一种层流风的压力控制方法技术

本发明专利技术属于控制技术领域，具体公开了一种层流风的压力控制方法，其包括以下步骤：S1：设计压力模糊控制器；S2：对设备内部微环境中测量点与外部环境的差压值信号进行处理，作为压力模糊控制器的反馈值；S3：根据反馈值，压力模糊控制器对设备内部微环境的压力进行自动调节。本发明专利技术基于模糊控制算法设计了风机调压模糊控制器，通过自动调节风机转速，以保证在不同工况下对设备内部微环境的特定压力要求，可通过采用多个差压计分别采集设备内部各个关键测量点与外部环境的差压值，为风机调压控制器提供合理的反馈信号，可以克服手动风机调速系统和常规PID控制方法的不足，适用于存在较大扰动、难于建立精确数学模型的压力控制系统。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
１．一种层流风的压力控制方法，用于调节集成电路制造设备内部微环境的压力，其特征在于，包括以下步骤：Ｓ１：设计压力模糊控制器；Ｓ２：对所述集成电路制造设备内部微环境中测量点与外部环境的差压值信号进行处理，作为所述压力模糊控制器的反馈值；Ｓ３：根据所述反馈值，利用所述压力模糊控制器对所述设备内部微环境的压力进行自动调节。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马嘉，吴仪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11