔的圆 筒形离子收集极6和双螺旋形栅极17又同轴环绕直线形阴极5为特征的传统三极电子管 式结构。本技术涉及的这种三极管式热阴极电离真空计规管,由真空系统气密性连接 接口 1、收集极管帽2、阴极吊钩 ...
【技术保护点】
1.带栅极限位保护装置的三极管式热阴极电离真空计规管,其特征在于:在由真空系统气密性连接接口(1)、收集极管帽(2)、阴极吊钩(3)、阴极吊杆兼真空气密性电绝缘引线(4)、直线形阴极(5)、筒壁带孔或不带孔的圆筒形离子收集极(6)、阴极支杆兼真空气密性电绝缘引线(7)、栅极支杆一兼真空气密性电绝缘引线(8)、真空气密性电绝缘引线座(9)、真空气密性外壳(10)、管基插针(11)、管基定位销柱(12)、导线组(13)、管基壳体(14)、栅极支杆二兼真空气密性电绝缘引线(15)、栅极吊杆(16)、双螺旋栅极(17)、栅极吊钩(19)、收集极支架(20)和收集极支杆兼真空气密性电 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱世洪,岳经友,罗世敏,
申请(专利权)人:成都正华电子仪器有限公司,
类型:实用新型
国别省市:90
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